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    다이 픽업 장치
    4.
    发明公开
    다이 픽업 장치 审中-公开

    公开(公告)号：KR20180071320A

    公开(公告)日：2018-06-27

    申请号：KR20187013994

    申请日：2016-01-28

    申请人： YAMAHA MOTOR CO LTD

    发明人： KASUGA DAISUKE

    IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68

    CPC分类号： H01L21/67144 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/68

    摘要： 다이픽업장치는복수의다이(C)에다이싱된웨이퍼(W)이며, 임의의다이(Cs)에레퍼런스위치를나타내는마크(Rm)가부여된웨이퍼의화상을촬영하는촬상장치(8)와, 웨이퍼상의기지의기준위치(P)와, 상기웨이퍼의마크(Rm)의위치관계인설정위치관계를미리기억하는기억부(17)와, 촬영된웨이퍼의화상을화상처리하여마크(Rm)와웨이퍼의형상적특징부를추출하고, 상기형상적특징부에의거하여기준위치(P)를도출하는추출처리부(183)와, 상기웨이퍼의화상으로부터특정되는기준위치(P)와마크(Rm)의실측위치관계와, 기억부(17)가기억하는상기설정위치관계를비교함으로써마크(Rm)의위치이상을검출하는이상검지부(184)를구비한다.

    객체의 이동 및/또는 위치 결정을 위한 이송 장치
    5.
    发明授权
    객체의 이동 및/또는 위치 결정을 위한 이송 장치 有权

    公开(公告)号：KR101865166B1

    公开(公告)日：2018-06-08

    申请号：KR1020167026872

    申请日：2015-03-17

    申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

    发明人： 에만크리스티안볼프강 ,  크레센크리스토프 ,  아엔니스마르틴

    IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  H01L21/68

    CPC分类号： H01L21/67709 ,  H01L21/67259

    摘要： 본발명은객체들을이동시키고, 그리고/또는위치결정하기위한이송장치에관한것이며, 상기이송장치는, - 이송방향(z)을따라서연장되면서그 상에는이송방향(z)으로서로이격되어있는복수의능동제어형자기베어링(24a, 24b, 26a, 26b, 28, 29)이배치되어있는베이스(12)와; - 적어도일부의자기베어링(24a, 24b, 26a, 26b, 28, 29)에의해베이스(12) 상에비접촉방식으로지지되어적어도하나의구동장치(18)에의해이송방향(z)으로베이스(12)에상대적으로이동가능하면서그 상에는적어도하나의객체(80)가배치될수 있는캐리어(30)와; - 자기베어링(24a, 24b, 26a, 26b, 28, 29)들에상대적인이송방향(z)에서의캐리어(30)의위치를검출하기위한적어도하나의검출유닛(40, 42, 44, 46, 48)과; - 검출유닛(40, 42, 44, 46, 48, 49)과연결되어, 캐리어(30)의검출된위치에따라서, 캐리어(30)와자기방식으로작동연결되어있거나, 또는사전설정된시간간격이내에캐리어(30)와작동연결되는적어도하나의자기베어링(24a, 24b, 26a, 26b, 28, 29)을선택적으로제어하기위한컨트롤러(50, 51)를; 포함한다.

    기판 제조 장치
    6.
    发明公开
    기판 제조 장치 审中-公开

    公开(公告)号：KR20180045666A

    公开(公告)日：2018-05-04

    申请号：KR20160140294

    申请日：2016-10-26

    IPC分类号： H01L21/677 ,  B65G47/91 ,  B65G49/06

    CPC分类号： H01L21/6838 ,  B65G47/911 ,  C23C16/4583 ,  H01L21/67063 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68742

    摘要： 본발명은기판제조장치에관한것이다. 본발명은기판지그장치; 및기판을비 접촉한상태로홀딩하여, 상기기판지그장치를향해이송시키는이송유닛을포함하고, 상기기판지그장치는: 개구부를가지고, 기판의가장자리가안착되는안착부재; 상기개구부의중간영역과중첩되고, 상기개구부를관통하는방향인제1 방향을따라이동하는제1 흡착부; 및상기개구부의가장자리영역과중첩되고, 상기개구부를향해이동하는복수의제2 흡착부들을포함한다.

    기판 이송 장치 및 기판 이송 장치의 제어 방법
    7.
    发明公开
    기판 이송 장치 및 기판 이송 장치의 제어 방법 审中-公开
    基板传送设备和基板传送设备的控制方法

    公开(公告)号：KR20180031478A

    公开(公告)日：2018-03-28

    申请号：KR20160120177

    申请日：2016-09-20

    申请人： WONIK IPS CO LTD

    发明人： JUNG HYUN SOO ,  JEON YONG BAEK

    IPC分类号： H01L21/677 ,  B65G47/90 ,  B65G49/06 ,  H01L21/66

    CPC分类号： H01L21/67766 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/67303 ,  H01L21/67742

    摘要： 본발명은기판이송로봇이공정챔버로기판을로딩시 기판을수용하는엔드이펙터의처짐및 틀어짐을감지할수 있는기판이송장치및 기판이송장치의제어방법에관한것으로서, 내부에공간이한정되며, 일측에기판이통과하는게이트가구비된몸체와, 상기몸체내부에구비되며, 상기기판을이송하기위하여상기기판을지지하도록수평방향으로상호이격배치된제 1 안착부및 제 2 안착부를포함하는엔드이펙터를포함하는기판이송로봇과, 상기엔드이펙터를기준으로상기제 1 안착부및 상기제 2 안착부의길이방향과경사진대각방향으로상호이격배치된발광부및 수광부를포함하고, 상기엔드이펙터의이동시 상기제 1 안착부및 상기제 2 안착부중 적어도어느하나의위치를감지하는감지부및 상기감지부로부터측정된측정값과기 설정된기준값을이용하여상기엔드이펙터의틀어짐또는처짐을판단하는제어부를포함할수 있다.

    摘要翻译： 提供一种基板输送装置及其控制方法。 该基板传送装置包括具有供基板穿过的浇口的主体; 基板传送机器人，所述基板传送机器人设置在所述主体内并且包括末端执行器，所述末端执行器包括彼此水平间隔开的第一座部和第二座部; 感测部分，所述感测部分包括发光部分和光接收部分，所述发光部分和所述光接收部分关于所述末端执行器相对于所述第一和第二安放部分的纵向在对角方向上彼此间隔开，并且检测至少一个 当所述末端执行器移动时，所述第一座部和所述第二座部中的至少一个位于所述第一座部和所述第二座部之间; 以及控制单元，用于通过使用由所述感测部分测量的测量值和预定参考值来确定所述末端执行器是否未对准或下垂。

    두 개의 기판을 정렬하기 위한 장치
    8.
    发明授权
    두 개의 기판을 정렬하기 위한 장치 有权

    公开(公告)号：KR101841377B1

    公开(公告)日：2018-03-22

    申请号：KR1020167019937

    申请日：2010-08-26

    申请人： 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하

    发明人： 피구라,대니얼

    IPC分类号： H01L21/68 ,  H01L21/02

    CPC分类号： H01L21/67092 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/681

    摘要： 본발명은제1 플랫폼(10) 위에고정될수 있는제1 기판(1)의제1 접촉표면(1k)과제2 플랫폼(20) 위에고정될수 있는제2 기판(2)의제2 접촉표면(2k)을정렬하기위한장치와방법에관한것으로서, 상기제1 접촉표면(1k)을따라위치된제1 정렬키(3.1 내지 3.n)의제1 X-Y 위치들이제1 기판(1)의움직임과무관한제1 X-Y 좌표계에서제1 X-Y 평면(5) 내에있는제1 탐지수단(7, 7')에의해탐지될수 있으며, 제1 정렬키(3.1 내지 3.n)에상응하고제2 접촉표면(2k)을따라위치된제2 정렬키(4.1 내지 4.n)의제2 X-Y 위치들이제2 기판(2)의움직임과무관한제2 X-Y 좌표계에서제1 X-Y 평면(5)에평행한제2 X-Y 평면(6) 내에있는제2 탐지수단(8, 8')에의해탐지될수 있고, 제1 접촉표면(1k)은제1 정렬위치에서제1 X-Y 위치들에따라정렬될수 있으며제2 접촉표면(2k)은제2 정렬위치에서제2 X-Y 위치들에따라정렬될수 있는것을특징으로한다.

    두 개의 기판을 정렬하기 위한 장치
    9.
    发明公开
    두 개의 기판을 정렬하기 위한 장치 审中-公开
    用于调整两个基板的装置

    公开(公告)号：KR20180026573A

    公开(公告)日：2018-03-12

    申请号：KR20187006053

    申请日：2010-08-26

    申请人： EV GROUP E THALLNER GMBH

    发明人： FIGURA DANIEL

    IPC分类号： H01L21/68 ,  H01L21/02

    CPC分类号： H01L21/67092 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/681

    摘要： 본발명은제1 플랫폼(10) 위에고정될수 있는제1 기판(1)의제1 접촉표면(1k)과제2 플랫폼(20) 위에고정될수 있는제2 기판(2)의제2 접촉표면(2k)을정렬하기위한장치와방법에관한것으로서, 상기제1 접촉표면(1k)을따라위치된제1 정렬키(3.1 내지 3.n)의제1 X-Y 위치들이제1 기판(1)의움직임과무관한제1 X-Y 좌표계에서제1 X-Y 평면(5) 내에있는제1 탐지수단(7, 7')에의해탐지될수 있으며, 제1 정렬키(3.1 내지 3.n)에상응하고제2 접촉표면(2k)을따라위치된제2 정렬키(4.1 내지 4.n)의제2 X-Y 위치들이제2 기판(2)의움직임과무관한제2 X-Y 좌표계에서제1 X-Y 평면(5)에평행한제2 X-Y 평면(6) 내에있는제2 탐지수단(8, 8')에의해탐지될수 있고, 제1 접촉표면(1k)은제1 정렬위치에서제1 X-Y 위치들에따라정렬될수 있으며제2 접촉표면(2k)은제2 정렬위치에서제2 X-Y 위치들에따라정렬될수 있는것을특징으로한다.

    摘要翻译： 该装置具有检测单元（7），即检测沿着接触表面布置的对准键的X-Y位置的激光推力计。 其他检测单元（8）检测对应于先前键并且沿着另一接触表面布置的另一对准键的其他X-Y位置。 后者的检测单元在笛卡尔X-Y坐标系统中以X-Y-级别提供，该系统独立于衬底（2）中的一个的移动。 表面在分别基于前者和后者的X-Y位置确定的对齐位置上对齐。 还包括用于将衬底的接触表面与另一衬底的另一接触表面对齐的方法的独立权利要求。