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    KR20210034257A - Apparatus for inspecting objects using terahertz wave with swinging mirror
    1.
    发明专利
    KR20210034257A - Apparatus for inspecting objects using terahertz wave with swinging mirror 审中-公开

    公开(公告)号：KR20210034257A

    公开(公告)日：2021-03-30

    申请号：KR1020190115949A

    申请日：2019-09-20

    申请人： (주)레이텍

    发明人： 신문식

    IPC分类号： G01N21/3581 ,  G01N21/88 ,  G02B5/08

    CPC分类号： G01N21/3581 ,  G01N21/8806 ,  G02B5/08

    摘要： 본 발명은 고출력 테라헤르츠파를 이용한 비파괴 영상 검사를 할 수 있는 요동 밀러를 이용한 테라헤르츠 빔 검사 장치에 관한 것이다.
    또한, 본 발명은 테라헤르츠 빔을 발생시키는 발진부, 상기 발진부로부터 발생되는 상기 테라헤르츠 빔이 통과하면서 한 지점으로 모이게 하는 제1 집광부, 상기 제1 집광부를 통과한 상기 테라헤르츠 빔을 소정의 각도 범위 내로 반사하도록 상기 소정의 각도 범위 내로 요동 운동하는 요동 밀러, 상기 요동 밀러에 의해 반사되는 상기 테라헤르츠 빔이 통과하면서 한 지점으로 모이게 하는 제2 집광부 및 상기 제2 집광부를 통과한 상기 테라헤르츠 빔을 수신하여 상기 테라헤르츠 빔의 스펙트럼을 검출하는 수신부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

    光学装置
    5.
    发明专利
    光学装置 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2016178317A1

    公开(公告)日：2018-02-22

    申请号：JP2017516555

    申请日：2016-04-27

    申请人： 日本電気株式会社

    发明人： 森本 卓夫 ,  須藤 孝行 ,  石 勉

    IPC分类号： G02B27/48 ,  G01N21/17 ,  G01N21/3581 ,  G02B26/10

    CPC分类号： G01N21/3581 ,  G02B21/06 ,  G02B27/48

    摘要： 本発明の目的は、照明領域が広い用途においても、画像取得レートを低下させず、しかも装置の大型化を伴わずに、干渉パターンの低減を実現する光学装置を提供する。そのために本発明の光学装置は、コヒーレント光源を照明として用いる光学装置において、コヒーレント光源とコリメートレンズの間に光線方向搖動手段を配置し、対象物に焦点が結ばないことを特徴とする。

    レーザ光位置制御装置および計測装置
    8.
    发明专利
    レーザ光位置制御装置および計測装置 有权

    公开(公告)号：JPWO2016208049A1

    公开(公告)日：2017-08-17

    申请号：JP2017524537

    申请日：2015-06-26

    申请人： 株式会社日立製作所

    发明人： 幸修 田中 ,  幸修 田中

    IPC分类号： G02B26/10 ,  G01N21/3581 ,  G02B26/08

    CPC分类号： G01N21/3581 ,  G02B26/10

    摘要： 配管内の排ガス中の粒子状物質の濃度分布測定に応用できる、簡素な構造でレーザ光を走査できるレーザ光位置制御装置を提供する。第1のレーザ光を発生する第1の発振部と、前記レーザ光を検出する第1の検出部と、対向配置される第1及び第2のレンズと、前記第1の発振部と前記第1のレンズとの間の第1の光軸走査部と、前記第2のレンズと前記第1の検出器との間の第2の光軸走査部と、前記第1の光軸走査部を制御する第1の制御部と、前記第2の光軸走査部を制御する第2の制御部と、第1の制御部と第2の制御部への制御情報を与える走査指示部と、を備え、前記第1の検出部は、前記レーザ光を前記第1の光軸走査部、前記第1及び第2のレンズ、前記第2の光軸走査部を介して検出し、前記第2の制御部は、前記走査指示部から前記第1の光軸走査部への前記制御情報と前記第1の検出部の検出信号とに基づき前記第2の光軸走査部を制御する、レーザ光位置制御装置。

    気体分析装置
    9.
    发明专利
    気体分析装置 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2016208048A1

    公开(公告)日：2017-08-03

    申请号：JP2017524536

    申请日：2015-06-26

    申请人： 株式会社日立製作所

    发明人： 啓太 山口 ,  啓太 山口

    IPC分类号： G01N21/3581

    CPC分类号： G01N21/3581

    摘要： テラヘルツ波を用いた気体分析装置において、分析可能な気体濃度レンジを拡大する。テラヘルツ波を用いて、気体を分析する気体分析装置において、単一発振周波数のテラヘルツ帯の光を生成する、少なくとも1つ以上の光発生部と、前記光発生部からが生成した前記テラヘルツ帯の光を受光し、光量を測定する、少なくとも2つ以上の第1と第2の検出部と、前記光発生部が生成した前記テラヘルツ帯の光が内部を通過する気体セルと、を有し、前記第1と第2の検出部は、前記テラヘルツ帯の光の同一光路中の異なる地点に配置され、おける、前記テラヘルツ帯の光の光量の一部を前記検出部で測定し、前記第1と第2の検出部で測定した異なる地点の前記光量から、前記気体セル中の気体を分析する、ことを特徴とする気体分析装置で解決できる。