公开(公告)号：KR1020120083859A

公开(公告)日：2012-07-26

申请号：KR1020120005375

申请日：2012-01-17

申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

发明人： 후루쇼토시노부 ,  오오쿠보타카히로 ,  사사타카시 ,  노가미츠요시

IPC分类号： H01L21/027 ,  H01L21/02

CPC分类号： G03F7/162 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/0273 ,  D06F39/08 ,  G03F7/00 ,  H01L21/0274

摘要： PURPOSE: A chemical liquor supply method and system are provided to maintain filtration accuracy by controlling filtration speed of a filter in a liquid medicine. CONSTITUTION: A liquid medicine pipe connects a liquid medicine discharge unit. A filter(46) filters the liquid medicine. A liquid medicine pump(50) performs in and out of a liquid medicine according to a capacity variation of a pump. A first open and close valve is installed on a first side of the liquid medicine pump. A second open and close valve is installed on a second side of the liquid medicine pump.

摘要翻译： 目的：提供一种药液供应方法和系统，通过控制液体药物中过滤器的过滤速度来保持过滤精度。 构成：液体药液管连接液体药物排出单元。 过滤器（46）过滤液体药物。 液体药液泵（50）根据泵的容量变化进行液体药剂的进出。 第一开关阀安装在液体药泵的第一侧。 第二个开关阀安装在药液泵的第二侧。

公开(公告)号：KR101877958B1

公开(公告)日：2018-07-13

申请号：KR1020120005375

申请日：2012-01-17

申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

发明人： 후루쇼토시노부 ,  오오쿠보타카히로 ,  사사타카시 ,  노가미츠요시

IPC分类号： H01L21/027 ,  H01L21/02

CPC分类号： G03F7/162 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/6715

摘要： 약액의보충개시시의과잉압력변동을억제해필터의여과속도를제어하여, 여과정밀도의유지를도모할수 있도록하는것이다. 약액펌프(50)의 1 차측개폐밸브(V) 및 2 차측개폐밸브(V)의개폐동작및 약액펌프의급배동작에의해약액보틀(13)로부터공급되는약액을필터(46)로여과한후, 토출노즐(43)로부터토출하는약액공급시스템에있어서, 약액펌프의작동실(53)과연통되는관로(56)에, 압력센서(59), 플로우미터(57) 및전공레귤레이터(58)를구비하고, 전공레귤레이터를제어하는제어부(60)를구비하고, 압력센서는약액펌프로의약액의보충개시시에, 1 차측개폐밸브를개방했을때의작동실측의압력을검출하고, 작동실로부터배기된배기유량을플로우미터에의해검출하며, 제어부는검출된압력과배기유량에기초하여약액의보충개시시에과잉압력변동을일으키지않도록전공레귤레이터를제어하여배기압을조정한다.