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1.发明公开
公开(公告)号：KR1020170083592A
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：KR1020177015571
申请日：2014-11-07
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 뱅거트,슈테판 , 로프,안드레아스 , 게베레,토마스 , 슈슬러,우베 , 디게츠-캄포,요제마누엘
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/042 , C23C14/24 , C23C16/45578 , C23C14/243 , H01L51/001
Abstract: 진공챔버(110)에서기판(121) 상에증발된재료들을증착하기위한재료증착어레인지먼트(100)가설명된다. 재료증착어레인지먼트는, 분배파이프(106a, 106b) 및하나또는그 초과의노즐들(712)을각각갖는 2개의재료증착소스들(100a, 100b)을포함한다. 추가로, 재료증착어레인지먼트를포함하는진공증착챔버, 및진공증착챔버에서기판상에증발된재료를증착하기위한방법이설명된다.
Abstract translation: 提供了用于将蒸发材料沉积在真空室110中的基板121上的材料沉积装置100。 材料沉积装置包括分别具有分配管106a，106b和一个或多个喷嘴712的两个材料沉积源100a，100b。 另外，描述了包括材料沉积装置的真空沉积室以及用于在真空沉积室中在基底上沉积汽化材料的方法。
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公开(公告)号：KR101959417B1
公开(公告)日：2019-03-18
申请号：KR1020177015513
申请日：2014-11-07
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 뱅거트,슈테판 , 슈슬러,우베 , 로프,안드레아스 , 디에구에츠-챔포,요제마누엘
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170083087A
公开(公告)日：2017-07-17
申请号：KR1020177015513
申请日：2014-11-07
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 뱅거트,슈테판 , 슈슬러,우베 , 로프,안드레아스 , 디에구에츠-챔포,요제마누엘
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/042 , C23C14/24 , H01L51/001 , C23C14/243
Abstract: 진공챔버(110)에서기판(121) 상에증발된재료를증착하기위한선형분배파이프(linear distribution pipe)(106)가설명된다. 분배파이프(106)는제 1 방향(136)을따라연장되는분배파이프하우징(116)을포함하고, 제 1 방향은선형분배파이프의선형연장부(linear extension)를제공하고, 분배파이프하우징은제 1 하우징재료를포함한다. 분배파이프(106)는분배파이프하우징(116) 내에복수의개구(opening)들을더 포함하고, 복수의개구들은선형분배파이프의선형연장부를따라분포된다. 또한, 분배파이프하우징(116)은선형분배파이프(106)를위한복수의노즐들(712)을포함하고, 복수의노즐들(712)은진공챔버(110)에서증발된재료를가이딩(guiding)하도록구성된다. 노즐들(712)은, 제 1 하우징재료보다큰 그리고/또는 21 W/mK보다큰 열전도율(thermal conductivity)을갖는제 1 노즐재료를포함한다.
Abstract translation: 提供线性分配管106用于将蒸发的材料沉积在真空室110中的基板121上。 分配管106包括沿第一方向136延伸的分配管壳体116，并且第一方向提供线性分配管的线性延伸部， 和一个住房材料。 分配管106还包括分配管壳体116中的多个开口，其中多个开口沿线性分配管的线性延伸分布。 分配管壳体116还包括用于线性分配管106的多个喷嘴712，并且多个喷嘴712可以用于引导真空室110中的蒸发材料 ）它被配置成。 喷嘴712包括第一喷嘴材料，其大于第一壳体材料和/或具有大于21W / mK的导热率。
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公开(公告)号：KR101990619B1
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：KR1020177015571
申请日：2014-11-07
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 뱅거트,슈테판 , 로프,안드레아스 , 게베레,토마스 , 슈슬러,우베 , 디게츠-캄포,요제마누엘
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公开(公告)号：KR1020170090452A
公开(公告)日：2017-08-07
申请号：KR1020177017599
申请日：2014-11-26
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 슈슬러,우베 , 뱅거트,슈테판 , 디에게즈-캄포,요세마누엘 , 로프,안드레아스
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/12 , C23C14/542 , F27D5/0037
Abstract: 일반적으로, 본개시물은재료들을증착시키기위한시스템들, 장치들및 방법들에관한것이다. 특히, 본개시물은, 소스재료를증발시키기위한도가니에관한것이다. 도가니는, 소스재료를수용하기위한내측용적을둘러싸는내측표면을구비한벽 및도가니의내측용적내에배열된하나또는그 초과의열 전달엘리먼트들을갖는다.
Abstract translation: 通常，本公开涉及用于沉积材料的系统，设备和方法。 特别地，本公开涉及用于蒸发源材料的坩埚。 坩埚具有壁，壁具有围绕内部容积以接收源材料的内表面以及布置在坩埚的内部容积中的一个或多个传热元件。
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公开(公告)号：KR102082192B1
公开(公告)日：2020-02-27
申请号：KR1020177019747
申请日：2014-11-07
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 뱅거트,슈테판 , 로프,안드레아스 , 게베레,토마스 , 슈슬러,우베 , 디게츠-캄포,요제마누엘
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7.发明公开
公开(公告)号：KR1020170086679A
公开(公告)日：2017-07-26
申请号：KR1020177019747
申请日：2014-11-07
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 뱅거트,슈테판 , 로프,안드레아스 , 게베레,토마스 , 슈슬러,우베 , 디게츠-캄포,요제마누엘
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/042 , C23C14/24 , C23C16/45578 , C23C14/243 , H01L51/001
Abstract: 진공챔버(110)에서기판(121) 상에증발된재료들을증착하기위한장치가설명된다. 장치는, 분배파이프(106a, 106b) 및하나또는그 초과의노즐들(712)을각각갖는 2개의재료증착소스들(100a, 100b)을포함한다. 추가로, 증발된재료를증착하기위한장치를포함하는진공증착챔버, 및진공증착챔버에서기판상에증발된재료를증착하기위한방법이설명된다.
Abstract translation: 描述了用于在真空室110中的基板121上沉积蒸发材料的设备。 装置包括一个分配管（106A，106B）和一个或两个材料沉积源与喷嘴每个过量（100A，100B）中的712。 此外，将描述一种用于在真空沉积腔室在衬底上沉积所述蒸发的材料的方法，和真空沉积室包括用于沉积蒸发的材料的装置。
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