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公开(公告)号：KR101990619B1
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：KR1020177015571
申请日：2014-11-07
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 뱅거트,슈테판 , 로프,안드레아스 , 게베레,토마스 , 슈슬러,우베 , 디게츠-캄포,요제마누엘
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公开(公告)号：KR1020170090452A
公开(公告)日：2017-08-07
申请号：KR1020177017599
申请日：2014-11-26
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 슈슬러,우베 , 뱅거트,슈테판 , 디에게즈-캄포,요세마누엘 , 로프,안드레아스
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/12 , C23C14/542 , F27D5/0037
Abstract: 일반적으로, 본개시물은재료들을증착시키기위한시스템들, 장치들및 방법들에관한것이다. 특히, 본개시물은, 소스재료를증발시키기위한도가니에관한것이다. 도가니는, 소스재료를수용하기위한내측용적을둘러싸는내측표면을구비한벽 및도가니의내측용적내에배열된하나또는그 초과의열 전달엘리먼트들을갖는다.
Abstract translation: 通常，本公开涉及用于沉积材料的系统，设备和方法。 特别地，本公开涉及用于蒸发源材料的坩埚。 坩埚具有壁，壁具有围绕内部容积以接收源材料的内表面以及布置在坩埚的内部容积中的一个或多个传热元件。
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公开(公告)号：KR1020170083087A
公开(公告)日：2017-07-17
申请号：KR1020177015513
申请日：2014-11-07
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 뱅거트,슈테판 , 슈슬러,우베 , 로프,안드레아스 , 디에구에츠-챔포,요제마누엘
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/042 , C23C14/24 , H01L51/001 , C23C14/243
Abstract: 진공챔버(110)에서기판(121) 상에증발된재료를증착하기위한선형분배파이프(linear distribution pipe)(106)가설명된다. 분배파이프(106)는제 1 방향(136)을따라연장되는분배파이프하우징(116)을포함하고, 제 1 방향은선형분배파이프의선형연장부(linear extension)를제공하고, 분배파이프하우징은제 1 하우징재료를포함한다. 분배파이프(106)는분배파이프하우징(116) 내에복수의개구(opening)들을더 포함하고, 복수의개구들은선형분배파이프의선형연장부를따라분포된다. 또한, 분배파이프하우징(116)은선형분배파이프(106)를위한복수의노즐들(712)을포함하고, 복수의노즐들(712)은진공챔버(110)에서증발된재료를가이딩(guiding)하도록구성된다. 노즐들(712)은, 제 1 하우징재료보다큰 그리고/또는 21 W/mK보다큰 열전도율(thermal conductivity)을갖는제 1 노즐재료를포함한다.
Abstract translation: 提供线性分配管106用于将蒸发的材料沉积在真空室110中的基板121上。 分配管106包括沿第一方向136延伸的分配管壳体116，并且第一方向提供线性分配管的线性延伸部， 和一个住房材料。 分配管106还包括分配管壳体116中的多个开口，其中多个开口沿线性分配管的线性延伸分布。 分配管壳体116还包括用于线性分配管106的多个喷嘴712，并且多个喷嘴712可以用于引导真空室110中的蒸发材料 ）它被配置成。 喷嘴712包括第一喷嘴材料，其大于第一壳体材料和/或具有大于21W / mK的导热率。
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公开(公告)号：KR101718395B1
公开(公告)日：2017-03-21
申请号：KR1020137032784
申请日：2010-09-20
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
IPC: H01M10/0585 , H01M10/04
CPC classification number: H01M10/0404 , H01M4/621 , H01M6/40 , H01M10/052 , H01M10/0585 , Y02E60/122 , Y02P70/54 , Y10T29/52
Abstract: 박막배터리를제조하기위한방법들및 팩토리들이설명된다. 방법은박막배터리를제조하기위한공정들을포함한다. 팩토리는박막배터리를제조하기위한하나또는둘 이상의툴 세트들을포함한다.
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5.发明公开캐리어에 의해 지지되는 기판 상에 하나 또는 그 초과의 층들을 증착하기 위한 시스템 및 그러한 시스템을 사용하는 방법 审中-实审具有蒸发源的有机材料蒸发源的有机材料的蒸发源与有机材料的蒸发源和用于有机材料的蒸发源的方法有关的沉积物
公开(公告)号：KR1020160118251A
公开(公告)日：2016-10-11
申请号：KR1020167020830
申请日：2014-02-04
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 뱅거트,슈테판 , 슈외클러,우베 , 디에구에츠-챔포,요제마누엘 , 하아스,디에터
CPC classification number: H01L51/56 , B05D1/60 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/246 , C23C14/505 , C23C14/56 , C23C14/562 , C23C14/564 , C23C14/566 , C23C14/568 , H01L21/67173 , H01L21/67196 , H01L21/67271 , H01L21/67712 , H01L21/67718 , H01L21/67727 , H01L21/67742 , H01L21/67748 , H01L21/6776 , H01L51/001 , H01L51/0011 , C23C14/50
Abstract: 하나또는그 초과의층들, 특히층들에유기재료들을포함하는층들을증착하기위한시스템이설명된다. 시스템은, 프로세싱될기판을로딩하기위한로드락 챔버, 기판을운송하기위한이송챔버, 이송챔버와로드락 챔버사이에제공된진공스윙모듈, 적어도하나의증착장치― 적어도하나의증착장치는, 적어도하나의증착챔버의진공챔버에서재료를증착하기위한것이고, 적어도하나의증착장치는이송챔버에연결됨―, 프로세싱된기판을언로딩하기위한추가적인로드락 챔버, 기판을운송하기위한추가적인이송챔버, 추가적인이송챔버와추가적인로드락 챔버사이에제공된추가적인진공스윙모듈, 및추가적인진공스윙모듈로부터진공스윙모듈로의캐리어리턴트랙을포함하며, 여기에서, 캐리어리턴트랙은, 진공조건들하에서, 그리고/또는제어되는비활성분위기하에서, 캐리어를운송하도록구성된다.
Abstract translation: 描述了一种用于在其中沉积一层或多层，特别是其中包括有机材料的层的系统。 该系统包括用于加载要处理的基板的负载锁定室，用于输送基板的传送室，设置在负载锁定室和传送室之间的真空摆动模块，至少一个用于在真空室中沉积材料的沉积设备 的至少一个沉积室，其中所述至少一个沉积设备连接到所述传送室; 用于卸载已经被处理的基底的另外的负载锁定室，用于输送基板的另外的传送室，设置在另外的负载锁定室和另外的传送室之间的另外的真空摆动模块，以及来自另外的真空的载体返回轨道 摆动模块到真空摆动模块，其中载体返回轨道构造成在真空条件下和/或在受控的惰性气氛下运输载体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101920333B1
公开(公告)日：2018-11-20
申请号：KR1020167018445
申请日：2013-12-10
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 뱅거트,슈테판 , 슈외쓸러,우베 , 디에구에츠-챔포,요제마누엘 , 하아스,디에터
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/246 , C23C14/50 , C23C14/56 , C23C14/562 , C23C14/564 , C23C14/566 , H01L51/001 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 유기재료를위한증발소스가설명된다. 증발소스는, 증발도가니― 증발도가니는유기재료를증발시키도록구성됨―; 하나또는그 초과의배출구들을갖는분배파이프― 분배파이프는증발도가니와유체연통하고, 분배파이프는, 증발동안에, 축을중심으로회전가능함―; 및분배파이프를위한지지부를포함하며, 지지부는제 1 드라이브에연결가능하거나, 또는제 1 드라이브를포함하고, 제 1 드라이브는분배파이프및 지지부의병진이동에대해구성된다.
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公开(公告)号：KR101770638B1
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：KR1020127013722
申请日：2010-10-18
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
IPC: H01M10/04 , H01M4/13 , H01M4/02 , H01M4/139 , H01M4/58 , H01M4/62 , H01M4/66 , H01M6/40 , C23C14/04
CPC classification number: H01M6/40 , C23C14/042 , H01M4/02 , H01M4/13 , H01M4/139 , H01M4/5825 , H01M4/621 , H01M4/623 , H01M4/663 , H01M2004/028 , Y02E60/122 , Y10T29/49002 , Y10T29/5313
Abstract: 처리상태로의노출에대해소재의상부를덮도록섀도우마스크를조립및 분해하기위한, 기판의박막프로세싱을위한자기핸들링어셈블리, 시스템, 및방법이개시된다. 어셈블리는자기핸들링캐리어와, 섀도우마스크를포함하고, 상기섀도우마스크는처리상태에노출시상기섀도우마스크와상기자기핸들링캐리어사이에배치될소재의상부를덮도록상기자기핸들링캐리어위에배치되며상기자기핸들링캐리어에자기적으로결합된다. 시스템은제 1 챔버를포함하고, 상기제 1 챔버는상기섀도우마스크를유지하는제 1 지지부, 핸들링캐리어를유지하는제 2 지지부, 및상기캐리어와섀도우마스크사이에배치될소재에대해상기섀도우마스크를정렬하는정렬시스템을포함한다. 제 1 및제 2 지지부는서로에대해이동가능하다.
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8.发明公开
公开(公告)号：KR1020170083592A
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：KR1020177015571
申请日：2014-11-07
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 뱅거트,슈테판 , 로프,안드레아스 , 게베레,토마스 , 슈슬러,우베 , 디게츠-캄포,요제마누엘
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/042 , C23C14/24 , C23C16/45578 , C23C14/243 , H01L51/001
Abstract: 진공챔버(110)에서기판(121) 상에증발된재료들을증착하기위한재료증착어레인지먼트(100)가설명된다. 재료증착어레인지먼트는, 분배파이프(106a, 106b) 및하나또는그 초과의노즐들(712)을각각갖는 2개의재료증착소스들(100a, 100b)을포함한다. 추가로, 재료증착어레인지먼트를포함하는진공증착챔버, 및진공증착챔버에서기판상에증발된재료를증착하기위한방법이설명된다.
Abstract translation: 提供了用于将蒸发材料沉积在真空室110中的基板121上的材料沉积装置100。 材料沉积装置包括分别具有分配管106a，106b和一个或多个喷嘴712的两个材料沉积源100a，100b。 另外，描述了包括材料沉积装置的真空沉积室以及用于在真空沉积室中在基底上沉积汽化材料的方法。
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公开(公告)号：KR1020120088727A
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：KR1020127010405
申请日：2010-09-20
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
IPC: H01M10/0585 , H01M10/0525 , H01M10/04
CPC classification number: H01M10/0404 , H01M4/621 , H01M6/40 , H01M10/052 , H01M10/0585 , Y02E60/122 , Y02P70/54 , Y10T29/52
Abstract: 박막 배터리를 제조하기 위한 방법들 및 팩토리들이 설명된다. 방법은 박막 배터리를 제조하기 위한 공정들을 포함한다. 팩토리는 박막 배터리를 제조하기 위한 하나 이상의 툴 세트들을 포함한다.
Abstract translation: 描述了薄膜电池制造的方法和工厂。 一种方法包括制造薄膜电池的操作。 工厂包括用于制造薄膜电池的一个或多个工具组。
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