電極的構造,構成材料及其製造方法
    6.
    发明专利
    電極的構造,構成材料及其製造方法 审中-公开
    电极的构造,构成材料及其制造方法

    公开(公告)号:TW201505083A

    公开(公告)日:2015-02-01

    申请号:TW102126204

    申请日:2013-07-22

    IPC分类号: H01L21/288

    摘要: 本發明提供一種因應半導體製造技術之微細化,可更高密度地配置、低電阻且高可靠性之貫穿/內嵌電極的形成方法。 本發明具備如下步驟:於基板50之開孔51內填充第1導電材之膏56並使其乾燥之步驟;及將開孔51內填充之膏56固相燒結而生成多孔質之第1導電體57之步驟;及以覆蓋該第1導電體57之方式塗佈第2導電材的膏之步驟;及對上述第2導電材之膏進行熱處理而使其熔解並使其含浸於該第1導電體57之步驟。

    简体摘要: 本发明提供一种因应半导体制造技术之微细化,可更高密度地配置、低电阻且高可靠性之贯穿/内嵌电极的形成方法。 本发明具备如下步骤:于基板50之开孔51内填充第1导电材之膏56并使其干燥之步骤;及将开孔51内填充之膏56固相烧结而生成多孔质之第1导电体57之步骤;及以覆盖该第1导电体57之方式涂布第2导电材的膏之步骤;及对上述第2导电材之膏进行热处理而使其熔解并使其含浸于该第1导电体57之步骤。

    半導體元件/電子零件之構裝構造
    10.
    发明专利
    半導體元件/電子零件之構裝構造 审中-公开
    半导体组件/电子零件之构装构造

    公开(公告)号:TW201241892A

    公开(公告)日:2012-10-16

    申请号:TW100149088

    申请日:2011-12-27

    发明人: 盆子原學

    IPC分类号: H01L

    摘要: 本發明提供能抑制伴隨消耗電力大之半導體元件或電子零件之發熱導致之溫度上升,以使之穩定動作之半導體元件/電子零件之構裝構造。具備:中介層10;搭載於中介層10之表面10a之半導體元件11;以及罩體12,以包含半導體元件11之方式緊貼固定於中介層10之表面10a,與中介層10一起形成內部空間S。罩體12具有將吸收熱之流體L從外部導入內部空間S之入口13與將流體L從內部空間S排出至外部之出口14。內部空間S係除了入口13與出口14以外均密閉之空間。

    简体摘要: 本发明提供能抑制伴随消耗电力大之半导体组件或电子零件之发热导致之温度上升,以使之稳定动作之半导体组件/电子零件之构装构造。具备:中介层10;搭载于中介层10之表面10a之半导体组件11;以及罩体12,以包含半导体组件11之方式紧贴固定于中介层10之表面10a,与中介层10一起形成内部空间S。罩体12具有将吸收热之流体L从外部导入内部空间S之入口13与将流体L从内部空间S排出至外部之出口14。内部空间S系除了入口13与出口14以外均密闭之空间。