塩、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
    3.
    发明专利
    塩、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 审中-公开
    盐,抗性组合物和抗性图案的生产方法

    公开(公告)号:JP2015131804A

    公开(公告)日:2015-07-23

    申请号:JP2014250654

    申请日:2014-12-11

    摘要: 【課題】良好なCD均一性(CDU)のレジストパターンを製造することができる塩を含むレジスト組成物を提供する。 【解決手段】式(I)で表される塩[式(I)中、Q 1 及びQ 2 は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数1〜6のペルフルオロアルキル基を表す。L b1 は、炭素数1〜24の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。R 1 、R 2 、R 3 及びR 4 は、それぞれ独立に、炭素数1〜12の脂肪族炭化水素基を表し、R 1 とR 2 とは、互いに結合し、それらが結合している炭素原子とともに炭素数5〜20の環を形成してもよく、R 3 とR 4 とは、互いに結合し、それらが結合している炭素原子とともに炭素数5〜20の環を形成してもよい。Z + は、有機対イオンを表す。]。 【選択図】なし

    摘要翻译: 要解决的问题:提供含有盐的抗蚀剂组合物,由此可以制备具有良好的CD(临界尺寸)均匀性(CDU)的抗蚀剂图案。溶液:提供由式(I)表示的盐。 在式(I)中,Q和Qeach独立地表示氟原子或具有1至6个碳原子的全氟烷基; L表示具有1至24个碳原子的二价饱和烃基,其中饱和烃基中包括的亚甲基可以被氧原子或羰基代替,并且饱和烃基中包括的氢原子可以被 氟原子或羟基; R,R,Rand Reach独立地表示具有1至12个碳原子的脂族烃基,Rand Rmay与与两个基团键合的碳原子键合在一起以形成具有5至20个碳原子的环,并且Rand Rmay与 键合到两个基团以形成具有5至20个碳原子的环的碳原子; Z代表有机抗衡离子。

    Production of 2-mercaptoethylamine hydrohalide
    10.
    发明专利
    Production of 2-mercaptoethylamine hydrohalide 失效
    生产2-巯基乙胺盐酸盐

    公开(公告)号:JPS5721366A

    公开(公告)日:1982-02-04

    申请号:JP9564280

    申请日:1980-07-15

    摘要: PURPOSE: To reaction of 2-mercaptothiazoline with 2-halogenoethylamine hydrohalide is effected in the presence of water to produce the titled compound with advantage, which is used as an intermediate of medicines and cosmetics such as hair conditioner.
    CONSTITUTION: A 2-mercaptothiazoline of formula I (R
    1 WR
    4 are H, lower alkyl, phenyl) such as 2-mercaptothiazoline or 4-phenyl-2-mercaptothiazoline is made to react with 2-halogenoethylamine hydrohalide of formula II such as 2-halogenoethylamine or 1-phenyl-2-halogenoethylamine in such an amount of water as more than 20 times the molar quantity of the compound of formula II at a temperature higher than 20°C to produce the objective compound of high purity of formula III economically in high yield.
    USE: The product has an activity of protecting from radioactive rays as well as the above activity.
    COPYRIGHT: (C)1982,JPO&Japio

    摘要翻译: 目的:2-巯基噻唑啉与2-卤代乙基胺氢卤化物的反应在水的存在下进行,得到有利的标题化合物,其用作药物和化妆品如护发素的中间体。 构成:使式I的2-巯基噻唑啉(R 1 -R 4为H,低级烷基,苯基)如2-巯基噻唑啉或4-苯基-2-巯基噻唑啉与式II的2-卤代乙胺氢卤化物反应, 卤代乙胺或1-苯基-2-卤代乙胺,在高于20℃的温度下,其量超过式II化合物摩尔量的20倍以上,以经济地制备高纯度式III的目标化合物 以高产量。 用途:该产品具有防止放射线以及上述活性的作用。