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    基板盒洗淨裝置（三）
    2.
    发明专利
    基板盒洗淨裝置（三） 审中-公开
    基板盒洗净设备（三）

    公开(公告)号：TW201423886A

    公开(公告)日：2014-06-16

    申请号：TW102133901

    申请日：2013-09-18

    申请人： 修谷魯電子機器股份有限公司 ,  HUGLE ELECTRONICS INC.

    发明人： 坂下俊也 ,  SAKASHITA, TOSHIYA

    IPC分类号： H01L21/67

    CPC分类号： B08B9/205 ,  B08B3/02 ,  B08B3/04 ,  B08B3/08 ,  B08B9/0861 ,  G03F1/66 ,  H01L21/02041 ,  H01L21/304 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67057 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67353 ,  H01L21/67703 ,  H01L21/6773

    摘要： [課題]本發明之課題在於：使從載置台至支持台的移載不複雜而可較為簡易，而且，朝支持台的定位也可容易地進行。[解決手段]本發明之基板盒洗淨裝置具備有於小室內將基板盒之各零件以分離狀態收容並洗淨的洗淨槽，設有在小室內支持基板盒的支持台，具備有將基板盒之各零件在支持台與洗淨槽之間進行搬送的搬送機構，設有於小室之開口的外部可載置基板盒的載置台，並設置在載置台與支持台之間移載基板盒的移載機構，使移載機構可搭載支持台而移動於如下之2個位置：進出於載置台側而進行與載置台間之基板盒之受取、交付的進出位置、以及後退至小室內而在與搬送機構之間進行基板盒之交付、受取的後退位置。

    简体摘要： [课题]本发明之课题在于：使从载置台至支持台的移载不复杂而可较为简易，而且，朝支持台的定位也可容易地进行。[解决手段]本发明之基板盒洗净设备具备有于小室内将基板盒之各零件以分离状态收容并洗净的洗净槽，设有在小室内支持基板盒的支持台，具备有将基板盒之各零件在支持台与洗净槽之间进行搬送的搬送机构，设有于小室之开口的外部可载置基板盒的载置台，并设置在载置台与支持台之间移载基板盒的移载机构，使移载机构可搭载支持台而移动于如下之2个位置：进出于载置台侧而进行与载置台间之基板盒之受取、交付的进出位置、以及后退至小室内而在与搬送机构之间进行基板盒之交付、受取的后退位置。

    基板盒洗淨裝置（二）
    3.
    发明专利
    基板盒洗淨裝置（二） 审中-公开
    基板盒洗净设备（二）

    公开(公告)号：TW201420215A

    公开(公告)日：2014-06-01

    申请号：TW102133900

    申请日：2013-09-18

    申请人： 修谷魯電子機器股份有限公司 ,  HUGLE ELECTRONICS INC.

    发明人： 坂下俊也 ,  SAKASHITA, TOSHIYA

    IPC分类号： B08B11/04 ,  B08B5/02

    CPC分类号： B08B9/0826 ,  B08B3/02 ,  B08B3/04 ,  B08B3/08 ,  B08B9/093 ,  B08B9/205 ,  B08B9/283 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67057

    摘要： 【課題】本發明之課題在於：希望可防止在基板盒洗淨後污染物質從把持手轉移而污染基板盒的事態發生。【解決手段】本發明是將收容基板的基板盒，在裡面沒有基板的狀態下進行洗淨的基板盒洗淨裝置，且該基板盒洗淨裝置具備有形成清潔空間的小室，於小室內，設有將基板盒之各零件以分離狀態收容並洗淨的洗淨槽，具備有以把持手來把持基板盒之各零件而對於洗淨槽進行搬送的搬送機構，並設置有在基板盒之洗淨中使把持手在小室內之待機位置待機而將把持手在各零件之洗淨中進行洗淨的洗淨手段。又，構成為：洗淨手段具備有對於把持手噴射氣體的噴射噴嘴、以及把氣體從小室內排氣的排氣扇。

    简体摘要： 【课题】本发明之课题在于：希望可防止在基板盒洗净后污染物质从把持手转移而污染基板盒的事态发生。【解决手段】本发明是将收容基板的基板盒，在里面没有基板的状态下进行洗净的基板盒洗净设备，且该基板盒洗净设备具备有形成清洁空间的小室，于小室内，设有将基板盒之各零件以分离状态收容并洗净的洗净槽，具备有以把持手来把持基板盒之各零件而对于洗净槽进行搬送的搬送机构，并设置有在基板盒之洗净中使把持手在小室内之待机位置待机而将把持手在各零件之洗净中进行洗净的洗净手段。又，构成为：洗净手段具备有对于把持手喷射气体的喷射喷嘴、以及把气体从小室内排气的排气扇。

    洗瓶機
    4.
    发明专利
    洗瓶機 审中-公开
    洗瓶机

    公开(公告)号：TW201325748A

    公开(公告)日：2013-07-01

    申请号：TW100149209

    申请日：2011-12-28

    申请人： 順益機器股份有限公司

    发明人： 張清雄

    IPC分类号： B08B9/20

    CPC分类号： B08B9/42 ,  B08B9/205 ,  B08B9/30 ,  F26B21/006

    摘要： 一種洗瓶機，包含一工作平台、一輸送裝置、一清洗裝置及一乾燥裝置，工作平板包括一前端及一後端；輸送裝置包括兩個驅動輪組，及兩條分別纏繞於兩個驅動輪組上的推動皮帶，兩條推動皮帶可分別抵接在一瓶子外表面左右兩相反側，工作平板與兩條推動皮帶相鄰一側之間界定形成一沿前後方向延伸的入料路徑，兩條推動皮帶可分別受兩個驅動輪組帶動而朝反向轉動，以推動瓶子沿著入料路徑移動；清洗裝置設置於工作平板上且位於輸送裝置後側用以清洗瓶子；乾燥裝置設置於工作平板上且鄰近後端，乾燥裝置位於清洗裝置後側用以乾燥瓶子。

    简体摘要： 一种洗瓶机，包含一工作平台、一输送设备、一清洗设备及一干燥设备，工作平板包括一前端及一后端；输送设备包括两个驱动轮组，及两条分别缠绕于两个驱动轮组上的推动皮带，两条推动皮带可分别抵接在一瓶子外表面左右两相反侧，工作平板与两条推动皮带相邻一侧之间界定形成一沿前后方向延伸的入料路径，两条推动皮带可分别受两个驱动轮组带动而朝反向转动，以推动瓶子沿着入料路径移动；清洗设备设置于工作平板上且位于输送设备后侧用以清洗瓶子；干燥设备设置于工作平板上且邻近后端，干燥设备位于清洗设备后侧用以干燥瓶子。

    用來處理用於基板的輸送及大氣儲存的塑膠搬運盒之方法及工作站
    5.
    发明专利
    用來處理用於基板的輸送及大氣儲存的塑膠搬運盒之方法及工作站 审中-公开
    用来处理用于基板的输送及大气存储的塑胶搬运盒之方法及工作站

    公开(公告)号：TW201622051A

    公开(公告)日：2016-06-16

    申请号：TW104122045

    申请日：2015-07-07

    申请人： 艾迪生真空產品公司 ,  ADIXEN VACUUM PRODUCTS

    发明人： 帕林森 朱力安 ,  PALISSON, JULIEN ,  古特 凱瑟琳 ,  LE GUET, CATHERINE

    IPC分类号： H01L21/677 ,  B08B9/08 ,  B08B7/00

    CPC分类号： B08B9/40 ,  B08B7/0035 ,  B08B9/0861 ,  B08B9/205

    摘要： 本發明關於一種用來處理用於基板的輸送及大氣儲存的塑膠搬運盒之方法，塑膠搬運盒具有界定出意圖用於基板的儲存之體積的壁，其特徵在於，該方法包括至少一電漿處理步驟(103；105)，在電漿處理步驟中，搬運盒(3)的至少一內壁在低於10000帕斯卡(pascals)的氣體壓力下經受處理氣體的電漿。本發明亦關於一種用來處理用於基板的輸送及大氣儲存的工作站。

    简体摘要： 本发明关于一种用来处理用于基板的输送及大气存储的塑胶搬运盒之方法，塑胶搬运盒具有界定出意图用于基板的存储之体积的壁，其特征在于，该方法包括至少一等离子处理步骤(103；105)，在等离子处理步骤中，搬运盒(3)的至少一内壁在低于10000帕斯卡(pascals)的气体压力下经受处理气体的等离子。本发明亦关于一种用来处理用于基板的输送及大气存储的工作站。