公开(公告)号：KR101913363B1

公开(公告)日：2018-10-31

申请号：KR1020167015225

申请日：2014-10-09

申请人： 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤

发明人： 다케다도시히코 ,  오바타가츠나리 ,  가와사키히로시

IPC分类号： H01L51/56 ,  H01L51/00 ,  C23C14/04 ,  C23C16/04 ,  B05C21/00 ,  B05B12/16

CPC分类号： H01L51/0011 ,  C23C14/042 ,  C23C14/24 ,  C23C16/042 ,  H01L51/001 ,  H01L51/56

摘要： 증착패턴에대응하는개구부가형성된수지마스크의면 상에, 슬릿이형성된금속마스크를적층한증착마스크에있어서, 수지마스크의개구부의내벽면은, 두께방향단면에있어서적어도하나의변곡점을갖고있으며, 수지마스크의금속마스크와접하지않는측의면(제1 면)과내벽면의교점을제1 교점이라고하고, 수지마스크의금속마스크와접하는측의면(제2 면)과내벽면의교점을제2 교점이라고하고, 제1 교점으로부터제2 교점을향하여최초로위치하는변곡점(제1 변곡점)과제1 교점을연결하는직선과제1 면이이루는각을, 제1 변곡점과제2 교점을연결하는직선과제2 면이이루는각보다크게하고, 두께방향단면에있어서의내벽면의형상을제1 면으로부터제2 면측을향하여넓어지는형상으로함으로써, 대형화된경우라도고정밀화ㆍ경량화를달성하고, 개구부의강도를유지하면서도섀도우의발생을억제가능한증착마스크, 및정밀도가양호한유기반도체소자의제조방법을제공한다.

公开(公告)号：KR101869620B1

公开(公告)日：2018-07-23

申请号：KR1020167012843

申请日：2014-12-16

申请人： 후지필름 가부시키가이샤

发明人： 하마노미츠마사 ,  나카무라다쿠미

IPC分类号： H01L51/42 ,  H01L31/10 ,  C23C14/12 ,  H01L51/00

CPC分类号： H01L51/0059 ,  C23C14/12 ,  H01L51/001 ,  H01L51/0046 ,  H01L51/0053 ,  H01L51/0072 ,  H01L51/4253 ,  H01L2251/308 ,  Y02E10/549 ,  Y02P70/521

摘要： 잔상전류특성이우수한유기광전변환소자를안정적으로제조할수 있는수광층형성방법, 유기광전변환소자의제조방법, 성막용유기재료및 그것을이용하여얻어진유기광전변환소자, 광센서를제공한다. 광센서에이용되는유기광전변환소자(1)의수광층(30)을건식성막으로성막하는수광층형성방법에있어서, 수광층(30)의구성유기물로이루어지는, 형광양자수율이 0.2 이상인분립체로이루어지는성막용유기재료(60)를준비하고, 성막용유기재료(60)를포함하는기화원을이용하여건식성막을실시한다.

公开(公告)号：KR20180072405A

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：KR20160175931

申请日：2016-12-21

申请人： 주식회사 에스에프에이

发明人： LEE KYOUNG HOON ,  PARK MIN HO ,  NAM HYUN JONG ,  HONG SEUNG PYO

IPC分类号： H01L51/56 ,  C23C14/04 ,  C23C14/12 ,  C23C14/50 ,  C23C14/54 ,  H01L21/02 ,  H01L21/203 ,  H01L21/683 ,  H01L51/00

CPC分类号： H01L51/56 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/50 ,  C23C14/541 ,  H01L21/02631 ,  H01L21/203 ,  H01L21/6835 ,  H01L51/0008 ,  H01L51/001 ,  H01L51/0011

摘要： 기판증착장치가개시된다. 본발명의일 실시예에따른기판증착장치는, 챔버내의마스크(mask) 상에안착되는기판과선택적으로합착되며, 증착공정시 기판을냉각시키는쿨링플레이트(cooling plate); 및쿨링플레이트에마련되며, 증착공정이진행될때는쿨링플레이트, 기판및 마스크간의밀착력을증대시키고, 증착공정이완료되어쿨링플레이트가기판으로부터분리될때는기판의위치가틀어지는것을방지하면서기판을지지하는기판지지유닛을포함한다.

公开(公告)号：KR20180066740A

公开(公告)日：2018-06-19

申请号：KR20160167929

申请日：2016-12-09

申请人： SUNIC SYSTEM LTD

发明人： HWANG IN HO

IPC分类号： H01L51/56 ,  C23C14/12 ,  C23C14/22 ,  C23C14/24 ,  H01L21/02 ,  H01L21/203 ,  H01L21/67 ,  H01L51/00

CPC分类号： H01L51/56 ,  C23C14/12 ,  C23C14/225 ,  C23C14/243 ,  H01L21/02631 ,  H01L21/203 ,  H01L21/67098 ,  H01L51/001

摘要： 본발명은분사가이더가마련된증착챔버에관한것으로, 본발명에따르면, 기판에증착시킬제1증착물질을수용하기위한제1수용공간이마련되어있으며, 상기제1증착물질이증발되도록가열되는제1도가니; 상기제1도가니내에마련된상기제1수용공간측과연통되며, 상기제1수용공간내에서증발된상기제1증착물질이상기기판측으로분사되도록제1분사구가형성된제1분사노즐; 상기기판에증착시킬제2증착물질을수용하기위한제2수용공간이마련되어있으며, 상기제2증착물질이증발되도록가열되는제2도가니; 상기제2도가니내에마련된상기제2수용공간측과연통되며, 상기제2수용공간내에서증발된상기제2증착물질이상기기판측으로분사되도록제2분사구가형성된제2분사노즐; 및일측단이상기제1도가니와연결되고, 타측단이상기제1분사노즐과연결되어상기제1분사노즐이상기제2분사노즐과인접한위치에있도록지지하여주며, 상기제1도가니에서증발된상기제1증착물질이상기제1분사노즐측으로이동되도록가이더하는제1분사가이더; 를포함하므로기제1도가니및 제2도가니사이의간격이멀어져도제1분사노즐및 제2분사노즐이서로근접된위치에배치될수 있으며, 제1증착물질및 제2증착물질의증착균일도를향상시켜줄수 있는기술이개시된다.

公开(公告)号：KR101840769B1

公开(公告)日：2018-05-08

申请号：KR1020160176722

申请日：2016-12-22

申请人： 주식회사 선익시스템

发明人： 황인호 ,  최재수 ,  한가람 ,  송준환 ,  안오진

IPC分类号： H01L51/56 ,  H01L51/00 ,  C23C14/24 ,  C23C14/56 ,  C23C14/54 ,  H01L21/203 ,  H01L21/22 ,  H01L21/67 ,  H01L21/02

CPC分类号： H01L51/56 ,  C23C14/243 ,  C23C14/541 ,  C23C14/564 ,  H01L21/02631 ,  H01L21/203 ,  H01L21/22 ,  H01L21/67098 ,  H01L51/001

摘要： 본발명은도가니관리구조를갖춘증착챔버에관한것으로, 본발명에따르면, 기판에증착시킬증착물질을증발시켜주는도가니가구비된도가니마운트부; 상기도가니마운트부의상측에위치하며, 상기도가니마운트부의상기도가니측으로부터증발된상기증착물질이상기기판에증착되는것을선택적으로단속하기위한개폐동작을실시할수 있는셔터가내측에마련된셔터하우징부; 상기도가니마운트부가외부에대하여격리될수 있도록내측에상기도가니마운트부가안착되는공간을형성하는메인하우징부; 상기도가니마운트부의앞측에위치하고, 상기메인하우징부와일부분이결합되어상기도가니마운트부가외부에대하여선택적으로격리또는개방될수 있도록개폐되는프런트도어부; 상기메인하우징부내에마련되며, 상기셔터하우징부를상측으로일정한높이만큼리프팅(lifting)시켜줄수 있는리프트부; 상기메인하우징부내측에서상기프런트도어부가위치된앞측으로상기도가니마운트부가인출될수 있도록상기도가니마운트부에장착된반출수단;을포함하므로증착챔버에대한유지보수등의관리작업의능률성를향상시켜줄수 있는기술이개시된다.

公开(公告)号：KR101848629B1

公开(公告)日：2018-04-16

申请号：KR1020160175929

申请日：2016-12-21

申请人： 주식회사 에스에프에이

发明人： 전문호

IPC分类号： H01L51/56 ,  H01L51/00 ,  C23C14/24 ,  C23C14/56 ,  H01L21/203 ,  H01L21/02

CPC分类号： H01L51/56 ,  C23C14/243 ,  C23C14/564 ,  H01L21/02631 ,  H01L21/203 ,  H01L51/0008 ,  H01L51/001

摘要： 박막증착장치가개시된다. 본발명에따른박막증착장치는, 내부에서기판에대한증착공정이진행되는진공챔버의내부에배치되며기판에증착되는증착물질을배출하는소스유닛과, 진공챔버에연결되며소스유닛의상부에서소스유닛을기판에대해차폐하는차폐위치와소스유닛을기판에대해개방하는개방위치로슬라이딩이동가능하게마련되어소스유닛을기판에대해차폐하거나소스유닛을기판에대해개방하는셔터모듈을구비하는셔터유닛을포함한다.

公开(公告)号：KR20180019731A

公开(公告)日：2018-02-26

申请号：KR20187002066

申请日：2016-06-22

申请人： NOVALED GMBH

发明人： DENKER ULRICH ,  ROTHE CARSTEN ,  SENKOVSKYY VOLODYMYR ,  KALISZ TOMAS

IPC分类号： H01L51/00 ,  H01L51/50 ,  H01L51/52

CPC分类号： H01L51/002 ,  H01L51/001 ,  H01L51/006 ,  H01L51/0067 ,  H01L51/5004 ,  H01L51/5076 ,  H01L51/5278

摘要： 본발명은 (i) 알칼리금속, 알칼리토금속, 희토류금속, 및전이금속으로부터선택된, 실질적으로원소형태의양전성원소, 및 (ii) 포스핀옥사이드기 또는디아졸기로부터선택된적어도하나의극성기를포함하는화합물인적어도하나의제1 화합물을포함하는반도전성물질; 반도전성물질을제조하는방법; 캐소드, 애노드및 반도전성물질을포함하는전자디바이스에관한것이다.

摘要翻译： 本发明包括选自（i）碱金属，碱土金属，稀土金属，和从，以元素形式的基本上正导电元件选择的过渡金属，和（ii）氧化膦基团或直径瞌睡中选择的至少一个极性基团 包含至少一种为化合物的第一化合物的半导体材料; 一种制造半导体材料的方法; 阴极，阳极和半导体材料。

公开(公告)号：KR20180014895A

公开(公告)日：2018-02-12

申请号：KR20160098043

申请日：2016-08-01

IPC分类号： H01L51/52 ,  H01L51/00

CPC分类号： H01L51/0016 ,  H01L27/3246 ,  H01L51/001 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/5012 ,  H01L51/5056 ,  H01L51/5072 ,  H01L51/5088 ,  H01L51/5092 ,  H01L51/5218 ,  H01L51/5228 ,  H01L51/56 ,  H01L2251/301 ,  H01L2251/5315

摘要： 본발명의실시예에따르면, 기판; 상기기판상에서로이격되어배치된복수의제1 하부전극; 상기복수의제1 하부전극의단부를덮는화소정의막; 상기제1 하부전극에접촉하는제1 부분및 상기화소정의막에접촉하는제2 부분을구비한복수의제1 상부전극; 상기복수의각 제1 상부전극상에위치하고, 발광층을포함하는복수의유기기능층; 상기복수의유기기능층상에위치하는제2 전극;을포함하는유기발광표시장치를제공한다.

摘要翻译： 提供了一种有机发光显示装置及其制造方法。 有机发光显示设备包括：基板; 下电极，所述下电极在所述衬底上并且彼此间隔开; 像素限定膜，所述像素限定膜具有覆盖所述下电极的端部的部分; 上电极，对应于每个下电极的上电极，每个上电极包括接触对应的下电极的第一部分和接触像素限定膜的第二部分; 有机功能层，每个有机功能层包括发射层，与每个上电极对应并设置在其上的有机功能层; 和有机功能层上的电极。

公开(公告)号：KR1020170107988A

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：KR1020177019158

申请日：2016-02-03

申请人： 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤

发明人： 미야데라요시코 ,  니렌기다카요시 ,  다케다도시히코

IPC分类号： C23C14/04 ,  C23C14/12 ,  B23K26/066 ,  B23K26/38 ,  H01L51/05 ,  H01L51/00

CPC分类号： H01L51/0011 ,  B23K26/382 ,  C23C14/042 ,  H01L51/001 ,  H01L51/56 ,  B23K26/066 ,  B23K26/38 ,  C23C14/12 ,  H01L51/05

摘要： 대형화된경우에도경량화를도모할수 있고, 또한종래보다도고정밀의증착패턴을형성가능한증착마스크의제조방법이나, 종래보다도고정밀의유기반도체소자를제조할수 있는유기반도체소자의제조방법을제공하는것. 슬릿이형성된금속마스크와수지판이적층된수지판구비금속마스크를준비하는공정과, 상기금속마스크측에서레이저를조사하여, 상기수지판에증착제작할패턴에대응한개구부를형성하는공정을포함하고, 상기개구부를형성하는공정에있어서는, 상기개구부에대응하는개구영역과, 당해개구영역의주위에위치하며, 조사되는레이저의에너지를감쇠시키는감쇠영역이설치된레이저용마스크를사용함으로써, 상기개구영역을통과하는레이저에의해, 수지판에대하여증착제작할패턴에대응한개구부를형성함과함께, 상기감쇠영역을통과하는레이저에의해, 상기수지판의개구부의주위에박육부를형성한다.

摘要翻译： 即使大尺寸的，并且可以减轻重量，并且所有以前haneungeot提供一种制造沉积掩模能够形成高度精确的沉积图案的，或制造有机半导体装置，其能够制造比高精度方法的常规有机半导体元件的方法。 和狭缝制备设置有所述树脂板的金属掩模的金属掩模的步骤层压树脂板，通过照射从金属掩模侧的激光形成，并且形成对应于在树脂板的制造图案的沉积的开口的步骤， 通过使用具有对应于开口部分的开口区域和位于开口区域周围的衰减区域并​​且在形成开口部分的步骤中衰减照射的激光的能量的激光掩模， 通过通过的激光在树脂板上形成与要被汽相沉积的图案对应的开口，并且通过穿过衰减区域的激光在树脂板的开口周围形成薄部分。

公开(公告)号：KR101769953B1

公开(公告)日：2017-08-21

申请号：KR1020160045692

申请日：2016-04-14

申请人： 지제이엠 주식회사

发明人： 이문용

IPC分类号： C23C14/56 ,  C23C14/04 ,  C23C14/50 ,  C23C14/24 ,  H01L51/00

CPC分类号： C23C14/562 ,  C23C14/042 ,  C23C14/24 ,  C23C14/50 ,  C23C14/568 ,  H01L51/001 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/0097 ,  H01L2251/5338

摘要： 본발명은유연성기판을연속적으로진공증착시키는시스템에관한것으로, 진공증착이이루어지는진공챔버의공간을확대시키지않고도롤투롤형태로공급되는유연성기판에증착물질을증착시키되셔터를이용하여불연속적으로증착되게하는것이다. 본발명은유연성기판의하측에서증착유닛의증착물질을패턴으로형성시키는마스크를설치하되상기마스크는이동대에결합되고, 상기이동대는유연성기판의상측에설치된이동수단에의해좌우로이동되게하고, 상기이동대의하부에는증착유닛의증착물질이유연성기판에증착되는것을차단하는셔터를링크로결합시키고, 상기셔터의하측은수직으로세워진고정대를따라상하이동하는가이드에링크결합되게함으로써이루어진다. 본발명은산업통상자원부와한국산업기술진흥원의지역특화산업육성기술개발사업으로수행된연구결과물이다.