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公开(公告)号：KR102208727B1
公开(公告)日：2021-01-28
申请号：KR1020187030397
申请日：2017-03-23
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 치바게이코 , 이토도시키 , 스타초위악브라이언티모시 , 쿠스나트디노프니야즈 , 리우웨이준
摘要： 중합성화합물 (a1)을함유하는경화성조성물 (A1)을포함하는층을기판의표면에형성하고, 중합성화합물 (a2)를함유하는경화성조성물 (A2)를포함하는액적을상기경화성조성물 (A1)을포함하는상기층의위에이산적으로적하하고, 상기경화성조성물 (A1) 및상기경화성조성물 (A2)가부분적으로혼합하여이루어지는혼합층을몰드와상기기판의사이에끼워넣고, 상기혼합층에몰드측으로부터광을조사함으로써상기혼합층을경화시켜, 경화후의상기혼합층으로부터상기몰드를떼어냄으로써, 상기기판위에경화물의패턴을형성한다. 이때, 상기경화성조성물 (A1)로부터용제를제외한조성물의 25℃에서의점도를 40mPa·s 이상 500mPa·s 미만으로하고, 상기경화성조성물 (A2)로부터용제를제외한조성물의 25℃에서의점도를 1mPa·s 이상 40mPa·s 미만으로함으로써, 기판의복수의샷 영역에균일한정밀도로경화물의패턴이형성된다.
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公开(公告)号：KR1020170143001A
公开(公告)日：2017-12-28
申请号：KR1020177036135
申请日：2014-06-19
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
CPC分类号： B29C59/005 , B29C59/002 , B29C59/022 , B29C59/026 , B29C2059/023 , B29K2033/08 , B29K2105/0005 , C08F2/44 , C08F2/50 , C08L33/08 , G03F7/0002 , C08F2220/1875 , C08F2222/1013 , G03F7/027 , B29C59/02 , G03F7/028
摘要： 응축성가스프로세스를사용한임프린트방법은레지스트경화막의표면이조질인문제를갖는다. 이는응축성가스함유분위기하에임프린트를행하기위해사용되는광경화성조성물에의해해결된다. 상기광경화성조성물은 (메트)아크릴레이트단량체인성분 (A)와, 광중합개시제인성분 (B)와, 이형제인성분 (C)를함유한다. 5도(섭씨온도) 및 1 atm에서상기응축성가스중 상기성분 (C)의포화용해도는 5 중량% 이하이고, 상기응축성가스는상기 5도(섭씨온도) 및 1 atm에서액상이다.
摘要翻译： 使用冷凝气体过程的压印方法必须被失谐的抗蚀剂的固化膜表面的问题。 这是由用于执行冷凝含气体的气氛下进行压印的光固化组合物来解决。 的光固化性组合物是含有（A）成分的（甲基）丙烯酸酯单体，与组分（B）光聚合引发剂，释放剂（C）成分。 度（℃）和在1个大气压的可冷凝气体的成分（C）5水的溶解度小于或等于按重量计5％，缩合烦人seuneun是在第五（摄氏度）和1个大气压的液体。
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公开(公告)号：KR102208728B1
公开(公告)日：2021-01-28
申请号：KR1020187030440
申请日：2017-03-29
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 치바게이코 , 이토도시키 , 리우웨이준 , 스타초위악브라이언티모시 , 구스나트디노브니야즈
摘要： 중합성화합물인성분 (a1) 및계면활성제인성분 (c1)을포함하는경화성조성물 (A1)의층을기판의표면에적층하고, 상기경화성조성물 (A1)의층 상에, 적어도중합성화합물인성분 (a2) 및계면활성제인성분 (c2)을포함하는경화성조성물 (A2)의액적을이산적으로적하하고, 패턴을갖는몰드와상기기판사이에상기경화성조성물 (A1) 및상기경화성조성물 (A2)의혼합층을샌드위치하고, 상기혼합층을광을조사함으로써경화시켜, 상기몰드를경화후의상기혼합층으로부터분리함으로써, 상기기판상에패턴을형성하는방법이다. 상기경화성조성물 (A1)은상기계면활성제인성분 (c1)을적어도 0.5중량% 이상함유하고, 상기경화성조성물 (A2)은상기계면활성제인성분 (c2)을적어도 0.5중량% 이상함유한다.
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公开(公告)号：KR101921018B1
公开(公告)日：2018-11-21
申请号：KR1020177036135
申请日：2014-06-19
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
CPC分类号： B29C59/005 , B29C59/002 , B29C59/022 , B29C59/026 , B29C2059/023 , B29K2033/08 , B29K2105/0005 , C08F2/44 , C08F2/50 , C08L33/08 , G03F7/0002 , C08F2220/1875 , C08F2222/1013
摘要： 응축성가스프로세스를사용한임프린트방법은레지스트경화막의표면이조질인문제를갖는다. 이는응축성가스함유분위기하에임프린트를행하기위해사용되는광경화성조성물에의해해결된다. 상기광경화성조성물은 (메트)아크릴레이트단량체인성분 (A)와, 광중합개시제인성분 (B)와, 이형제인성분 (C)를함유한다. 5도(섭씨온도) 및 1 atm에서상기응축성가스중 상기성분 (C)의포화용해도는 5 중량% 이하이고, 상기응축성가스는상기 5도(섭씨온도) 및 1 atm에서액상이다.
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公开(公告)号：KR102256347B1
公开(公告)日：2021-05-27
申请号：KR1020197028266
申请日：2018-03-02
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
IPC分类号： G03F7/00 , H01L21/027 , B29C59/02 , G03F7/16 , G03F7/004
摘要： 본발명의목적은높은처리량을제공하며, 샷영역을균일한정밀도로가공가능한패턴형성방법을제공하는것이다. 기판의표면상에중합성화합물인성분 (a1)을적어도함유하는경화성조성물 (A1)로형성된층을적층하는단계 (1), 상기경화성조성물 (A1)의상기층 상에중합성화합물인성분 (a2)를적어도함유하는경화성조성물 (A2)의액적을이산적으로적하하여상기액적을적층하는단계 (2), 몰드와상기기판사이에, 상기경화성조성물 (A1)과상기경화성조성물 (A2)가부분적으로혼합됨으로써수득된층을샌드위치하는단계 (3), 상기경화성조성물 (A1)과경화성조성물 (A2)가부분적으로혼합됨으로써수득된층을, 상기몰드의측면으로부터광을조사하는것에의해상기층을한 번에경화시키는단계 (4); 및경화후의상기경화성조성물로형성된층으로부터상기몰드를이형시키는단계 (5)를이러한순서로수행하는것을포함하는광 나노임프린트기술에의한경화물패턴제조방법이며, 샷영역당상기경화성조성물 (A2)의체적 (Vr)을상기경화성조성물 (A1)의체적 (Vc)로나눈값 Vr/Vc가 4 이상 15 이하인, 패턴형성방법이제공된다.
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公开(公告)号：KR102209277B1
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：KR1020187030398
申请日：2017-03-29
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 이토도시키 , 오타니도모노리 , 치바게이코 , 리우웨이준 , 스태초위악브라이언티모시
摘要： 중합성화합물인성분 (a1) 및용제인성분 (d1)을포함하는경화성조성물 (A1)의층을기판표면에적층하고, 상기경화성조성물의층 상에, 적어도중합성화합물인성분 (a2)를포함하는경화성조성물 (A2)의액적을이산적으로적하하고, 계속해서몰드와상기기판의사이에상기경화성조성물 (A1) 및상기경화성조성물 (A2)의혼합층을샌드위치하고, 상기혼합층에광을조사함으로써경화시키고, 상기몰드를경화후의상기혼합층으로부터분리하여, 상기기판상에패턴을형성한다.
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公开(公告)号：KR101735228B1
公开(公告)日：2017-05-12
申请号：KR1020157016570
申请日：2013-11-26
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
IPC分类号： G03F7/00 , H01L21/027
CPC分类号： C08F222/20 , B29C59/005 , B29C59/02 , B29C59/022 , B29C59/16 , B29K2033/12 , B29L2011/00 , B29L2031/3406 , C08F220/18 , C08F222/10 , C08F222/1006 , C08F2222/1013 , C08L33/08 , C08L2312/00 , C09D133/08 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/028 , G03F7/029 , C08F2220/1891 , C08F2220/1875 , C08F2220/301
摘要： 최대응축성가스용해도 (가스/(경화성조성물 + 가스)) (g/g)가 0.1 이상 0.4 이하이고, 23℃에서의점도가 40 cP 이하인, 응축성가스분위기하에서의임프린트용경화성조성물. 최대응축성가스용해도는, 9 ml 갈색병을경화성조성물 3 g으로채우고, 응축성가스를 0.1 L/min의유량으로 15분간버블링하기전 및후에 23℃, 1 atm에서상기경화성조성물의중량을측정하고, 상기버블링으로인해증가한중량을상기경화성조성물및 상기응축성가스의총 중량으로나눔으로써결정된다.
摘要翻译： 的最大溶解度冷凝气体（气体/（固化性组合物+气体））（克/克）为0.1以上至0.4以下，和40厘泊或更小，可冷凝气体气氛的eseoui 23℃粘度下压印固化性组合物。 通过用3g可固化组合物填充9ml棕色瓶子并测量可固化组合物在以0.1L /分钟的流速起泡可冷凝气体之前和之后的重量来确定最大可冷凝气体溶解度， 并且将因起泡而增加的重量除以可固化组合物和可冷凝气体的总重量。
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公开(公告)号：KR102218361B1
公开(公告)日：2021-02-22
申请号：KR1020170092430
申请日：2017-07-21
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
摘要： 제1 액체를토출하는헤드와상기제1 액체를수용하는수용부를구비하는액체토출장치에상기제1 액체를충전하는액체충전방법이며, 상기헤드내와상기수용부내를응축성가스로채우는공정과, 상기응축성가스로채워진, 상기헤드와상기수용부를밀폐한상태에서, 상기헤드내와상기수용부내에상기제1 액체를충전하는충전공정을갖는다.
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公开(公告)号：KR102004073B1
公开(公告)日：2019-07-25
申请号：KR1020177026365
申请日：2016-01-27
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
IPC分类号： G03F7/00 , G03F7/027 , H01L21/027 , H01L21/033 , H01L21/311
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公开(公告)号：KR1020160023786A
公开(公告)日：2016-03-03
申请号：KR1020167001320
申请日：2014-06-19
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
CPC分类号： B29C59/026 , B29C33/62 , B29C59/002 , B29C59/005 , B29K2033/08 , B29K2105/0005 , C08F2/44 , C08F2/50 , C08F220/18 , C08F222/1006 , C08K2201/00 , C08L33/08 , G03F7/0002 , H01L21/0271 , H01L21/266 , C08F2220/1875 , C08F2222/1013
摘要： 응축성가스분위기하의임프린트방법에서는, 몰드를레지스트경화막으로부터분리하기 (이형시키기) 위해필요한힘 (이형력)이컸다. 응축성가스함유분위기하에임프린트를행하기위한광경화성조성물은 (메트)아크릴레이트단량체인성분 (A)와, 광중합개시제인성분 (B)와, 이형제인성분 (C)를포함한다. 5도 (섭씨온도) 및 1 atm에서상기응축성가스중 상기성분 (C)의포화용해도는 50 중량% 이상이고, 상기응축성가스는 5도 (섭씨온도) 및 1 atm에서액상이다.
摘要翻译： 在可冷凝气体气氛中的压印方法中，将模具与抗蚀剂固化膜分离（脱模）所需的力（脱模力）大。 在含有可冷凝气体的气氛中进行压印的光固化性组合物包括作为（甲基）丙烯酸酯单体的成分（A），作为光聚合引发剂的成分（B） 和作为脱模剂的成分（C）。 成分（C）在5℃（1摄氏度）和1个大气压下的可冷凝气体中的饱和溶解度为50重量％以上，可冷凝气体为5℃（1摄氏度）和1个大气压的液态。
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