화합물, 포지티브형 레지스트 조성물 및 레지스트 패턴형성 방법
    8.
    发明公开
    화합물, 포지티브형 레지스트 조성물 및 레지스트 패턴형성 방법 失效
    化合物,阳离子组合物和形成电阻图案的方法

    公开(公告)号:KR1020080018944A

    公开(公告)日:2008-02-28

    申请号:KR1020087000494

    申请日:2006-06-30

    Abstract: Disclosed is a positive resist composition which enables to form a resist pattern which is reduced in roughness. Also disclosed is a method for forming a resist pattern. Specifically disclosed is a positive resist composition containing a compound represented by the following general formula (I). (I) (In the formula (I), R11 and R12 independently represent an alkyl group having 1-10 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group, and they may contain a heteroatom in their structures; R21-R24 independently represent a hydrogen atom or an acid-cleavable dissolution inhibiting group, and two of R21-R24 are hydrogen atoms and the other two are acid-cleavable dissolution inhibiting groups; j and k independently represent 0 or an integer of not less than 1 while j + k is not more than 4; and X represents a group represented by the general formula (Ia) or (Ib) below.) (Ia) (Ib) Also specifically disclosed is a method for forming a resist pattern by using such a positive resist composition.

    Abstract translation: 公开了能够形成粗糙度降低的抗蚀剂图案的正型抗蚀剂组合物。 还公开了形成抗蚀剂图案的方法。 具体公开的是含有由以下通式(I)表示的化合物的正型抗蚀剂组合物。 (I)(式(I)中,R 11和R 12分别独立地表示碳原子数1〜10的烷基或芳香族烃基,它们的结构可以含有杂原子; R 21〜R 24独立地表示氢原子或 可酸裂解溶解抑制基团,R21-R24中的两个为氢原子,另两个为酸可裂解溶解抑制基团; j和k独立地表示0或不小于1的整数,而j + k不大于 (Ia)(Ib)还具体公开了通过使用这种正性抗蚀剂组合物形成抗蚀剂图案的方法,其中X表示通式(Ia)或(Ib)表示的基团。

    광학활성 (R)-2-페녹시프로피온산 유도체의 제조방법
    9.
    发明公开
    광학활성 (R)-2-페녹시프로피온산 유도체의 제조방법 失效
    一种2-羟基丙酸衍生物的光学方法

    公开(公告)号:KR1020050122087A

    公开(公告)日:2005-12-28

    申请号:KR1020040047240

    申请日:2004-06-23

    Abstract: 본 발명은 광학활성 (
    R )-2-페녹시프로피온산 유도체의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는
    p- 치환된 페놀 유도체와 알킬 (
    S )-2-아릴술포닐옥시프로피오네이트를 반응 원료물질로 사용하고, 이를 알칼리금속염 염기와 탄화수소 용매 존재 하에서 60 ∼ 100 ℃ 온도로 반응시켜 다음 화학식 1로 표시되는 광학활성 (
    R )-2-페녹시프로피온산 유도체를 고순도로 제조하는 방법에 관한 것이다.

    상기 화학식 1에서, A는 벤조일옥시(BzO)기, 아세톡시(AcO)기,
    p- 톨루엔술포닐옥시(
    p- TsO)기, 또는 C
    1 -C
    6 의 지방족 아실기를 나타내고; R은 수소원자 또는 C
    1 -C
    6 의 알킬기를 나타낸다.

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