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公开(公告)号:KR101905618B1
公开(公告)日:2018-10-10
申请号:KR1020147029380
申请日:2013-03-20
申请人: 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이.
IPC分类号: G03F7/20 , H01J37/32 , H01J37/317 , H01L21/67
CPC分类号: H01J37/3174 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , F15D1/025 , G03F7/70925 , G21K2201/06 , H01J9/38 , H01J37/3007 , H01J37/3177 , H01J37/32862 , H01J2237/006 , H01J2237/022 , H01J2237/327 , Y10T137/2082 , Y10T137/87571
摘要: 본발명은라디칼들을운반하기위한배열체에관한것이다. 이배열체는플라즈마발생기및 안내본체를포함한다. 플라즈마발생기는내부에플라즈마가형성될수 있는챔버(2)를포함한다. 챔버는입력가스를수용하기위한유입구(5) 및플라즈마및 그안에생성된라디칼들을중 하나이상의제거를위한하나또는둘 이상의유출구(6)들을갖는다. 안내본체는중공형이고플라즈마내에형성된라디칼들을오염물질퇴적물이제거될영역또는용적을향하여안내하기위해배열된다. 챔버유입구는안내몸체내에유동을생성하도록챔버내로펄스형압력을제공하기위한압력장치(40)에커플링된다.
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公开(公告)号:KR101362135B1
公开(公告)日:2014-02-12
申请号:KR1020060137643
申请日:2006-12-29
申请人: 엘지디스플레이 주식회사
IPC分类号: H05B33/10
摘要: 본 발명은 합착되는 패널 내부압력을 감소시켜 패널의 불량을 방지할 수 있는 발광 표시장치의 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 발광 표시장치의 제조장치는 제 1 및 제 2 기판을 대향 합착하기 위한 진공챔버와, 상기 진공챔버에 설치되어 상기 제 1 기판이 로딩되는 하부 척과, 상기 하부 척에 대향되도록 상기 진공챔버에 설치되어 상기 제 2 기판이 로딩되는 상부 척과, 상기 진공챔버 내부를 진공 상태를 만드는 진공펌프와, 상기 제 1 및 제 2 기판의 가합착시 상기 진공챔버 내부에 가열된 가스를 공급하는 가스 공급부를 포함하여 구성되며, 상기 가열된 가스의 온도는 50℃ ~ 200℃로 가열되며, 상기 가열된 가스는 합착된 상기 제 1 및 제 2 기판 내에 충진된다.
이러한 구성에 의하여 본 발명은 고온으로 가열된 가스를 발광 표시패널 내부에 충진된 상태로 합착함으로써 합착된 발광 표시패널이 상온에 노출되더라도 내부의 압력 감소로 인한 패널 불량을 방지할 수 있다.
DOD, 발광 표시장치, 합착, 불활성 기체-
公开(公告)号:KR101196927B1
公开(公告)日:2012-11-05
申请号:KR1020127024517
申请日:2011-03-17
申请人: 파나소닉 주식회사
CPC分类号: H01J9/02 , H01J9/38 , H01J2211/12 , H01J2211/40
摘要: By introducing a gas containing a reducing organic gas into the discharge space, the protective layer is exposed to the reducing organic gas. Then, the reducing organic gas is exhausted from the discharge space. Then, a discharge gas is enclosed to the discharge space. The protective layer includes a base film made of magnesium oxide, and a plurality of metal oxide particles dispersed over the base film. The metal oxide particle includes at least a first metal oxide and a second metal oxide. Moreover, the metal oxide particle has at least one peak in an X-ray diffraction analysis. The peak is located between a first peak in the X-ray diffraction analysis of the first metal oxide and a second peak in the X-ray diffraction analysis of the second metal oxide. The first peak and the second peal have the same plane orientation as the plane orientation indicated by the peak.
摘要翻译: 通过向放电空间引入含有还原性有机气体的气体,保护层暴露于还原性有机气体。 然后,还原性有机气体从放电空间排出。 然后,将放电气体封入放电空间。 保护层包括由氧化镁制成的基膜和分散在基膜上的多个金属氧化物颗粒。 金属氧化物粒子至少包含第一金属氧化物和第二金属氧化物。 此外,金属氧化物粒子在X射线衍射分析中具有至少一个峰。 该峰位于第一金属氧化物的X射线衍射分析中的第一峰值和第二金属氧化物的X射线衍射分析中的第二峰值之间。 第一峰值和第二峰值具有与由峰值指示的平面取向相同的平面取向。
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4.
公开(公告)号:KR101160642B1
公开(公告)日:2012-06-28
申请号:KR1020067011470
申请日:2004-12-09
申请人: 세미이큅, 인코포레이티드
发明人: 호르스키토마스엔. , 밀게이트로버트더블유.3세
IPC分类号: H01L21/02 , H01L21/00 , H01L21/265
CPC分类号: H01J37/3171 , C23C14/48 , C23C14/564 , H01J9/38 , H01J27/02 , H01J27/024 , H01J37/08 , H01J2209/017 , H01J2237/006 , H01J2237/022 , Y10T137/0357 , Y10T137/7759 , Y10T137/776 , Y10T137/7761 , Y10T137/85954 , Y10T137/85978 , Y10T137/85986 , Y10T137/86002
摘要: 진공 챔버로 승화된 증기를 안정적인 유동으로 전달하기 위한 증기 운송 시스템은 고체 물질의 기화기(vaporizer), 기계적 쓰로틀 밸브(mecahnical throttling valve) 및 진공 챔버로의 증기 도관이 이어지는 압력계(pressure gauge)로 구성된다. 상기 증기 유동 속도는 기화기의 온도와 기계적 쓰로틀 밸브의 전도도 설정에 의해 결정된다. 상기 기화기의 온도는 온도 설정값에 대한 폐루프 제어에 의해 결정된다. 상기 기계적 쓰로틀 밸브는 기계적으로 제어되며, 예를 들면 상기 밸브 위치는 상기 압력 계량기의 출력에 대한 폐루프 제어 하에 있다. 이 방법에서, 상기 증기 유동 속도는 일반적으로 상기 압력 계량기의 출력에 비례할 수 있다. 상기 기화기로부터 진공 챔버까지에서 증기에 노출된 모든 표면들은 응축을 막기 위하여 가열된다. 게이트 밸브는 업스트림 쓰로틀 밸브로서 작용한다. 고체 재료의 고정된 충전물이 사용되면, 쓰로틀 밸브가 상기 충전물이 승화되는 만큼 그 작동 범위 내에서 낮은 전도도으로부터 점차적으로 오픈되는 장기간동안 상기 기화기의 온도는 안정하게 유지될 수 있다. 더 큰 밸브 변위가 도달했을때, 더 많은 충전물이 소비 되었을 때, 상기 밸브가 다시 점차적으로 오픈되어 지는 낮은 전도도 설정으로 재조절 되도록 상기 온도는 상승한다.
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公开(公告)号:KR1020090082342A
公开(公告)日:2009-07-30
申请号:KR1020097002050
申请日:2007-10-05
申请人: 파나소닉 주식회사
IPC分类号: H01J61/067 , G02F1/13357
摘要: A mercury emitter realizing an enhancement of mercury emission efficiency. Mercury emitter (100) comprises mercury emission part (10) consisting of a mercury alloy containing mercury (Hg) and at least one first metal selected from the group consisting of titanium (Ti), tin (Sn), zinc (Zn) and magnesium (Mg) and, provided so as to cover the mercury emission part (10), sintered material layer (20) from a material containing at least one second metal selected from the group consisting of iron (Fe) and nickel (Ni).
摘要翻译: 实现汞排放效率提高的汞排放。 汞发射体(100)包括由含有汞(Hg)的汞合金和至少一种选自钛(Ti),锡(Sn),锌(Zn)和镁的第一金属组成的汞排放部分(10) (Mg),并且由含有选自铁(Fe)和镍(Ni))中的至少一种第二金属的材料提供以覆盖汞排放部分(10)的烧结材料层(20)。
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公开(公告)号:KR1020090035945A
公开(公告)日:2009-04-13
申请号:KR1020070100996
申请日:2007-10-08
申请人: 세메스 주식회사
发明人: 김성희
IPC分类号: H01L21/304 , H01J9/38
CPC分类号: G02F1/1303 , H01J9/38
摘要: An apparatus for manufacturing the display device is provided to effectively spray the fluid on the top of the substrate by forming the multi-line structure including the first fluid jet line and the second fluid jet line. The showerhead(301) comprises the first nozzle member, the second nozzle member, and the connection part and the third nozzle member. The second nozzle member is arranged as the longitudinal direction of the first nozzle member. The connection part connects the first nozzle member and the second connection part. The third nozzle member is parallel with the first nozzle member. The showerhead comprises the first fluid jet line and the second fluid jet line. The first fluid jet line comprises the first nozzle member and the second nozzle member. The second fluid jet line comprises the third nozzle member(315). The third nozzle member is formed with the second plate and fifth plate(341).
摘要翻译: 提供一种用于制造显示装置的装置,用于通过形成包括第一流体喷射管线和第二流体喷射管线的多线结构来有效地将流体喷射在基板的顶部上。 喷头(301)包括第一喷嘴构件,第二喷嘴构件以及连接部和第三喷嘴构件。 第二喷嘴构件被布置为第一喷嘴构件的纵向方向。 连接部连接第一喷嘴部件和第二连接部。 第三喷嘴构件与第一喷嘴构件平行。 喷头包括第一流体喷射管线和第二流体喷射管线。 第一流体喷射管线包括第一喷嘴部件和第二喷嘴部件。 第二流体喷射管线包括第三喷嘴构件(315)。 第三喷嘴构件形成有第二板和第五板(341)。
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公开(公告)号:KR1020090020260A
公开(公告)日:2009-02-26
申请号:KR1020070084873
申请日:2007-08-23
申请人: 인베니아 주식회사
发明人: 박상규
CPC分类号: H01J9/38 , G02F1/133604 , H01J61/42 , H01J2209/017
摘要: A fluorescent material cleaning apparatus for fluorescent lamp is provided to reduce the number of components and increase productivity by eliminating an additional driving motor or an additional driving motor for rotating a bulb. A supporting unit supports a bulb(1) of a fluorescent lamp(10). One side of a brush roller(20) is closely attached on an outer circumference of one end of the bulb in order to remove a fluorescent material coating solution coated on the outer circumference of the bulb. The brush roller is rotated by itself. The brush roller is moved along and rotated around the outer circumference of the bulb. A driving unit(50) drives the bush roller.
摘要翻译: 提供一种用于荧光灯的荧光材料清洁装置,通过消除用于旋转灯泡的附加驱动电机或附加驱动电机来减少部件数量并提高生产率。 支撑单元支撑荧光灯(10)的灯泡(1)。 刷辊(20)的一侧紧密地附接在灯泡的一端的外圆周上,以去除涂覆在灯泡的外圆周上的荧光材料涂布液。 刷辊自身旋转。 刷辊沿灯泡的外圆周移动并旋转。 驱动单元(50)驱动衬套辊。
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公开(公告)号:KR1020080013229A
公开(公告)日:2008-02-13
申请号:KR1020060074442
申请日:2006-08-07
申请人: 엘지전자 주식회사
CPC分类号: H01J9/38 , H01J9/385 , H01J9/395 , H01J9/40 , H01J11/12 , H01J11/24 , H01J11/32 , H01J2211/245 , H01J2211/32 , H01J2211/323 , H01J2211/361 , H01J2211/365 , H01J2211/42 , H01J2211/444 , H01J2211/54
摘要: A plasma display panel is provided to simplify a manufacturing process by eliminating an exhaust unit and forming a first and a second electrode with one layer. A first electrode(102) and a second electrode(103) are formed in parallel to each other on a front substrate(101). A third electrode(113) crossing the first and second electrodes is formed on a rear substrate(111) which is disposed opposite to the front substrate. A barrier rib(112) is formed between the front and rear substrates in order to define discharge cells. The first and second electrodes are formed with one layer. An exhaust unit is eliminated from the rear substrate. A seal layer is formed between the front and rear substrates in order to attach the front and rear substrates to each other.
摘要翻译: 提供等离子体显示面板,以通过消除排气单元并且形成具有一层的第一和第二电极来简化制造过程。 第一电极(102)和第二电极(103)在前基板(101)上彼此平行地形成。 与第一和第二电极交叉的第三电极(113)形成在与前基板相对设置的后基板(111)上。 在前基板和后基板之间形成隔板(112),以限定放电单元。 第一和第二电极形成有一层。 从后基板排出排气单元。 在前基板和后基板之间形成密封层以将前基板和后基板彼此附接。
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公开(公告)号:KR100742854B1
公开(公告)日:2007-07-25
申请号:KR1020067017291
申请日:1999-06-15
申请人: 파나소닉 주식회사
CPC分类号: H01J9/38 , H01J9/241 , H01J9/261 , H01J9/385 , H01J11/12 , H01J11/36 , H01J11/42 , H01J11/48 , H01J11/54 , H01J2211/48
摘要: 발광 특성 및 색 재생이 우수한 PDP는 광의 색도 좌표 y(CIE 색 지정)를 0.08 이하, 보다 바람직하게는 0.07 이하, 또는 0.06 이하로 설정하고, 광의 색 온도는 7,000 K 이상, 8,000 K 이상, 9,000 K 이상 또는 10,000 K 이상으로 설정함으로써 달성된다. PDP는 형광물질 소성 공정과 같은 형광물질 가열공정, 봉함용 재료 임시 소성 공정, 접착공정 및 배출공정이 건조가스 분위기 또는 건조가스가 대기압 미만의 압력에서 순환되는 분위기 하에서 시행되는 방법으로 제조된다. 또한 이 PDP는 전면 및 후면 패널을 접착시킨 후에, 이들 패널 사이에 있는 내부공간으로부터 가스를 배출시키는 배출공정을 패널이 실온으로 냉각되지 않을 때 개시하는 방법; 또는 전면 및 후면 패널을 임시로 소성시킨 다음에 패널 접착공정을 패널이 실온으로 냉각되지 않을 때 개시하는 방법으로 제조된다. 이것은 가열에 필요한 시간 및 에너지를 감소시켜 제조비용을 감소시킨다.
플라즈마 디스플레이 패널, 전면 패널, 후면 패널, 형광물질 층, 봉함용 재료층, 발광강도, 색도좌표, 소성 공정, 접착공정, 배출공정摘要翻译: 发光特性和色彩再现性优异的PDP的光的色度坐标y(CIE色彩规范)的0.08或更小,更优选为0.07或更小,或0.06设定为不大于,和光色温度超过7000 K,超过8000 K,9000ķ 或更多或10,000 K或更多。 PDP是在被下一个荧光物质烧制工艺和所述加热过程中,所述荧光材料上进行的方式制造,为临时烘焙工艺,接合工艺密封材料中,并且排气处理气氛是干燥气体气氛下或干燥气体在低于大气压的压力,例如被循环。 此外,PDP是启动时的接合前面板和背面板之后的步骤中,从板面板之间的内部空间的排气不冷却至室温的放电的方法; 或者前面板和后面板暂时发射,然后当面板未冷却至室温时启动面板粘合过程。 这通过减少加热所需的时间和能量来降低制造成本。
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公开(公告)号:KR1020060097774A
公开(公告)日:2006-09-15
申请号:KR1020067017291
申请日:1999-06-15
申请人: 파나소닉 주식회사
CPC分类号: H01J9/38 , H01J9/241 , H01J9/261 , H01J9/385 , H01J11/12 , H01J11/36 , H01J11/42 , H01J11/48 , H01J11/54 , H01J2211/48
摘要: A PDP with superior light-emitting characteristics and color reproduction is achieved by setting the chromaticity coordinate y (the CIE color specification) of light to 0.08 or less, more preferably to 0.07 or less, or 0.06 or less, enabling the color temperature of light to be set to 7,000 K or more, and further to 8,000 K or more, 9,000 K or more, 10,000 K or more. The PDP is manufactured by a method in which the processes for heating the fluorescent substances such as the fluorescent substance baking, sealing material temporary baking, bonding, and exhausting processes are performed in the dry gas atmosphere, or in an atmosphere in which a dry gas is circulated at a pressure lower than the atmospheric pressure. This PDP is also manufactured by: a method in which after the front and back panels are bonded together, the exhausting process for exhausting gas from the inner space between panels is started while the panels are not cooled to room temperature; or a method in which after the front and back panels are temporarily baked, the process for bonding the panels is started while the panels are not cooled to room temperature. This reduces the time and energy required for heating, resulting in reduction of manufacturing cost.
摘要翻译: 通过将光的色度坐标y(CIE颜色规格)设定为0.08以下,更优选为0.07以下或0.06以下,能够实现具有优异的发光特性和色彩再现的PDP,能够实现光的色温 设定为7000K以上,进一步为8000K以上,9000K以上,10,000K以上。 PDP的制造方法是,在干燥气体气氛中,或在干燥气体的气氛中进行荧光物质烘焙,密封材料的暂时烘烤,粘合,排出等荧光物质的加热处理 在低于大气压的压力下循环。 该PDP也通过以下方法制造:其中在前面板和后面板结合在一起之后,在面板未冷却至室温的同时开始从面板之间的内部空间排出气体的排气过程; 或者在将前面板和后面板暂时烘烤之后,在面板未冷却至室温的同时开始接合面板的工序。 这减少了加热所需的时间和能量,从而降低制造成本。
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