금속, 초경합금, 서멧 또는 세라믹 물질로 구성된 코팅체 및 상기 코팅체의 코팅 방법

    公开(公告)号:KR101739088B1

    公开(公告)日:2017-05-23

    申请号:KR1020127015201

    申请日:2010-11-12

    摘要: 본발명은금속, 초경합금, 서멧또는세라믹물질로구성되고, 하나이상의경질물복합코팅을함유하는단층또는다층코팅시스템으로코팅되는코팅체에관한것이며, 또한상기코팅체를코팅하는방법에관한것이다. 본발명의목적은상기코팅체를코팅하는시스템을개발하기위한것이고, 이는단층또는다층이고하나이상의경질물복합코팅을포함하며, 주상으로서입방 TiAlCN 및육방정계 AlN을함유하며, 이는매끄럽고균질한표면, 우수한내산화성및 우수한경도를갖는복합구조를특징으로한다. 상기목적은상기코팅을비용효율적으로생성하는방법의개발도포함한다. 본발명에따른경질물복합코팅은주상으로서입방 TiAlCN 및육방정계 AlN을함유하고, 여기서입방 TiAlCN은결정자크기≥ 0.1 μm, x > 0.75, y = 0 내지 0.25 및 z = 0.75 내지 1인미정질의 fcc-TiAlCN이며, 여기서결정립계영역내 상기복합코팅은 0.01 중량% 내지 20 중량%의비정질탄소를더 함유한다. 상기코팅은추가적인플라즈마가여기되지않으면서 700℃내지 900℃의온도및 10Pa 내지 10Pa의압력에서 LPCVD 공정에의해본 발명에따라수행된다. 본발명에따른경질물복합코팅은매끄럽고균질한표면, 우수한내산화성및 우수한경도를갖는복합구조로특징되고, 특히 SiN및 WC/Co 인덱서블인서트및 강구성요소에대한내마모코팅으로서이용될수 있다.