公开(公告)号：KR20210034670A

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：KR1020217006278A

申请日：2019-08-01

申请人： 어플라이드 머티리얼즈 이스라엘 리미티드

发明人： 이타이 아술린 ,  제이콥 레빈 ,  구이 이탄

IPC分类号： G01T1/20 ,  H01J37/244 ,  H01J49/02 ,  H01L33/50

CPC分类号： G01T1/20 ,  G01T1/2002 ,  G01T1/2006 ,  H01J37/244 ,  H01J49/02 ,  H01L33/50 ,  H01J2237/0213 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2803

摘要： 본 발명은, 특정 컬럼 및 웨이퍼 전압에서 동작되는 하전 입자 빔 컬럼과 함께 사용될, 물체로부터 방출되는 전자의 검출을 위한 센서에 관한 것이다. 센서는, 센서의 활성 영역과의 음이온들의 상호작용을 적어도 감소시키면서 전자 에너지 손실을 최소화하도록 구성되고 동작가능하다. 센서는 또한, 활성 영역의 음극선발광 효율의 점진적 열화, 및 센서의 동작 동안 발생하고 신틸레이터의 수명 전체에 걸쳐 진전되는 음극선발광의 동적 변화 둘 모두를 최소화하도록 구성되고 동작가능하다.

公开(公告)号：JP2017526142A

公开(公告)日：2017-09-07

申请号：JP2017511732

申请日：2015-08-28

申请人： ケーエルエー−テンカー コーポレイション ,  ケーエルエー−テンカー コーポレイション

发明人： デイヴィッド エル ブラウン ,  デイヴィッド エル ブラウン ,  ユン−ホ アレックス チャン ,  ユン−ホ アレックス チャン ,  ジョン フィールデン ,  ジョン フィールデン ,  マルセル トリンプ ,  マルセル トリンプ ,  ジンジン ジャン ,  ジンジン ジャン ,  デヴィス コンタラト ,  デヴィス コンタラト ,  ベンカトラマン アイヤル ,  ベンカトラマン アイヤル

IPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC分类号： G01N30/72 ,  G01T1/24 ,  G06F19/00 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J49/02 ,  H01J2237/2441 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/24592 ,  H01L27/14661 ,  H01L31/00

摘要： 走査型電子顕微鏡は、複数画素固体電子検出器を組み込む。複数画素固体検出器は、後方散乱電子および/または2次電子を検出してもよい。複数画素固体検出器は、アナログデジタル変換器などを組み込んでもよい。複数画素固体検出器は、入射電子のエネルギーをほぼ決定することができてもよく、かつ/または電子信号を処理または分析するための回路を含んでもよい。複数画素固体検出器は、たとえば、約100MHz以上の速度での高速動作に適している。走査型電子顕微鏡は、パターン付けされていない半導体ウェーハ、パターン付けされた半導体ウェーハ、レチクル、またはフォトマスクなど、試料をレビュー、検査、または測定するために使用してもよい。試料をレビューまたは検査する方法も記載される。

公开(公告)号：JP5556890B2

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：JP2012527517

申请日：2010-08-06

申请人： 株式会社島津製作所

发明人： 司朗 水谷 ,  博史 菅原

IPC分类号： H01J49/42 ,  G01N27/62

CPC分类号： H01J49/02 ,  H01J49/4215

公开(公告)号：JP5301537B2

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：JP2010515599

申请日：2008-07-14

申请人： マイクロマス・ユーケイ・リミテッドMicromass Uk Limited

发明人： グリーン・マーティン ,  ケニー・ダニエル・ジェイムズ ,  ラングリッジ・デビッド ,  ワイルドグース・ジェイソン・リー

IPC分类号： H01J49/42 ,  G01N27/62 ,  H01J49/06

CPC分类号： H01J49/4205 ,  H01J49/02 ,  H01J49/4225

摘要： A mass spectrometer is disclosed comprising a segmented quadrupole rod set ion trap for trapping ions in axial DC potential wells wherein a potential field is created at the exit of the ion trap which decreases with increasing radius in one radial direction. Ions within the ion trap are mass selectively excited in a radial direction. Ions which have been excited in the radial direction experience a potential field which no longer confines the ions axially within the ion trap but which instead acts to extract the ions and hence causes the ions to be ejected axially from the ion trap.

公开(公告)号：JPWO2012017548A1

公开(公告)日：2013-09-19

申请号：JP2012527517

申请日：2010-08-06

申请人： 株式会社島津製作所

发明人： 司朗 水谷 ,  司朗 水谷 ,  博史 菅原 ,  博史 菅原

IPC分类号： H01J49/42 ,  G01N27/62

CPC分类号： H01J49/02 ,  H01J49/4215

摘要： イオン選択用の直流電圧を生成する直流電圧発生部(53)に与える制御パラメータとして、質量走査時に安定状態図上に描かれる走査直線の傾き及び位置を決める「ゲイン」及び「共通オフセット」のほかに、質量電荷比毎にオフセットを調整可能な「質量対応オフセット」を設ける。標準試料を利用した自動調整に際し、自動調整部(61)の制御の下に、「ゲイン」及び「共通オフセット」がまず決められた後に、質量分解能が略均一になるように各質量分解能に対する「質量対応オフセット」が決められ、それらは制御データ記憶部(52)に格納される。目的試料の分析時に四重極電圧制御部(51)は記憶部(52)から読み出した制御パラメータに従って直流電圧発生部(53)、高周波電圧発生部(54)を制御する。検波部(56)の非線形性のために高周波電圧Vが非線形になっても、その非線形に近似した折れ線状に直流電圧Uを変化させることができ質量分解能は略均一になる。

公开(公告)号：JP2013519974A

公开(公告)日：2013-05-30

申请号：JP2012552478

申请日：2011-02-14

申请人： マイクロマス・ユーケイ・リミテッドMicromass Uk Limited

发明人： ブラウン・ジェフリー・マーク

IPC分类号： H01J49/10 ,  G01N27/62 ,  H01J49/40

CPC分类号： H01J49/0031 ,  G01N27/622 ,  H01J49/0077 ,  H01J49/02

摘要： 【解決手段】水素−重水素交換セルを備える質量分析計を開示する。 イオンが水素−重水素交換を受けることにより、立体配座が異なる一方でイオン移動度がほぼ等しい異性体イオンを識別することが可能になる。 水素−重水素交換の相対的な度合いを求めることにより、イオン移動度がほぼ等しい２つのイオンが異なる表面立体配座を持つ場合には、これら２つのイオンをより効果的に識別することができる。
【選択図】図２

公开(公告)号：JP2012132799A

公开(公告)日：2012-07-12

申请号：JP2010285555

申请日：2010-12-22

申请人： Shimadzu Corp ,  株式会社島津製作所

发明人： SUMIYOSHI TAKASHI

IPC分类号： G01N27/62 ,  G01N30/72 ,  G01N30/86

CPC分类号： H01J49/02 ,  G01N30/72 ,  G01N30/86

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent that many measurement events are overlapped in time and a measurement point time interval (loop time) becomes too long when an analysis condition table is automatically generated based on a compound table and acquire a chromatogram peak with successful accuracy and reproducibility.SOLUTION: After automatically generating an analysis condition table for measuring each compound according to a compound table (S1 to S3), loop time is calculated for every measurement section in which overlapping of measurement events is different (S4). When the loop time exceeds a specified value in a certain measurement section of a certain compound (No in S6), an event with the earliest end time and an event with the latest start time are extracted among the overlapping measurement events (S71), and intermediate time between the end time and the start time is calculated to adjust the length of each measurement event (S72 and S73). By repeating the process, a parameter in the analysis condition table is corrected so that the loop time becomes equal to or less than the specified value.

摘要翻译： 要解决的问题：为了防止许多测量事件在时间上重叠，并且当基于复合表自动生成分析条件表并且获取色谱图峰值时，测量点时间间隔（循环时间）变得太长 成功的准确性和可重复性。 解决方案：根据复合表（S1至S3）自动生成用于测量每个化合物的分析条件表，计算测量事件重叠的每个测量部分的循环时间不同（S4）。 当某个化合物的某个测量部分中的循环时间超过指定值时（S6中的“否”），在重叠测量事件中提取具有最早结束时间的事件和具有最新开始时间的事件（S71），并且 计算结束时间和开始时间之间的中间时间，以调整每个测量事件的长度（S72和S73）。 通过重复该处理，校正分析条件表中的参数，使得循环时间变得等于或小于指定值。 版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP4523488B2

公开(公告)日：2010-08-11

申请号：JP2005156157

申请日：2005-05-27

申请人： 株式会社日立ハイテクノロジーズ

发明人： 清美 吉成 ,  大嶽　　敦 ,  金也 小林 ,  俊之 横須賀

IPC分类号： G01N27/62 ,  H01J49/26

CPC分类号： H01J49/02 ,  H01J49/004

公开(公告)号：JP2009539067A

公开(公告)日：2009-11-12

申请号：JP2009512324

申请日：2007-05-25

申请人： ウオーターズ・テクノロジーズ・コーポレイシヨン

发明人： ゴーレンスタイン，マーク・ブイ ,  リ，グオ−ジヨン

IPC分类号： G01N27/62

CPC分类号： H01J49/26 ,  G06F19/703 ,  G06F19/707 ,  G06K9/00496 ,  G06K9/00523 ,  H01J49/0036 ,  H01J49/02

摘要： ＬＣ／ＩＭＳ／ＭＳ分析のための方法および装置は、試料からノイズの多い生データを取得することと、データをアーチファクト低減フィルタに畳み込むことと、保持時間次元、イオン移動度次元、および質量対電荷比次元において、畳み込まれたデータの１つまたは複数のイオンピークを特定することとを伴う。

公开(公告)号：JP2007218692A

公开(公告)日：2007-08-30

申请号：JP2006038461

申请日：2006-02-15

申请人： Hitachi High-Technologies Corp ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

发明人： YOSHINARI KIYOMI ,  TERUI YASUSHI ,  YOKOSUKA TOSHIYUKI ,  KOBAYASHI KINYA ,  HIRABAYASHI TSUDOI

IPC分类号： G01N27/62 ,  G01N30/72

CPC分类号： H01J49/02 ,  H01J49/004

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a tandem type mass analyzing system capable of performing fluctuation analysis with high efficiency by a tandem type mass analyzer. SOLUTION: A predetermined number of m/z regions are set, all of ions contained in the m/z regions are collectively separated at every m/z region and mass analysis is performed to acquire measured MS 2 data. The measured MS 2 data is compared with the reference MS 2 data stored in a reference database to detect the difference between both of them. Mass analysis not separating all of ions contained in the m/z region where a fluctuation component is detected is performed with respect to the m/z region to acquire measured MS 1 data and the measured MS 1 data is compared with reference MS 1 data to detect the difference between these data. Parent ions considered to be the cause of the fluctuation component are estimated from the difference and separated to perform mass analysis. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

摘要翻译： 要解决的问题：提供一种能够通过串联式质量分析器以高效率进行波动分析的串联型质量分析系统。 解决方案：设置预定数量的m / z区域，m / z区域中包含的所有离子在每个m / z区域被共同分离，并进行质量分析以获得测量的MS SP>数据。 将测量的MS 2 数据与存储在参考数据库中的参考MS 2 数据进行比较，以检测它们之间的差异。 对于m / z区域进行不分离检测出波动成分的m / z区域中包含的所有离子的质量分析，得到测定的MS 1 数据，测定的MS 1 数据与参考MS 1 数据进行比较，以检测这些数据之间的差异。 被认为是波动成分的原因的父离子是从差异估计出来的，分离出来进行质量分析。 版权所有（C）2007，JPO＆INPIT