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    用於晶圓邊緣檢測及查核之方法及系統
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    发明专利
    用於晶圓邊緣檢測及查核之方法及系統 审中-公开
    用于晶圆边缘检测及查核之方法及系统

    公开(公告)号：TW201715225A

    公开(公告)日：2017-05-01

    申请号：TW105125522

    申请日：2016-08-10

    申请人： 克萊譚克公司 ,  KLA-TENCOR CORPORATION

    发明人： 姜 辛容 ,  JIANG, XINRONG ,  希爾斯 克里斯多福 ,  SEARS, CHRISTOPHER ,  辛哈 赫許 ,  SINHA, HARSH ,  泰瑞斯 大衛 ,  TREASE, DAVID ,  凱茲 大衛 ,  KAZ, DAVID ,  葉煒 ,  YE, WEI

    IPC分类号： G01N23/225 ,  G01N21/95

    CPC分类号： H01J37/153 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/1536

    摘要： 一種用於檢測或查核一樣本之一邊緣部分之電光學系統包含：一電子束源，其經組態以產生一或多個電子束；一樣本載台，其經組態以固定該樣本；及一電光學柱，其包含經組態以將該一或多個電子束之至少一部分引導至該樣本之一邊緣部分上之一組電光學元件。該系統亦包含：一樣本位置參考裝置，其圍繞該樣本而安置；及一保護環裝置，其安置於該樣本之該邊緣與該樣本位置參考裝置之間以補償一或多個邊際場。該保護環裝置之一或多個特性係可調整的。該系統亦包含一偵測器總成，該偵測器總成經組態以偵測自該樣本之表面發出之電子。

    简体摘要： 一种用于检测或查核一样本之一边缘部分之电光学系统包含：一电子束源，其经组态以产生一或多个电子束；一样本载台，其经组态以固定该样本；及一电光学柱，其包含经组态以将该一或多个电子束之至少一部分引导至该样本之一边缘部分上之一组电光学组件。该系统亦包含：一样本位置参考设备，其围绕该样本而安置；及一保护环设备，其安置于该样本之该边缘与该样本位置参考设备之间以补偿一或多个边际场。该保护环设备之一或多个特性系可调整的。该系统亦包含一侦测器总成，该侦测器总成经组态以侦测自该样本之表面发出之电子。