酸化物焼結体およびスパッタリングターゲット

    公开(公告)号:JP2018193290A

    公开(公告)日:2018-12-06

    申请号:JP2018002051

    申请日:2018-01-10

    CPC分类号: C04B35/01 C23C14/34

    摘要: 【課題】Gaが多量に添加されたIn−Ga−Zn−Sn系酸化物焼結体においても、ボンディング時の割れの発生を抑制できる酸化物焼結体、および当該酸化物焼結体を用いたスパッタリングターゲットの提供。 【解決手段】金属元素がIn、Ga、Zn及びSnから構成され、Ga 2 In 6 Sn 2 O 16 、ZnGa 2 O 4 およびInGaZnO 4 を含む酸化物焼結体であって、酸化物焼結体に含まれる酸素を除く全金属元素に対する、In、Ga、Zn及びSnの含有量の割合(原子%)を、それぞれ[In]、[Ga]、[Zn]及び[Sn]としたとき、下記式(1)〜(3)を満足することを特徴とする酸化物焼結体。[Ga]≧37原子%・・・(1)、[Sn]≦15原子%・・・(2)、[Ga]/([In]+[Zn])≧0.7・・・(3) 【選択図】図1