태양 전지 내에 접점 구멍을 형성하기 위한 고 스루풋 레이저 어블레이션 공정 및 구조물

    公开(公告)号:KR101918795B1

    公开(公告)日:2018-11-14

    申请号:KR1020147007344

    申请日:2012-08-15

    IPC分类号: H01L31/04

    摘要: 다양한태양전지설계에부응하도록레이저어블레이션에의해태양전지(300)의접점구멍이형성된다. 태양전지어블레이션공정의스루풋은, 예를들어위에있는금속접점과비교해, 좁은폭을갖는선형베이스확산영역을포함함으로써개선된다. 태양전지어블레이션공정의스루풋은또한이미터확산영역에대한접점구멍에수직인, 베이스확산영역에대한접점구멍을가짐으로써개선될수 있다. 연속적인레이저스캐닝을허용하기위해, 하나의극성의금속접점이반대극성의확산영역에전기적으로분로될수 있는영역과같은소정의영역상에서의접점구멍형성을방지하기위해레이저차단층이중간층유전체위에위치될수 있다. 하이브리드설계에서, 태양전지는선형과도트형둘 모두의베이스확산영역들을가질수 있다. 도트형베이스확산설계에서연속적인레이저스캐닝을허용하도록전기-광학변조기가채용될수 있다.