Abstract:
플럭스법에 의해 융액 내에서 13족 원소 질화물을 제조하는 방법으로서, 융액을, 13족 원소 원료, 알칼리 금속과 알칼리 토류 금속 중 적어도 하나의 원료 및 액체의 게르마늄 원료의 조성물을 가열하여 생성시킨다. 이것에 의해, 플럭스법에 의해 융액 내에서 13족 원소 질화물 결정을 제조함에 있어서, 얻어진 13족 원소 질화물 결정의 캐리어 농도 등의 특성의 면내 분포를 억제할 수 있다.
Abstract:
The present invention relates to a method for continuously producing a group iii nitride crystal powder, which reduces the process of connection and transport of a reactor over an existing ammonothermal synthesis reaction; minimizes contamination from oxygen and moisture by blocking the reactor from external air; and reduces the processing hours, thereby providing a reactor with excellent productivity for ammonothermal synthesis, by continuously pouring raw materials while maintaining a constant temperature and continuously collecting the powder whose reaction is finished.
Abstract:
플럭스법에 의해 융액 내에서 13족 원소 질화물을 제조하는 방법으로서, 융액을, 13족 원소 원료, 알칼리 금속과 알칼리 토류 금속 중 적어도 하나의 원료 및 액체의 게르마늄 원료의 조성물을 가열하여 생성시킨다. 이것에 의해, 플럭스법에 의해 융액 내에서 13족 원소 질화물 결정을 제조함에 있어서, 얻어진 13족 원소 질화물 결정의 캐리어 농도 등의 특성의 면내 분포를 억제할 수 있다.
Abstract:
본 발명은 고순도의 Ⅲ족 질화물 결정체 분말을 연속으로 제조하는 방법에 있어서, 기존의 암모노써멀 합성 대비 반응 용기의 체결 및 이송 공정을 줄이고 반응 용기를 외부 대기와 단절시켜 산소와 수분에 의한 오염을 최소화 시킬 수 있으며, 온도를 일정하게 유지한 상태로 원료를 연속적으로 장입하고, 반응이 종료된 분말을 지속적으로 수집할 수 있어 공정 시간을 획기적으로 단축하면서 생산성이 우수한 암모노써멀 합성 반응 장치를 제공한다.