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    KR102234984B1 - Apparatus for detecting particle of a semiconductor wafer
    1.
    发明专利
    KR102234984B1 - Apparatus for detecting particle of a semiconductor wafer 有权

    公开(公告)号：KR102234984B1

    公开(公告)日：2021-04-01

    申请号：KR1020200132998A

    申请日：2020-10-14

    申请人： 차일수

    发明人： 차일수

    IPC分类号： G01N21/95 ,  G01B11/02 ,  G01N21/88

    CPC分类号： G01N21/9501 ,  G01B11/026 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/8851 ,  G01N2021/8841 ,  G01N2021/8874 ,  G01N2021/8887

    摘要： 본 발명은 반도체 소자 제조를 위해 공정 중인 웨이퍼의 파티클 검출장치에 대해 제시한다. 본 발명의 실시예에 따른
    파티클 검출장치는 웨이퍼의 전면을 수평 라인 영역별로 촬영하고 촬영된 이미지 데이터를 통해 거리 값 정보를 추출하는 제1 촬상 모듈, 웨이퍼의 배면을 수평 라인 영역별로 촬영하고 촬영된 이미지 데이터를 통해 거리 값 정보를 추출하는 제2 촬상 모듈, 제1 및 제2 촬상 모듈에서 수평 라인 영역별로 촬상된 이미지 데이터로부터, 거리, 높이, 체적 값 중 적어도 하나의 정보를 분석해서 수평 라인 영역별로 순차적으로 미리 설정된 규정 이상의 파티클을 검출하는 파티클 모니터링 기기를 포함하는바, 파티클의 존재 여부와 위치를 실시간으로 정확하게 산출할 수 있다.

    マイクロニードルアレイ撮像装置及び方法、並びに、マイクロニードルアレイ検査装置及び方法
    2.
    发明专利
    マイクロニードルアレイ撮像装置及び方法、並びに、マイクロニードルアレイ検査装置及び方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018038509A

    公开(公告)日：2018-03-15

    申请号：JP2016173484

    申请日：2016-09-06

    申请人： 富士フイルム株式会社

    发明人： 室岡 孝 ,  大西 一夫

    IPC分类号： A61M37/00

    CPC分类号： G06T7/0002 ,  A61M37/00 ,  A61M37/0015 ,  A61M2037/0023 ,  A61M2037/0061 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/95 ,  G01N21/958 ,  G01N2021/8841 ,  H04N5/2256

    摘要： 【課題】得られた画像に基づいてマイクロニードルアレイを高精度に検査できるマイクロニードルアレイ撮像装置及び方法、並びに、マイクロニードルアレイ検査装置及び方法を提供する。 【解決手段】マイクロニードル2が配置された面と反対側の面に平行光を照明光として照射し、マイクロニードル2が配置された面の側からマイクロニードルアレイ1を撮像する。この際、マイクロニードル2の底面2aへの光の入射角αが、90−θ度以上、かつ、マイクロニードル2の側面2bへの光の入射角βが、臨界角γ未満となる条件で照明光を照射する。これにより、マイクロニードル2の先端部分からは、ほとんど光が出ない状態を生成できる。これにより、マイクロニードル2の先端部分のみが暗く、他の部分、すなわち、マイクロニードル2の根元の部分及びシート3の部分は明るい画像を撮像できる。 【選択図】図4

    半導体ウエーハのエッジ検査装置及びエッジ検査方法
    5.
    发明专利
    半導体ウエーハのエッジ検査装置及びエッジ検査方法 有权

    公开(公告)号：JPWO2008123459A1

    公开(公告)日：2010-07-15

    申请号：JP2009509235

    申请日：2008-03-28

    申请人： 芝浦メカトロニクス株式会社

    发明人： 林　義典 ,  義典 林 ,  森　秀樹 ,  秀樹 森

    IPC分类号： H01L21/66 ,  G01B11/24 ,  G01N21/88 ,  G01N21/956

    CPC分类号： G01B11/24 ,  G01N21/9503 ,  G01N2021/8841 ,  H01L22/12

    摘要： 【課題】欠陥有無についての検査と同じ工程あるいは同じ装置にて半導体ウエーハの外周エッジ部分の形状の検査を容易に行なうことのできる半導体ウエーハのエッジ検査装置及びエッジ検査方法を提供することである。【解決手段】半導体ウエーハ100の外周エッジ部分101を周方向に順次撮影して画像信号を出力するCCDカメラ10と、CCDカメラ10から順次出力される画像信号を処理する画像処理ユニット20とを有し、画像処理ユニット20は、前記画像信号から半導体ウエーハ100の外周エッジ部分101を表す画像情報を生成する画像情報生成手段(S2)と、前記画像情報から外周エッジ部分101の複数位置θそれぞれでの形状を表すエッジ形状情報Ap(θ)、Ub(θ)、Lb(θ)を生成する形状情報生成手段(S13)とを有し、前記エッジ形状情報に基づいた検査結果を出力するように構成される。【選択図】図6

    Container inspection machine
    8.
    发明专利
    Container inspection machine 审中-公开
    集装箱检测机

    公开(公告)号：JP2005024541A

    公开(公告)日：2005-01-27

    申请号：JP2004154538

    申请日：2004-05-25

    申请人： Emhart Glass Sa ,  エムハート・グラス・ソシエテ・アノニム

    发明人： DIEHR RICHARD D ,  RAUPP HENRY F

    IPC分类号： G01B11/30 ,  B07C5/34 ,  B07C5/342 ,  G01N21/84 ,  G01N21/90

    CPC分类号： B07C5/3422 ,  B07C5/3408 ,  G01N21/90 ,  G01N21/9009 ,  G01N2021/8411 ,  G01N2021/845 ,  G01N2021/8841 ,  G01N2201/0626

    摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a machine for glass container inspection enabling to perform easily necessary washing to a mirror or the like.
    SOLUTION: This machine is used for inspecting a container conveyed along a linear route. In the machine, a left side cabinet and a right side cabinet are arranged separately in front of the linear route, and a space between them is used as a space where an operator stands close to the linear route. The machine has left side and right side inspection stations and includes respectively a left side assembly and a right side assembly arranged in front of the linear route. The assemblies are mounted rotatably around a vertical axis, and can be thereby rotated from a closed position close to the linear route to a retreat position separated from the linear route. On the retreat position, the operator can enter the machine, inspect and repair the inspection stations.
    COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

    摘要翻译： 要解决的问题：提供一种用于玻璃容器检查的机器，其能够容易地对镜子等进行必要的洗涤。

    解决方案：本机用于检查沿线性路线输送的容器。 在机器中，左侧机柜和右侧机柜分别布置在线性路线前方，并且它们之间的空间用作操作者靠近线性路线的空间。 机器具有左侧和右侧检查站，并且分别包括布置在线性路线前方的左侧组件和右侧组件。 组件围绕垂直轴线可旋转地安装，并且可以从靠近线性路线的关闭位置旋转到与线性路线分离的退避位置。 在撤退的位置，操作员可以进入机器，检查和维修检查站。 版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI

    錠剤検査装置及び錠剤検査方法
    10.
    发明专利
    錠剤検査装置及び錠剤検査方法 审中-公开
    如何片剂检查装置和片剂测试

    公开(公告)号：JPWO2014188650A1

    公开(公告)日：2017-02-23

    申请号：JP2015518055

    申请日：2014-04-09

    申请人： パナソニックヘルスケアホールディングス株式会社

    发明人： 貴頌 谷本 ,  仁 山下 ,  宏 江原

    IPC分类号： A61J3/06

    CPC分类号： G01N21/9508 ,  A61J1/03 ,  A61J1/035 ,  A61J2205/40 ,  G01N21/8851 ,  G01N2021/845 ,  G01N2021/8841

    摘要： 本発明の錠剤検査装置は、少なくとも半透明錠剤22が封入された薬包体20に光を照射する照明部30と、照射された薬包体20の透過画像を取得する撮像部11と、透過画像を用いて、中心部よりも外周部の明度が低い錠剤を半透明錠剤22として検出する画像処理部12とを備え、照明部30は、発光部31を有し、発光部31と薬包体20との間に、光を集光する集光部33を設けたことを特徴とし、撮影位置に関係なく半透明錠剤22の均等な輪郭を得ることで、透過度に関係なく半透明錠剤22の検査を行なうことが可能である。【選択図】図1

    摘要翻译： 本发明的片剂的检查设备包括：照射单元30用于至少半透明的平板22将光照射到Kusuritsutsumitai 20填充，其获取被照射Kusuritsutsumitai 20的透射图像的成像单元11，传输 使用图像，并且其比中央部的外周部的亮度检测低片剂作为半透明平板22的图像处理单元12，照明单元30具有发光部31，发光单元31和药剂包装 主体20之间时，光的特征在于，一个光收集单元33，用于收集光，以获得均匀的轮廓半透明平板22无论摄影位置的，半透明的片剂无论渗透性 它能够进行的22的检查。 点域1