公开(公告)号：TW201812705A

公开(公告)日：2018-04-01

申请号：TW106127070

申请日：2017-08-10

申请人： 美商澤塔儀器公司 ,  ZETA INSTRUMENTS, INC.

发明人： 許 詹姆士 建國 ,  XU, JAMES JIANGUO ,  索塔曼 隆尼 ,  SOETARMAN, RONNY ,  哈朵諾 布迪 ,  HARTONO, BUDI

IPC分类号： G06T15/08 ,  G06T7/521 ,  G01B11/06

CPC分类号： G02B21/244 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/26 ,  G02B21/367 ,  G06T7/0006 ,  G06T7/571 ,  G06T2207/10028 ,  G06T2207/10056 ,  G06T2207/10148 ,  G06T2207/30148

摘要： 一種產生三維資訊之方法包含：按預定步階變更樣本與光學顯微鏡之一物鏡之間的距離；在各預定步階處擷取一影像；判定各經擷取影像中之各像素之一特性值；針對各經擷取影像判定跨該經擷取影像中之所有像素之最大特性值；比較各經擷取影像之該最大特性值以判定各預定步階處是否存在該樣本之一表面；基於各經擷取影像中之各像素之該特性值判定聚焦在該樣本之一第一表面上之一第一經擷取影像；基於各經擷取影像中之各像素之該特性值判定聚焦在該樣本之一第二表面上之一第二經擷取影像；及判定該第一表面與該第二表面之間的一第一距離。

简体摘要： 一种产生三维信息之方法包含：按预定步阶变更样本与光学显微镜之一物镜之间的距离；在各预定步阶处截取一影像；判定各经截取影像中之各像素之一特性值；针对各经截取影像判定跨该经截取影像中之所有像素之最大特性值；比较各经截取影像之该最大特性值以判定各预定步阶处是否存在该样本之一表面；基于各经截取影像中之各像素之该特性值判定聚焦在该样本之一第一表面上之一第一经截取影像；基于各经截取影像中之各像素之该特性值判定聚焦在该样本之一第二表面上之一第二经截取影像；及判定该第一表面与该第二表面之间的一第一距离。

公开(公告)号：TW201734436A

公开(公告)日：2017-10-01

申请号：TW105143889

申请日：2016-12-29

申请人： 宰體有限公司 ,  JT CORPORATION

发明人： 柳弘俊 ,  YOO, HONG-JUN ,  白京煥 ,  BAEK, KYEONG-HWAN

IPC分类号： G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G01B11/25 ,  G06T7/521 ,  G01N21/956

CPC分类号： G01B11/25 ,  G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  G06T7/00

摘要： 本發明涉及一種元件處理裝置，尤其涉及一種對元件執行視覺檢測的元件處理裝置及視覺檢測方法。本發明揭露一種視覺檢測方法，用於對形成在元件(1)的表面上的多個球狀突出部(1a)執行視覺檢測，包括：圖像獲取步驟，對於元件(1)的表面相對移動的同時將狹縫光照射於元件(1)的表面，並且通過光學三角法測量元件(1)的表面上的高度，同時獲取對照射狹縫光的元件(1)表面的第一圖像，其中狹縫光照射在元件(1)表面時形成為大於0°且小於90°的第一入射角；及狹縫光分析步驟，在通過圖像獲取步驟獲取的第一圖像中，在以像素為單位且像素值為提前設定的值以上的區域內，將通過圖像獲取步驟測量的高度的最高位置指定為突出部(1a)的頂點位置。

简体摘要： 本发明涉及一种组件处理设备，尤其涉及一种对组件运行视觉检测的组件处理设备及视觉检测方法。本发明揭露一种视觉检测方法，用于对形成在组件(1)的表面上的多个球状突出部(1a)运行视觉检测，包括：图像获取步骤，对于组件(1)的表面相对移动的同时将狭缝光照射于组件(1)的表面，并且通过光学三角法测量组件(1)的表面上的高度，同时获取对照射狭缝光的组件(1)表面的第一图像，其中狭缝光照射在组件(1)表面时形成为大于0°且小于90°的第一入射角；及狭缝光分析步骤，在通过图像获取步骤获取的第一图像中，在以像素为单位且像素值为提前设置的值以上的区域内，将通过图像获取步骤测量的高度的最高位置指定为突出部(1a)的顶点位置。