改善讀取特性的反熔絲單次可程式記憶胞及記憶體的操作方法
    3.
    发明专利
    改善讀取特性的反熔絲單次可程式記憶胞及記憶體的操作方法 审中-公开
    改善读取特性的反熔丝单次可进程记忆胞及内存的操作方法

    公开(公告)号:TW201505152A

    公开(公告)日:2015-02-01

    申请号:TW103106814

    申请日:2014-02-27

    IPC分类号: H01L23/62

    摘要: 單次可程式唯讀記憶胞,包括:第一反熔絲單元及第二反熔絲單元、選擇電晶體以及井區。第一反熔絲單元與第二反熔絲單元分別包括依序設置於基底上的反熔絲層與反熔絲閘極。選擇電晶體,包括選擇閘極、閘極介電層、第一摻雜區與第二摻雜區。選擇閘極設置於基底上。閘極介電層設置於選擇閘極與基底之間。第一摻雜區與第二摻雜區,分別設置於選擇閘極兩側的基底中,其中第二摻雜區位在第一反熔絲單元及第二反熔絲單元周圍的基底中。井區設置於第一反熔絲單元及第二反熔絲單元下方的基底中,並連接第二摻雜區。

    简体摘要: 单次可进程唯读记忆胞,包括:第一反熔丝单元及第二反熔丝单元、选择晶体管以及井区。第一反熔丝单元与第二反熔丝单元分别包括依序设置于基底上的反熔丝层与反熔丝闸极。选择晶体管,包括选择闸极、闸极介电层、第一掺杂区与第二掺杂区。选择闸极设置于基底上。闸极介电层设置于选择闸极与基底之间。第一掺杂区与第二掺杂区,分别设置于选择闸极两侧的基底中,其中第二掺杂区位在第一反熔丝单元及第二反熔丝单元周围的基底中。井区设置于第一反熔丝单元及第二反熔丝单元下方的基底中,并连接第二掺杂区。