다층 배선 기판 및 표시 장치, 및 전자 기기
    1.
    发明公开
    다층 배선 기판 및 표시 장치, 및 전자 기기 审中-实审
    多层布线板和显示装置以及电子装置

    公开(公告)号:KR1020170094148A

    公开(公告)日:2017-08-17

    申请号:KR1020177013432

    申请日:2015-11-11

    摘要: 다층배선구조에있어서, 각배선의사이에마련된절연층을, 자외선을포함하는가시광영역의광에대해투과율이높은재료를사용하여형성한경우, 상층의배선의결함을외관검사할때에, 하층의배선이동시에인식되어버림에의해, 하층의배선이상층배선검사의노이즈가되어검사정밀도가저하되고, 제조수율및 신뢰성의향상의방해가된다는과제를해결하기위해, 본개시의다층배선기판은, 기판과, 기판상에마련되고, 광투과성을갖는절연층을사이에배설함과함께, 적어도일방이, 흑화처리, 흑화대체조화처리, 에칭처리, 도금처리중의어느하나의표면처리된제1 배선및 제2 배선을구비한다.

    摘要翻译: 在多层布线结构中,各导线之间的绝缘层,hangyeongwoo通过在可见光区域使用高磁导率材料为光包括紫外光,时间目视检查用于上层布线的缺陷和下层形成 由布线在丢弃认可的同时,是下层的导线上层布线检查的噪声减小的检查精度,为了解决这个问题,改善成品率和可靠性,本发明的多层布线基板的制造扰动, 一种制造半导体器件的方法,包括以下步骤:提供衬底,设置在衬底上并具有光透射性能的绝缘层,以及至少一个第一布线 还有第二条线路。