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    検査方法および検査装置
    3.
    发明专利
    検査方法および検査装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018151245A

    公开(公告)日：2018-09-27

    申请号：JP2017047287

    申请日：2017-03-13

    申请人： 株式会社SCREENホールディングス

    发明人： 吉田 巧

    IPC分类号： G01N21/952 ,  G01B11/00 ,  G01N21/84

    CPC分类号： G01B11/00 ,  G01N21/84 ,  G01N21/95 ,  G01N21/952

    摘要： 【課題】対称軸まわりに回転対称な外周部を有するワークを高精度で検査するとともに当該検査のサイクルタイムを短縮する。 【解決手段】各ワークの検査は、ワークをプリアライメント位置において保持テーブルで保持して回転軸まわりに回転させながらワークを撮像する第1工程を実行して取得した画像に基づいて回転軸に対するワークの対称軸の芯ズレを解消するように保持テーブルでのワークの位置補正を行った後で、当該ワークを検査位置において回転軸まわりに回転させながら撮像する第5工程を実行して取得した画像に基づいてワークの検査を行うワーク検査において、連続する2個のワークのうち先のワークに対する第5工程と、後のワークに対する第1工程とを並行して実行する。 【選択図】図6

    多視点による対象検査装置及び方法
    5.
    发明专利
    多視点による対象検査装置及び方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018525640A

    公开(公告)日：2018-09-06

    申请号：JP2018510332

    申请日：2015-08-26

    申请人： アーベーベー・シュバイツ・アーゲー

    发明人： ケファー、マーティン ,  ジャン、ジャファン

    IPC分类号： G01N21/84

    CPC分类号： G01N21/8806 ,  G01B11/24 ,  G01N21/95 ,  G01N2021/8841

    摘要： 多視点による対象検査装置(1)及びそのための方法を提供することが、したがって目的である。装置(1)は、画像捕捉装置(10)と、検査部位(11)と、画像捕捉装置(10)に対して、前記検査部位(11)において位置付けられた前記対象の少なくとも2つの異なる側面ビューを同時に反射するように配置された少なくとも2つの反射装置(12)とを含み、画像捕捉装置(10)は、前記反射の少なくとも2つの異なる側面ビューを含むビューの範囲を有する。画像捕捉装置(10)が複数のビューからの部分を一度に「見る」のを可能にするために、反射装置(12)を検査装置(1)に導入することによって、多数の表面が、各単一表面について反射装置(12)、カメラ(10)及び/又は対象を再位置付けする必要なく、1つの画像枠において一度に検査され得る。そうでなければ任意の所定の固体対象の隠された表面を利用することによって、検査プロセスを支援するためのカメラのビューの範囲において置かれた1つより多くの反射装置(12)がある。複数の側面から各単一部分を検査する労力は低減される。したがって、検査周期時間の期間は低減され得、多表面のレベルへの検査は、全体として品質を高めることが可能になる。

    損傷情報抽出装置、損傷情報抽出方法および損傷情報抽出プログラム
    6.
    发明专利
    損傷情報抽出装置、損傷情報抽出方法および損傷情報抽出プログラム 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2017043276A1

    公开(公告)日：2018-07-12

    申请号：JP2016074008

    申请日：2016-08-17

    申请人： 富士フイルム株式会社

    发明人： 高森 哲弥 ,  窪田 聡 ,  根来 雅之

    IPC分类号： G01M99/00

    CPC分类号： G06Q10/20 ,  G01M99/00 ,  G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G06Q50/08

    摘要： 建造物の重要位置と重要損傷を特定し、重要位置の重要損傷を評価することによって、建造物全体の健全度評価を行うことを可能とするものである。検査特定部14が、建造物構造情報の中から、検査対象となる建造物の建造物構造情報を取得するとともに、使用環境履歴情報の中から、検査対象となる建造物の使用環境履歴情報を取得し、これら情報に基づき検査対象とする位置と損傷種類を特定する。そして、検査データ取得部15が、各部材の被写体像を撮影した画像データと各部材の位置情報を含む検査データを取得し、検査データ分析部16が、部材位置に対応する画像データを検査データ取得部15から取得して分析し、検査対象として特定された損傷種類の損傷が存在するか否か、および、その損傷が存在する場合に、その損傷の程度を決定する。

    光走査高さ測定装置
    7.
    发明专利
    光走査高さ測定装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018109542A

    公开(公告)日：2018-07-12

    申请号：JP2016256612

    申请日：2016-12-28

    申请人： 株式会社キーエンス

    发明人： 秋柴 雄二 ,  本間 達朗

    IPC分类号： G01B11/24 ,  G01B9/02 ,  G01B11/02

    CPC分类号： G02B21/002 ,  G01N21/95 ,  G02B26/101 ,  G02B26/105 ,  G02B26/123 ,  G02B26/127 ,  G02B27/0031

    摘要： 【課題】コンパクトに構成しつつ測定対象物の表面の高さを高速かつ高精度で測定することが可能な光走査高さ測定装置を提供する。 【解決手段】測定対象物の高さを測定するために、光出射部から出射される光が測定光と参照光とに分岐される。測定光は測定対象物に照射され、参照光は参照部250に導かれる。測定対象物から帰還する測定光と参照部250から帰還する参照光との干渉光が生成される。高さの算出に適切な干渉光を得るために、参照部250において参照光の光路長が調整される。参照光の光路長は、支持部251に支持される可動部252a,252bが直線状に延びる2本のリニアガイド251g上で移動することにより変化する。参照光の光路長を調整する際に、可動部252a,252bは、互いに逆方向に移動される。 【選択図】図5

    位置検出方法及び光モジュール
    8.
    发明专利
    位置検出方法及び光モジュール 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018072516A

    公开(公告)日：2018-05-10

    申请号：JP2016210890

    申请日：2016-10-27

    申请人： 浜松ホトニクス株式会社

    发明人： 鈴木 智史 ,  港谷 恭輔

    IPC分类号： G01B11/00 ,  G01B9/02 ,  G01J3/45 ,  G02B26/06

    CPC分类号： G01J3/0289 ,  B81B7/0067 ,  B81B2201/042 ,  G01B9/02015 ,  G01B2290/15 ,  G01D5/266 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/4532 ,  G01J3/4535 ,  G01N21/95 ,  G01N2021/9511 ,  G02B27/108 ,  H04L27/2628

    摘要： 【課題】可動部の位置を要求に応じた精度で検出する。 【解決手段】位置検出方法は、検出光が第1光と第2光とに分割される第1ステップと、回帰光路に第1光が入射する第2ステップと、回帰光路において、第1光が可動ミラーを介してビームスプリッタに至る度に、第1光の一部がビームスプリッタを透過すると共に第1光の残部がビームスプリッタで反射されて可動ミラーを介してビームスプリッタに至る第3ステップと、干渉光学系において、ビームスプリッタを透過した第1光と、第2光とが合成され、多重干渉光が生成される第4ステップと、多重干渉光の第1干渉光信号から、検出光の波長の1/p(pは自然数)の波長を有する第2干渉光信号が抽出される第5ステップと、第2干渉光信号に基づいて、所定方向における可動部の位置が算出される第6ステップと、を備える。 【選択図】図1

    セラミックス体の表面検査方法
    9.
    发明专利
    セラミックス体の表面検査方法 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2017061318A1

    公开(公告)日：2017-10-12

    申请号：JP2017520556

    申请日：2016-09-28

    申请人： 日本碍子株式会社

    发明人： 良太 倉橋 ,  良太 倉橋 ,  彰宏 水谷 ,  彰宏 水谷 ,  貴史 寺拝 ,  貴史 寺拝

    IPC分类号： G01N21/95 ,  G01B11/30

    CPC分类号： G06T7/0008 ,  G01B11/30 ,  G01N21/95 ,  G06T7/001 ,  G06T7/90 ,  G06T2207/10024 ,  G06T2207/10152 ,  G06T2207/30108 ,  G06T2207/30172 ,  H04N5/2256

    摘要： クラックの有無を従来よりも確実に判定可能なセラミックス体の表面検査方法を提供する。当該方法が、被検査面の被照射領域に対し、撮像手段を挟んだ相異なる方向から被検査面に対して照射される第1と第2の照明光との少なくとも一方を照射した状態で、被照射領域を撮像する撮像工程と、撮像結果に基づいて判定用画像を生成する判定用画像生成工程と、判定用画像に基づいて判定する判定工程と、を備え、少なくとも第1の照明光が照射された状態で得られる第1の撮像結果に基づいて第1の判定用画像が生成され、少なくとも第2の照明光が照射された状態で第2の撮像結果に基づいて第2の判定用画像が生成されるとするときに、第1と第2の判定用画像は、両者を照合した際のそれぞれにおける影領域の形成態様の異同に基づいてクラックの有無が判定可能であるように生成される。

    表面検査装置、表面検査方法およびプログラム
    10.
    发明专利
    表面検査装置、表面検査方法およびプログラム 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2016031434A1

    公开(公告)日：2017-06-15

    申请号：JP2016545053

    申请日：2015-07-21

    申请人： コニカミノルタ株式会社

    发明人： 小松　隆史 ,  隆史 小松 ,  阿部　芳久 ,  芳久 阿部 ,  亘 山口 ,  亘 山口 ,  洋佑 竹部 ,  洋佑 竹部

    IPC分类号： G01N21/88

    CPC分类号： G01N21/95

    摘要： 白ボケを客観的にばらつきなく判定するために、表面検査装置は、開口部、複数の測定用ユニット、取得部および演算部を備える。開口部は、測定用の開口面を規定する。複数の測定ユニットは、発光部と受光部を各々有し、開口面の仮想的な法線上から平面透視した場合に開口面に対して相互に異なる方向に配置される。取得部は、測定用ユニット毎に、発光部から開口面を介した光の照射に応じて試料表面から発せられて開口面を介して受光部で受光される光に対応する、明度に係る検出値を取得する。演算部は、取得部によって複数の測定用ユニットについて各々取得された複数の検出値のばらつき度合いに係る評価値を算出する。そして、発光部から開口面に向かう光の第1光路が該開口面の法線と成す第1角度、開口面から受光部に向かう光の第2の光路が法線と成す第2角度、および第1光路と第2光路とが成す第3角度が、複数の測定用ユニットの間において各々等しい。