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公开(公告)号:JP6336009B2
公开(公告)日:2018-06-06
申请号:JP2016220903
申请日:2016-11-11
Applicant: キヤノン株式会社
Inventor: クスナトディノフ ニャーズ , ラブレイク エル ドウェイン
IPC: B29C59/02 , H01L21/027 , H01L21/3065
CPC classification number: H01L21/0273 , B81C1/00611 , B81C2201/0118 , B81C2201/0121 , B81C2201/0126 , H01L21/28194 , H01L21/30604 , H01L21/30655 , H01L21/3081 , H01L21/3085 , H01L21/3086 , H01L21/31116 , H01L21/31138 , H01L21/7684
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公开(公告)号:JP2016520436A
公开(公告)日:2016-07-14
申请号:JP2016501542
申请日:2014-03-12
Applicant: エコラボ ユーエスエー インコーポレイティド , エコラボ ユーエスエー インコーポレイティド
Inventor: マリー ロング キム , マリー ロング キム , エー.カムラス マイケル , エー.カムラス マイケル , マッキュー ショーン , マッキュー ショーン
IPC: B24B37/00 , B24B1/00 , C09G1/02 , C09K3/14 , H01L21/304
CPC classification number: C09G1/02 , B24B7/228 , B24B37/044 , B81C1/00611 , B81C2201/0118 , C09G1/04 , H01L21/02065 , H01L21/31051 , H01L21/31055 , H01L21/7684
Abstract: 酸性水溶液中のコロイド状アルミノケイ酸塩粒子を有する組成物を用いてサファイア表面を研磨するための組成物、キット及び方法が、本明細書に記載されている。いくつかの態様では、サファイアの表面を研磨するための方法は、回転研磨パッド及び研磨組成物でサファイア表面を摩耗させる工程を含み得る。研磨組成物は、有効量のコロイド状アルミノケイ酸塩を含むことができ、約2.0〜約7.0のpHを有し得る。
Abstract translation: 用于与具有在酸性水溶液中的胶体硅铝酸盐颗粒的组合物进行抛光的蓝宝石表面的组合物,在本文中描述的试剂盒和方法。 在一些实施方案中,用于抛光的蓝宝石表面上的方法可包括戴在蓝宝石表面与旋转的抛光垫及抛光组合物的步骤。 抛光组合物可包括胶态硅铝酸盐有效量,可以具有的pH为约2.0至约7.0。
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公开(公告)号:JP6291026B2
公开(公告)日:2018-03-14
申请号:JP2016501542
申请日:2014-03-12
Applicant: エコラボ ユーエスエー インコーポレイティド
Inventor: キム マリー ロング , マイケル エー.カムラス , ショーン マッキュー
IPC: H01L21/304 , B24B1/00 , C09K3/14 , C09G1/02 , B24B37/00
CPC classification number: C09G1/02 , B24B7/228 , B24B37/044 , B81C1/00611 , B81C2201/0118 , C09G1/04 , H01L21/02065 , H01L21/31051 , H01L21/31055 , H01L21/7684
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