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公开(公告)号:TWI538746B
公开(公告)日:2016-06-21
申请号:TW102133900
申请日:2013-09-18
发明人: 坂下俊也 , SAKASHITA, TOSHIYA
CPC分类号: B08B9/0826 , B08B3/02 , B08B3/04 , B08B3/08 , B08B9/093 , B08B9/205 , B08B9/283 , H01L21/67051 , H01L21/67057
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公开(公告)号:TW201423886A
公开(公告)日:2014-06-16
申请号:TW102133901
申请日:2013-09-18
发明人: 坂下俊也 , SAKASHITA, TOSHIYA
IPC分类号: H01L21/67
CPC分类号: B08B9/205 , B08B3/02 , B08B3/04 , B08B3/08 , B08B9/0861 , G03F1/66 , H01L21/02041 , H01L21/304 , H01L21/67051 , H01L21/67057 , H01L21/67173 , H01L21/67353 , H01L21/67703 , H01L21/6773
摘要: [課題]本發明之課題在於:使從載置台至支持台的移載不複雜而可較為簡易,而且,朝支持台的定位也可容易地進行。[解決手段]本發明之基板盒洗淨裝置具備有於小室內將基板盒之各零件以分離狀態收容並洗淨的洗淨槽,設有在小室內支持基板盒的支持台,具備有將基板盒之各零件在支持台與洗淨槽之間進行搬送的搬送機構,設有於小室之開口的外部可載置基板盒的載置台,並設置在載置台與支持台之間移載基板盒的移載機構,使移載機構可搭載支持台而移動於如下之2個位置:進出於載置台側而進行與載置台間之基板盒之受取、交付的進出位置、以及後退至小室內而在與搬送機構之間進行基板盒之交付、受取的後退位置。
简体摘要: [课题]本发明之课题在于:使从载置台至支持台的移载不复杂而可较为简易,而且,朝支持台的定位也可容易地进行。[解决手段]本发明之基板盒洗净设备具备有于小室内将基板盒之各零件以分离状态收容并洗净的洗净槽,设有在小室内支持基板盒的支持台,具备有将基板盒之各零件在支持台与洗净槽之间进行搬送的搬送机构,设有于小室之开口的外部可载置基板盒的载置台,并设置在载置台与支持台之间移载基板盒的移载机构,使移载机构可搭载支持台而移动于如下之2个位置:进出于载置台侧而进行与载置台间之基板盒之受取、交付的进出位置、以及后退至小室内而在与搬送机构之间进行基板盒之交付、受取的后退位置。
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公开(公告)号:TWI534928B
公开(公告)日:2016-05-21
申请号:TW102133901
申请日:2013-09-18
发明人: 坂下俊也 , SAKASHITA, TOSHIYA
IPC分类号: H01L21/67
CPC分类号: B08B9/205 , B08B3/02 , B08B3/04 , B08B3/08 , B08B9/0861 , G03F1/66 , H01L21/02041 , H01L21/304 , H01L21/67051 , H01L21/67057 , H01L21/67173 , H01L21/67353 , H01L21/67703 , H01L21/6773
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公开(公告)号:TWI509680B
公开(公告)日:2015-11-21
申请号:TW102133902
申请日:2013-09-18
发明人: 坂下俊也 , SAKASHITA, TOSHIYA
IPC分类号: H01L21/304 , B08B3/04
CPC分类号: B08B3/10 , B08B3/02 , B08B3/04 , B08B3/08 , B08B9/0861 , H01L21/02041 , H01L21/304 , H01L21/67051 , H01L21/67057 , H01L21/67173 , H01L21/67353 , H01L21/67703 , H01L21/6773
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公开(公告)号:TWI501820B
公开(公告)日:2015-10-01
申请号:TW102133899
申请日:2013-09-18
发明人: 坂下俊也 , SAKASHITA, TOSHIYA
IPC分类号: B08B3/04
CPC分类号: B08B3/08 , B08B3/02 , B08B3/04 , B08B9/0861 , H01L21/02041 , H01L21/304 , H01L21/67051 , H01L21/67057
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公开(公告)号:TW201420471A
公开(公告)日:2014-06-01
申请号:TW102133902
申请日:2013-09-18
发明人: 坂下俊也 , SAKASHITA, TOSHIYA
CPC分类号: B08B3/10 , B08B3/02 , B08B3/04 , B08B3/08 , B08B9/0861 , H01L21/02041 , H01L21/304 , H01L21/67051 , H01L21/67057 , H01L21/67173 , H01L21/67353 , H01L21/67703 , H01L21/6773
摘要: 【課題】本發明之課題在於:可使基板盒之各零件在槽本體內分開而進行洗淨,且可使洗淨液全面地接觸,而可確實地進行洗淨。【解決手段】本發明之基板盒洗淨裝置構成為:是將具備有基體及殼體且於內部可收容基板的基板盒,在內部沒有基板的狀態下進行洗淨的基板盒洗淨裝置,具備有將基板盒之基體及殼體各零件以分離狀態收容並洗淨的洗淨槽,又具備有將基板盒之各零件對於洗淨槽進行搬送的搬送機構,且使洗淨槽構成為具備有槽本體、及可開閉的蓋子,更具備有:旋轉板,可以垂直方向之軸線為中心旋轉地設置於槽本體之底部;複數個基體支承桿,直立設置於旋轉板且在預定之高度位置上支承基體之外緣的一部份;以及複數個殼體支承桿,直立設置於旋轉板且在與基體支承桿不同的預定之高度位置支承殼體之外緣的一部份。
简体摘要: 【课题】本发明之课题在于:可使基板盒之各零件在槽本体内分开而进行洗净,且可使洗净液全面地接触,而可确实地进行洗净。【解决手段】本发明之基板盒洗净设备构成为:是将具备有基体及壳体且于内部可收容基板的基板盒,在内部没有基板的状态下进行洗净的基板盒洗净设备,具备有将基板盒之基体及壳体各零件以分离状态收容并洗净的洗净槽,又具备有将基板盒之各零件对于洗净槽进行搬送的搬送机构,且使洗净槽构成为具备有槽本体、及可开闭的盖子,更具备有:旋转板,可以垂直方向之轴线为中心旋转地设置于槽本体之底部;复数个基体支承杆,直立设置于旋转板且在预定之高度位置上支承基体之外缘的一部份;以及复数个壳体支承杆,直立设置于旋转板且在与基体支承杆不同的预定之高度位置支承壳体之外缘的一部份。
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公开(公告)号:TW201420217A
公开(公告)日:2014-06-01
申请号:TW102133899
申请日:2013-09-18
发明人: 坂下俊也 , SAKASHITA, TOSHIYA
IPC分类号: B08B3/04
CPC分类号: B08B3/08 , B08B3/02 , B08B3/04 , B08B9/0861 , H01L21/02041 , H01L21/304 , H01L21/67051 , H01L21/67057
摘要: 【課題】本發明之課題在於:使附著於已接觸外部空氣之外莢的污染物質不會污染內莢而可洗淨兩者,以圖提升洗淨精度。【解決手段】本發明是將具備有於內部收容基板之內莢、以及於內部收容內莢之外莢的基板盒,在裡面沒有基板的狀態下進行洗淨的基板盒洗淨裝置,本發明之基板盒洗淨裝置具備有形成清潔空間的小室,且於小室內,設有將外莢之外基體及外殼體各零件以分離的狀態收容並洗淨的第一洗淨槽、以及將內莢之內基體及內殼體各零件以分離的狀態收容並洗淨的第二洗淨槽,並且具備有將該等各零件對於相對應的第一洗淨槽及第二洗淨槽進行搬送的搬送機構。
简体摘要: 【课题】本发明之课题在于:使附着于已接触外部空气之外荚的污染物质不会污染内荚而可洗净两者,以图提升洗净精度。【解决手段】本发明是将具备有于内部收容基板之内荚、以及于内部收容内荚之外荚的基板盒,在里面没有基板的状态下进行洗净的基板盒洗净设备,本发明之基板盒洗净设备具备有形成清洁空间的小室,且于小室内,设有将外荚之外基体及外壳体各零件以分离的状态收容并洗净的第一洗净槽、以及将内荚之内基体及内壳体各零件以分离的状态收容并洗净的第二洗净槽,并且具备有将该等各零件对于相对应的第一洗净槽及第二洗净槽进行搬送的搬送机构。
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公开(公告)号:TW201420215A
公开(公告)日:2014-06-01
申请号:TW102133900
申请日:2013-09-18
发明人: 坂下俊也 , SAKASHITA, TOSHIYA
CPC分类号: B08B9/0826 , B08B3/02 , B08B3/04 , B08B3/08 , B08B9/093 , B08B9/205 , B08B9/283 , H01L21/67051 , H01L21/67057
摘要: 【課題】本發明之課題在於:希望可防止在基板盒洗淨後污染物質從把持手轉移而污染基板盒的事態發生。【解決手段】本發明是將收容基板的基板盒,在裡面沒有基板的狀態下進行洗淨的基板盒洗淨裝置,且該基板盒洗淨裝置具備有形成清潔空間的小室,於小室內,設有將基板盒之各零件以分離狀態收容並洗淨的洗淨槽,具備有以把持手來把持基板盒之各零件而對於洗淨槽進行搬送的搬送機構,並設置有在基板盒之洗淨中使把持手在小室內之待機位置待機而將把持手在各零件之洗淨中進行洗淨的洗淨手段。又,構成為:洗淨手段具備有對於把持手噴射氣體的噴射噴嘴、以及把氣體從小室內排氣的排氣扇。
简体摘要: 【课题】本发明之课题在于:希望可防止在基板盒洗净后污染物质从把持手转移而污染基板盒的事态发生。【解决手段】本发明是将收容基板的基板盒,在里面没有基板的状态下进行洗净的基板盒洗净设备,且该基板盒洗净设备具备有形成清洁空间的小室,于小室内,设有将基板盒之各零件以分离状态收容并洗净的洗净槽,具备有以把持手来把持基板盒之各零件而对于洗净槽进行搬送的搬送机构,并设置有在基板盒之洗净中使把持手在小室内之待机位置待机而将把持手在各零件之洗净中进行洗净的洗净手段。又,构成为:洗净手段具备有对于把持手喷射气体的喷射喷嘴、以及把气体从小室内排气的排气扇。
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