KR102236744B1 - 
  3D memory array
    1.
    发明专利

    公开(公告)号:KR102236744B1

    公开(公告)日:2021-04-07

    申请号:KR1020197029935A

    申请日:2018-03-12

    IPC分类号: H01L45/00

    摘要: 본 발명은 3차원 메모리 어레이 및 이를 가공처리하는 방법을 포함한다. 다수의 실시형태는 절연 재료에 의해 서로 분리된 복수의 도전성 라인, 복수의 도전성 라인에 실질적으로 직각으로 연장되도록 배열된 복수의 도전성 연장부, 및 복수의 도전성 연장부 중 각각의 도전성 연장부 주위에 형성되고 복수의 도전성 라인 중 각각의 도전성 라인과의 2개의 상이한 접점을 갖는 저장 소자 재료를 포함하며, 복수의 도전성 라인 중 각각의 도전성 라인과의 2개의 상이한 접점은 각각의 도전성 라인의 2개의 상이한 단부에 있다.

    記憶装置
    7.
    发明专利
    記憶装置 审中-公开

    公开(公告)号:JP2018163971A

    公开(公告)日:2018-10-18

    申请号:JP2017060011

    申请日:2017-03-24

    摘要: 【課題】メモリセルの特性を安定化させる記憶装置を提供する。 【解決手段】第1の方向xに伸長する第1、第2、第3、第4の導電層WL11、WL12、WL21、WL22と、第1の方向に交差する第2の方向yに伸長し、第1の導電層と第2の導電層との間及び第3の導電層と第4の導電層との間に設けられた第5の導電層BL11と、第1の導電層と第2の導電層との間及び第3の導電層と第4の導電層との間に設けられた第6の導電層BL21と、第1の導電層と第5の導電層との間に設けられた第1の抵抗変化層R1と、第2の導電層と第5の導電層との間に設けられた第2の抵抗変化層R2と、第3の導電層と第5の導電層との間に設けられた第3の抵抗変化層R3と、第1の導電層と第6の導電層との間に設けられた第4の抵抗変化層R4と、を備える。第1の抵抗変化層と第2の抵抗変化層との間の距離が、第1の導電層の一部と第2の導電層との距離より小さい。 【選択図】図3