界面活性剤
    4.
    发明专利

    公开(公告)号:JPWO2006025373A1

    公开(公告)日:2008-05-08

    申请号:JP2006532711

    申请日:2005-08-30

    摘要: 実質的にアルカリ金属を使用せず、洗浄時において微細化したパーティクルの再付着防止性に優れ、極めて効率的な高度洗浄を可能にする界面活性剤を提供する。本発明は、中和塩(AB1)及び/又は中和塩(AB2)からなることを特徴とする界面活性剤を用いる。中和塩(AB1):酸解離反応における生成熱変化が3〜200kcal/molである酸からなる酸基(X1)と炭素数が1〜36の疎水基(Y1)とをそれぞれ少なくとも1つ有する酸性化合物(A1)と、プロトン付加反応における生成熱変化が10〜152kcal/molである窒素含有塩基性化合物(B)との中和塩(AB1)であって、(X1)がスルホン酸基等からなる群より選ばれる少なくとも1種である中和塩中和塩(AB2):分子内に少なくとも1つの酸基(X2)を少なくとも1つ有するポリマー(A2)と、プロトン付加反応における生成熱変化が10〜152kcal/molである窒素含有塩基性化合物(B)との中和塩(AB2)

    Water-repellent protection film and chemical solution for protection film formation
    9.
    发明专利
    Water-repellent protection film and chemical solution for protection film formation 审中-公开
    水保护膜和化学溶液用于保护膜形成

    公开(公告)号:JP2014039014A

    公开(公告)日:2014-02-27

    申请号:JP2013117775

    申请日:2013-06-04

    IPC分类号: H01L21/304

    摘要: PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent the pattern collapse in a cleaning step of a metal-based wafer with concave and convex patterns formed on a surface thereof.SOLUTION: A chemical solution comprises a water-repellent protection-film-forming agent expressed by the following general formula [1]. The chemical solution is used in a surface treatment before a drying step after a cleaning step of a metal-based wafer. (In the formula [1], Ris a monovalent hydrocarbon group with 1-18 carbon atoms in which a fluorine element may be partially or totally substituted for a hydrogen element; Ris a monovalent organic group including a hydrocarbon group with 1-18 carbon atoms in which a fluorine element may be partially or totally substituted for a hydrogen element in a mutual independent manner; and "a" is an integer of 0-2.)

    摘要翻译: 要解决的问题:为了防止在其表面上形成有凹凸图案的金属基晶片的清洁步骤中的图案塌陷。解决方案:化学溶液包含由...表示的防水保护膜形成剂 按照通式[1]。 该化学溶液在金属基晶片的清洗步骤之前的干燥步骤之前用于表面处理。 (式[1]中,R为具有1-18个碳原子的一价烃基,其中氟元素可部分或全部被氢元素取代; R为含有1-18个碳原子的烃基的单价有机基团 其中氟元素可以以相互独立的方式部分或全部取代氢元素;并且“a”是0-2的整数。)