公开(公告)号：JPWO2014065269A1

公开(公告)日：2016-09-08

申请号：JP2014543299

申请日：2013-10-22

申请人： 東京エレクトロン株式会社

发明人： 山本　拓生 ,  拓生 山本 ,  勇樹 片岡 ,  勇樹 片岡

IPC分类号： G05B13/02 ,  G05B13/04

CPC分类号： G05B19/41875 ,  C23C16/52 ,  F02D41/1402 ,  F02D41/1441 ,  F02D2041/1412 ,  F02D2041/1416 ,  F02D2041/1426 ,  F02D2041/1433 ,  F02D2041/2058 ,  F02D2200/0402 ,  G05B13/041 ,  G05B13/042 ,  G05B2219/31103 ,  G05B2219/32018 ,  G05B2219/32187 ,  G06N5/022 ,  H01L22/20 ,  H01L2924/0002 ,  Y02P90/12 ,  Y02P90/22 ,  H01L2924/00

摘要： 製造装置の変動現象が考慮された制御パラメータの補正値を求める補正値算出装置を提供する。補正値算出装置(1)において、製造装置の変動現象を表す指標値及び製造プロセスの実行環境を示すプロセス要素の変動量の関係を表す装置モデルを用いて、取得した前記指標値をプロセス要素の変動量へ変換する第2変換部(10e)と、前記製造プロセスの実行結果を評価する出来栄え指標及び前記プロセス要素の関係を表すプロセスモデルを用いて、プロセス要素の変動量より前記出来栄え指標の変動量を算出する変動量算出部(10f)と、出来栄え指標の管理範囲及び算出した出来栄え指標の変動量より、出来栄え指標の補正量を算出する補正量算出部(10g)と、前記プロセスモデルを用いて、算出した出来栄え指標の補正量をプロセス要素毎の補正量に換算し、換算した補正量より前記制御パラメータの補正値を算出する補正値算出部(10h)とを備える。

摘要翻译： 提供校正值计算单元，用于获得的生产装置的控制参数的变化现象的修正值被考虑。 在校正值计算单元（1），使用表示指示的索引值和表示制造装置中，所获取的索引值的过程元素的变化现象的执行环境的制造工艺过程的元件之间的关系的变形例的设备模型 用于转换变化（10E）的量，使用表示关系做工指标的过程模型和评估制造过程的执行结果的处理元件的第二转换器，比处理元件的变化量做工指数的变化 使用变化计算单元，用于计算的量和（10F），从变化的在管理范围中的量和工艺索引，用于计算的工艺指标的校正量和（10克）的校正量计算单元计算出的工艺指示，过程模型 碲，所计算出的工艺指数在每个过程元件的校正量而言的校正量，以及用于从所述转换后的校正量计算的控制参数的校正值的校正值计算单元（10H）

公开(公告)号：JP4083018B2

公开(公告)日：2008-04-30

申请号：JP2002570029

申请日：2002-02-28

申请人： フィッシャー−ローズマウント システムズ, インコーポレイテッド

发明人： イブレン アーユレック， ,  イアン ブライス デュアー，

IPC分类号： G05B23/02 ,  G05B13/02 ,  G05B15/02 ,  G05B19/418 ,  G06Q10/08 ,  G06Q30/06

CPC分类号： G05B23/0294 ,  G05B13/0275 ,  G05B13/028 ,  G05B19/41865 ,  G05B19/41875 ,  G05B23/0243 ,  G05B2219/31288 ,  G05B2219/32015 ,  G05B2219/32018 ,  G05B2219/32235 ,  G05B2219/32371 ,  G06Q10/087 ,  G06Q30/0633 ,  Y02P80/114 ,  Y02P80/40 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/18 ,  Y02P90/185 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/22 ,  Y02P90/26 ,  Y02P90/86 ,  Y10S715/965

摘要： A process control system uses an asset utilization expert to collect data or information pertaining to the assets of a process plant from various sources or functional areas of the plant including, for example, the process control functional areas, the maintenance functional areas and the business systems functional areas. This data and information is manipulated in a coordinated manner by tools, such as optimization and modeling tools and is redistributed to other areas or tools where it is used to perform overall better or more optimal control, maintenance and business activities. Information or data may be collected by maintenance functions pertaining to the health, variability, performance or utilization of a device, loop, unit, etc. and this information may then be sent to and displayed to a process operator or maintenance person to inform that person of a current or future problem.

公开(公告)号：JP6125506B2

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：JP2014528577

申请日：2012-08-30

申请人： ケーエルエー−テンカー コーポレイション

发明人： チョイ ドンサブ ,  ティアン デイビッド

IPC分类号： H01L21/02 ,  G03F9/02

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B13/04 ,  G05B2219/32018 ,  G05B2219/32191 ,  G05B2219/42001 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/22

公开(公告)号：JP5223668B2

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：JP2008500556

申请日：2007-02-16

申请人： 株式会社ニコン

发明人： 晋一 沖田

IPC分类号： H01L21/027 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F9/7046 ,  G03F7/70525 ,  G03F7/70608 ,  G03F9/7003 ,  G03F9/7092 ,  G05B2219/32018 ,  G05B2219/45031 ,  H01L22/20 ,  H01L2924/0002 ,  Y02P90/22 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：JP5179086B2

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：JP2007122773

申请日：2007-05-07

申请人： インテヴェップ,エス.エイ.Intevep,S.A.

发明人： ザンブラノ アレキサンダー ,  バズケス マヌエル ,  アポンテ ヒューゴ ,  スアレス アレキス ,  フェルナンデス ホセ

IPC分类号： G06N3/00 ,  G05B23/02

CPC分类号： G05B17/02 ,  G05B23/0245 ,  G05B2219/32018 ,  G05B2219/33296 ,  Y02P90/22

公开(公告)号：JP4998853B2

公开(公告)日：2012-08-15

申请号：JP2007556018

申请日：2007-01-26

申请人： 株式会社ニコン

发明人： 晋一 沖田

IPC分类号： H01L21/027 ,  H01L21/02

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G03F7/70525 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633 ,  G03F9/7046 ,  G05B2219/32018 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/823475 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20 ,  H01L2924/0002 ,  Y02P90/22 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：JPWO2007086511A1

公开(公告)日：2009-06-25

申请号：JP2007556018

申请日：2007-01-26

申请人： 株式会社ニコン

发明人： 晋一 沖田 ,  晋一 沖田

IPC分类号： H01L21/027 ,  H01L21/02

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G03F7/70525 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633 ,  G03F9/7046 ,  G05B2219/32018 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/823475 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20 ,  H01L2924/0002 ,  Y02P90/22 ,  H01L2924/00

摘要： 最初の工程Aにおいて、測定検査器で測定された実測転写位置が黒丸で示されている。×で示される工程Bの目標転写位置は、その黒丸と同じ位置となる。以降、各工程の重みが同一であるとすると、×で示される工程C、D、Eの目標転写位置Xtargetは、測定検査器で測定されたその層より前の工程での実際の転写位置(黒丸)に対し全体的なずれが最小となる中庸位置、すなわち他の複数の工程に対して、妥当な位置となる。これにより、デバイスの生産性を向上させることができる。

公开(公告)号：JP2005522778A

公开(公告)日：2005-07-28

申请号：JP2003584935

申请日：2003-04-10

申请人： ケンドロ ラボラトリー プロダクツ,リミテッドパートナーシップ

发明人： グリーンウェイ，ブライアン ,  ノードストロム，グレゴリー ,  リリング，デイブ

IPC分类号： G05B23/02 ,  G05B15/02 ,  G05B19/418

CPC分类号： G05B15/02 ,  G05B19/41885 ,  G05B2219/32018 ,  G05B2219/32352 ,  G05B2219/33111 ,  Y02P90/22 ,  Y02P90/26

摘要： 従来の制御システムの諸々の不利を克服するデータ中心の制御システムであって、その一実施形態においては、データ中心制御システムが（ア）ユーザ入力要素（１０２）と、（イ）制御エンジン（１０４）と、（ハ）データレポジトリ（１０６）と、（ニ）検査・品質確認システム（１０８）と、（ホ）改善又は最適化エンジン（１１０）とを具備している。 そのユーザ入力要素はユーザが制御エンジンによって実行されるプロセスと、そのプロセスを実行するときに制御エンジンが使うパラメータとを定義できるようにし、そして制御エンジンは設計的にはモジュラー構成でデータ中心型制御システムに最大限の融通性を付与するようになっている。

公开(公告)号：JP5877908B2

公开(公告)日：2016-03-08

申请号：JP2014543299

申请日：2013-10-22

申请人： 東京エレクトロン株式会社

发明人： 山本 拓生 ,  片岡 勇樹

IPC分类号： G05B13/04 ,  G05B13/02

CPC分类号： G05B19/41875 ,  C23C16/52 ,  G05B2219/31103 ,  G05B2219/32018 ,  G05B2219/32187 ,  H01L22/20 ,  H01L2924/0002 ,  Y02P90/12 ,  Y02P90/22

公开(公告)号：JP4660091B2

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：JP2003558906

申请日：2002-12-31

申请人： 東京エレクトロン株式会社

发明人： ドノヒュー、ジョン ,  ユー、ホンギュ

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01L21/3065 ,  G05B19/418 ,  H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/302 ,  H01L21/461 ,  H01L21/66

CPC分类号： H01J37/32935 ,  G05B19/41875 ,  G05B2219/32018 ,  G05B2219/32201 ,  H01L22/20 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/22