단량체의 제조 방법
    87.
    发明授权
    단량체의 제조 방법 有权
    生产单体的方法

    公开(公告)号:KR101809323B1

    公开(公告)日:2017-12-14

    申请号:KR1020150063999

    申请日:2015-05-07

    Abstract: [해결수단] 본발명은, 일반식(9)으로표시되는화합물에염기또는 1A족금속, 2A족금속, 2B족금속에서선택되는금속을작용시켜금속엔올레이트시약을조제하고, 이엔올레이트시약과일반식(8)으로표시되는아실옥시케톤을반응시키는, 일반식(1)으로표시되는단량체의제조방법을제공한다:[효과] 본발명에따른포토레지스트재료는, 보존안정성이우수하고, 또한종래의알칼리현상에의한포지티브형의패턴형성뿐만아니라, 유기용제현상에서의포지티브네거티브반전의화상형성에있어서, 높은용해콘트라스트, 산확산제어, 낮은거칠기등의제반특성이우수하다.

    Abstract translation: [解决问题的手段]从金属中选择的金属的本发明中,式(9),碱或组1A由金属,2A族金属,2B-基团表示的化合物中通过反应和制备油酸酯试剂金属日元,二日元油酸 (1):[效果]根据本发明的光致抗蚀剂材料具有优异的保存稳定性,并且可以通过包括以下步骤的方法获得:(1)使由式 以及正型的图案形成通过常规碱显影,在正负反转现象的图像形成eseoui有机溶剂,它是yiwoosu各种性能如高的溶解对比度,酸扩散控制,低粗糙度。

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