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公开(公告)号：JP2018145035A
公开(公告)日：2018-09-20
申请号：JP2017039709
申请日：2017-03-02
申请人： TDK株式会社
IPC分类号： C23C14/08 , C01G25/02 , H01G4/12 , C04B35/057 , C04B35/488
CPC分类号： C01G25/02 , C04B35/057 , C04B35/488 , C23C14/08 , H01G4/12 , H01G4/30
摘要： 【課題】高周波領域であっても高い比誘電率および高いQ値を有する誘電体組成物と、その誘電体組成物から構成される誘電体膜を備える電子部品の提供。 【解決手段】一般式(aCaO+bSrO)−ZrO 2 で表される複合酸化物を主成分として含み、a及びbが、a≧0、b≧0、1.50
【選択図】図2-
公开(公告)号：JP6249004B2
公开(公告)日：2017-12-20
申请号：JP2015198667
申请日：2015-10-06
申请人： TDK株式会社
CPC分类号： C04B35/057 , C01F11/02 , C01G33/006 , C01G35/006 , C04B35/01 , C04B35/495 , H01G4/1254 , H01G4/33 , H01L27/11582 , H01L28/00 , H01L28/55 , C01P2006/40 , C04B2235/3208 , C04B2235/3213 , C04B2235/3215 , C04B2235/3251 , C04B2235/3255 , C04B2235/6562 , C04B2235/6567
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公开(公告)号：JP2020161625A
公开(公告)日：2020-10-01
申请号：JP2019059159
申请日：2019-03-26
申请人： TDK株式会社
IPC分类号： H01G4/30 , C04B35/01 , C04B35/495 , H01G4/33
摘要： 【課題】高周波領域において比誘電率が高い誘電体膜を提供すること。 【解決手段】一般式xAO−yBO−zC 2 O 5 で表される複合酸化物を主成分として含む誘電体膜であって、Aは、バリウム、カルシウムおよびストロンチウムから選ばれる少なくとも1つであり、Bは、マグネシウムおよび亜鉛から選ばれる少なくとも1つであり、Cは、ニオブおよびタンタルから選ばれる少なくとも1つであり、x、yおよびzは、x+y+z=1.000、0.375≦x≦0.563、0.250≦y≦0.500、x/3≦z≦(x/3)+1/9である関係を満足し、誘電体膜のX線回折チャートにおいて、複合酸化物の(211)面の回折ピーク強度、または、複合酸化物の(222)面の回折ピーク強度が、複合酸化物の(110)面の回折ピーク強度よりも大きい誘電体膜である。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2019052338A
公开(公告)日：2019-04-04
申请号：JP2017175857
申请日：2017-09-13
申请人： TDK株式会社
IPC分类号： H01G4/33 , C04B35/465 , H01B3/12 , C23C14/08
摘要： 【課題】高周波領域であっても高い比誘電率および高いQ値を有する誘電体膜と、その誘電体膜を備える電子部品を提供すること。 【解決手段】一般式ABO 3 で表される組成を有する複合酸化物を主成分として含む第1の誘電体膜と、一般式A'B' 2 O 5 で表される組成を有する複合酸化物を主成分として含む第2の誘電体膜と、が交互に積層された構造を有し、第1の誘電体膜および第2の誘電体膜の厚みが、それぞれ、1nm以上50nm以下であり、第1の誘電体膜と第2の誘電体膜とが直接的に接している界面の数が3以上であることを特徴とする誘電体膜である。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2020158344A
公开(公告)日：2020-10-01
申请号：JP2019059167
申请日：2019-03-26
申请人： TDK株式会社
IPC分类号： H01G4/33 , H01G4/30 , C04B35/01 , C04B35/495
摘要： 【課題】薄膜であっても、絶縁破壊電圧の高い誘電体膜を提供すること。 【解決手段】一般式xAO−yBO−zC 2 O 5 で表される複合酸化物を主成分として含む誘電体膜であって、Aは、バリウム、カルシウムおよびストロンチウムから選ばれる少なくとも1つであり、Bは、マグネシウムおよび亜鉛から選ばれる少なくとも1つであり、Cは、ニオブおよびタンタルから選ばれる少なくとも1つであり、x、yおよびzは、x+y+z=1.000、0.375≦x≦0.563、0.250≦y≦0.500、x/3≦z≦(x/3)+1/9である関係を満足し、誘電体膜のX線回折チャートにおいて、複合酸化物の(110)面の回折ピークの半値幅が0.40°以上である誘電体膜である。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2017172042A
公开(公告)日：2017-09-28
申请号：JP2017040107
申请日：2017-03-03
申请人： TDK株式会社
CPC分类号： C01F11/02 , C01F5/02 , C04B35/03 , C04B35/04 , C04B35/057 , C04B35/486 , C04B35/62218 , C23C14/082 , C23C14/185 , C23C14/3414 , H01G4/085 , H01G4/10 , H01G4/1227 , H01G4/33 , H01L21/02175 , H01L21/02194 , H01L21/02266 , H01L28/55 , C01P2002/74 , C04B2235/3205 , C04B2235/3206 , C04B2235/3208 , C04B2235/3213 , C04B2235/3215 , C04B2235/3236 , C04B2235/3239 , C04B2235/3244 , C04B2235/3248 , C04B2235/3255 , C04B2235/3284 , C04B2235/762
摘要： 【課題】高い比誘電率とQ値、および絶縁破壊電圧を有する誘電体膜およびその誘電体組成物を用いた電子部品を提供することを目的とすること。 【解決手段】NaCl型結晶構造を有する アルカリ土類金属酸化物を主成分とする誘電体膜において、 前記誘電体膜は面直方向に(111)配向した柱状構造を有し、 前記誘電体膜のCu−KαX線回折チャートにおいて、(111)の回折ピークの半値幅が0.3°〜2.0°である ことを特徴とする誘電体膜。 【選択図】図1
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