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公开(公告)号:JPWO2015194453A1
公开(公告)日:2017-05-25
申请号:JP2016529293
申请日:2015-06-11
申请人: 株式会社アルバック
CPC分类号: H01L41/083 , B32B15/00 , B41J2/14 , C23C14/04 , C23C14/088 , C23C14/185 , C23C14/34 , C23C14/35 , C23C14/566 , C23C14/568 , C23C14/588 , H01L41/0471 , H01L41/0805 , H01L41/29 , H01L41/297 , H01L41/314 , H01L41/316
摘要: この多層膜は、基板の一主面側に、第一導電層と、誘電体層と、第二導電層とが順に重ねて配された多層膜であって、前記誘電体層は、前記誘電体層の下面が前記第一導電層の上面に接するとともに、前記誘電体層の上面及び側面が前記第二導電層により被覆されており、かつ、前記基板の一主面側において、前記第一導電層と前記第二導電層が直接重なる部位の側端部は、前記基板の側端部より内側に位置する。
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公开(公告)号:JP4594273B2
公开(公告)日:2010-12-08
申请号:JP2006128355
申请日:2006-05-02
申请人: キヤノン株式会社
CPC分类号: G11B5/855 , C23C14/042 , C23C14/046 , C23C14/165 , C23C14/345 , C23C14/5873 , C23C14/588 , G11B5/851 , Y10T428/32
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公开(公告)号:JP4414745B2
公开(公告)日:2010-02-10
申请号:JP2003408918
申请日:2003-12-08
申请人: 新日本製鐵株式会社
CPC分类号: C23C14/083 , B05D7/14 , B05D7/51 , B05D7/54 , C09D5/084 , C23C14/10 , C23C14/588 , C23C18/1216 , C23C18/1295 , C23C22/34 , C23C22/78 , C23C22/82 , C23C28/00 , C23C28/042 , C25D5/48 , C25D9/10 , Y10T428/12493 , Y10T428/12535 , Y10T428/12556 , Y10T428/12611
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4.Contaminant removing apparatus, contaminant removing mechanism and vacuum thin-film formation working device 有权
标题翻译: 污染物去除装置,污染物去除机构和真空薄膜形成工作装置公开(公告)号:JP2009038295A
公开(公告)日:2009-02-19
申请号:JP2007203054
申请日:2007-08-03
申请人: Canon Anelva Corp , キヤノンアネルバ株式会社
发明人: TSUNEKAWA KOJI
IPC分类号: H01L21/304 , B08B7/00 , C23C14/58 , C23C16/56 , H01L21/302
CPC分类号: B08B7/0035 , B08B7/0042 , C23C14/564 , C23C14/588 , C23C16/4407 , C23C16/56
摘要: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a contaminant removing method and the like by which a film (contaminant) deposited on a rear side end portion or a side surface of a substrate to be treated is removed.
SOLUTION: A contaminant removing method of the present invention includes irradiating a rear side end portion and a side surface of a substrate 7 to be treated with a thin-film formed on the surface thereof with directional beams under vacuum.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT摘要翻译: 要解决的问题:提供去除沉积在待处理基板的后侧端部或侧表面上的膜(污染物)的污染物去除方法等。 解决方案:本发明的污染物去除方法包括在真空下用形成在其表面上的薄膜照射待处理的基板7的后侧端部和侧表面。 版权所有(C)2009,JPO&INPIT
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公开(公告)号:JP6410370B2
公开(公告)日:2018-10-24
申请号:JP2016529293
申请日:2015-06-11
申请人: 株式会社アルバック
CPC分类号: H01L41/083 , B32B15/00 , B41J2/14 , C23C14/04 , C23C14/088 , C23C14/185 , C23C14/34 , C23C14/35 , C23C14/566 , C23C14/568 , C23C14/588 , H01L41/0471 , H01L41/0805 , H01L41/29 , H01L41/297 , H01L41/314 , H01L41/316
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公开(公告)号:JP3911020B2
公开(公告)日:2007-05-09
申请号:JP50637597
申请日:1996-07-23
申请人: ローヌ−プーラン・アグロシミ
发明人: デユベール,パトリス
IPC分类号: A01N57/12 , A61L2/16 , A01N37/50 , A01N41/04 , A01N41/10 , A01N43/54 , A01N43/70 , A01N59/00 , A01N59/16 , A01N59/20 , A01P3/00 , A01P13/00 , A61L17/14 , A61L29/10 , C23C14/00 , C23C14/02 , C23C14/06 , C23C14/08 , C23C14/14 , C23C14/16 , C23C14/35 , C23C14/58
CPC分类号: A01N43/70 , A01N57/12 , A01N59/16 , A61B2018/00119 , A61L17/145 , A61L29/106 , C23C14/0036 , C23C14/025 , C23C14/06 , C23C14/0688 , C23C14/086 , C23C14/14 , C23C14/16 , C23C14/588 , A01N41/10 , A01N41/04 , A01N43/54 , A01N37/50 , A01N37/38 , A01N37/40 , A01N2300/00
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公开(公告)号:JP2005161715A
公开(公告)日:2005-06-23
申请号:JP2003404590
申请日:2003-12-03
申请人: Nippon Steel Corp , 新日本製鐵株式会社
发明人: SHOJI HIROMASA , TANAKA YUKIMOTO , NOMURA HIROMASA , KUBO YUJI , HAMADA TAKESHI
CPC分类号: C23C22/34 , B05D7/14 , B05D7/51 , C23C14/083 , C23C14/10 , C23C14/588 , C23C28/00 , C23C28/042 , C25D9/08 , C25D9/12 , Y10T428/12556 , Y10T428/12569 , Y10T428/12611 , Y10T428/12618 , Y10T428/1275
摘要: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a coated metal sheet which is excellent in coating adhesion and low in environmental load. SOLUTION: In the coated metal sheet, on the surface of a metal sheet or a plated metal sheet containing zinc and aluminum as main components, at least a coat layer mainly containing an oxide and/or a hydroxide of a metal excluding chromium and an organic resin layer are laminated. COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
摘要翻译: 要解决的问题:提供涂层附着性优异,环境负荷低的涂布金属片。 解决方案:在金属片的金属片或含有锌和铝作为主要成分的电镀金属片的表面上,至少包含除了铬以外的金属的氧化物和/或氢氧化物的主要成分 层叠有机树脂层。 版权所有(C)2005,JPO&NCIPI
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公开(公告)号:JP2005515067A
公开(公告)日:2005-05-26
申请号:JP2003561784
申请日:2002-01-23
IPC分类号: B05D3/12 , B05D7/14 , C23C4/18 , C23C14/58 , C23C28/00 , C23C30/00 , F04C2/16 , F04C2/18 , F04C18/08 , F04C18/16 , F04C29/00
CPC分类号: C23C14/588 , B05D1/40 , B05D3/12 , C23C4/18 , C23C28/00 , C23C28/044 , C23C28/046 , C23C28/42 , C23C30/00 , F04C18/082 , F04C18/16 , F04C2230/91 , F05C2203/0808 , F05C2253/06
摘要: 本発明は、スクリューマシンの表面をコーティングする方法に関する。 この方法は、平行で一部が重なり合う、少なくとも一対のボアを有したロータハウジングと、上記ボア内に設けられかつ互いに協働する少なくとも一対の噛合いロータであって、径方向外側の歯先部と、これらの間に設けられた径方向内側の歯底部と、を有するらせん状のローブを備える噛合いロータと、を含む複数のスクリューマシン部材の少なくとも1つを提供する段階と、上記複数の部材の少なくとも1つの表面にコンフォーマブルコーティングを施して、該表面上のコーティングが、不均一な厚さを有するように、ラフコーティングする段階と、上記複数の部材の最終組付けの前に、上記部材の組付けを容易にするとともにコーティング性能基準を維持するように選択された、ほぼ均一な所定の厚さに上記コンフォーマブルコーティングをレベリングする段階と、を含む。
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公开(公告)号:JP2004537646A
公开(公告)日:2004-12-16
申请号:JP2002525869
申请日:2001-09-08
发明人: シュミット、ベルンハルト , フクス、マンフレート , ヘル、エーリッヒ , マッテルン、デトレフ
CPC分类号: C23C14/588 , C23C14/0694 , H01J9/221
摘要: 本発明は、a)用いられる蛍光材料の少なくとも30重量%が基板上に凝着するように蒸気相から蛍光材料を基板上に凝着させる工程と、b)凝着した蛍光材料膜を研磨材によって所定の均一膜厚に研磨する工程とを含む蛍光材料膜の製造方法に関する。 この方法によれば、凝着工程で蛍光材料が無駄になるのを防止して経済性を高め、更に研磨材による研摩と言う簡単な方法で、均一な膜厚を有する蛍光材料膜を形成することができる。
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公开(公告)号:JP5956926B2
公开(公告)日:2016-07-27
申请号:JP2012528275
申请日:2010-09-09
发明人: リッセ,シュテファン , ゲブハルト,アンドレアス , ペッシェル,トーマス , シュテックル,ヴィーラント
CPC分类号: C23C14/165 , C23C14/024 , C23C14/0635 , C23C14/0641 , C23C14/0652 , C23C14/081 , C23C14/083 , C23C14/588 , G02B5/08 , G02B5/0891 , G02B1/02 , G02B1/10 , Y10T428/265
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