수지, 레지스트 조성물 및 레지스트 패턴의 제조 방법
    5.
    发明公开
    수지, 레지스트 조성물 및 레지스트 패턴의 제조 방법 审中-实审
    树脂,耐蚀组合物和生产耐火图案的方法

    公开(公告)号:KR1020160032705A

    公开(公告)日:2016-03-24

    申请号:KR1020150131159

    申请日:2015-09-16

    IPC分类号: G03F7/038 G03F7/039 G03F7/004

    摘要: 양호한보존안정성(결함, 포커스마진)의레지스트패턴을제조할수 있는수지및 레지스트조성물을제공하는것을목적으로한다. 식 (a4)로나타내어지는구조단위및 SO기를갖는구조단위를함유하고, 또한, 산불안정기를갖지않는수지 (A1), 산불안정기를갖는수지 (A2), 및, 산발생제를함유하는레지스트조성물.식 (a4) 중, R은, 수소원자또는메틸기를나타낸다. R는, 탄소수 1∼24의불소원자를갖는포화탄화수소기를나타내고, 당해포화탄화수소기에포함되는메틸렌기는, 산소원자또는카르보닐기로치환되어있어도된다.

    摘要翻译: 本发明涉及一种树脂,其可用于制备具有优异的防止和聚焦余量的储存稳定性的抗蚀剂图案及其抗蚀剂组合物。 本发明涉及一种树脂,其可用于制备具有优异的防止和聚焦余量的储存稳定性的抗蚀剂图案及其抗蚀剂组合物。 树脂包括由式(a4)表示的结构单元和包括SO_2的另一结构单元。 抗蚀剂组合物还包括:(A1)不含酸不稳定基团的树脂; (A2)具有酸不稳定基团的树脂; 和酸发生剂。 在式(a4)中,R 3是氢原子或甲基。 R 4表示具有1-24个碳原子的氟原子的饱和烃基。 含有饱和烃基的亚甲基可以被氧原子或羰基取代。