公开(公告)号：TWI478218B

公开(公告)日：2015-03-21

申请号：TW098135566

申请日：2009-10-21

Applicant: 台灣積體電路製造股份有限公司 ,  TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.

Inventor： 黃仁安 ,  NG, JIN-AUN ,  楊文誌 ,  YANG, WEN CHIH ,  陳建良 ,  CHEN, CHIEN LIANG ,  費中豪 ,  FEI, CHUNG HAU ,  張啟新 ,  CHANG, MAXI ,  楊寶如 ,  YOUNG, BAO RU ,  莊學理 ,  CHUANG, HARRY

IPC: H01L21/28 ,  H01L21/8238 ,  H01L21/8232 ,  H01L27/085

CPC classification number: H01L29/1054 ,  H01L21/823807 ,  H01L29/1083 ,  H01L29/165 ,  H01L29/66628 ,  H01L29/66636 ,  H01L29/7848

公开(公告)号：TWI406414B

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：TW098126504

申请日：2009-08-06

Applicant: 台灣積體電路製造股份有限公司 ,  TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.

Inventor： 陳建豪 ,  CHEN, CHIEN HAO ,  連浩明 ,  LIEN, HAO MING ,  李思毅 ,  LI, SSU YI ,  李啟弘 ,  LI, CHII HORNG ,  陳建良 ,  CHEN, CHIEN LIANG ,  費中豪 ,  FEI, CHUNG HAU ,  楊文誌 ,  YANG, WEN CHIH ,  黃仁安 ,  NG, JIN-AUN ,  張啟新 ,  CHANG, CHI HSIN ,  林俊銘 ,  LIN, CHUN MING ,  莊學理 ,  CHUANG, HARRY ,  葉俊林 ,  YEH, JUN LIN ,  林綱正 ,  LIN, KANG CHENG ,  黃國泰 ,  HUANG, KUO TAI

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/316 ,  H01L21/318 ,  H01L21/76

CPC classification number: H01L21/28088 ,  H01L29/4966 ,  H01L29/517 ,  H01L29/6656 ,  H01L29/6659 ,  H01L29/7833

公开(公告)号：TWI413183B

公开(公告)日：2013-10-21

申请号：TW098129014

申请日：2009-08-28

Applicant: 台灣積體電路製造股份有限公司 ,  TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.

Inventor： 李啟弘 ,  LI, CHII HORNG ,  陳柏年 ,  CHEN, PO NIEN ,  費中豪 ,  FEI, CHUNG HAU ,  陳建良 ,  CHEN, CHIEN LIANG ,  楊文誌 ,  YANG, WEN CHIH ,  莊學理 ,  CHUANG, HARRY

IPC: H01L21/31 ,  H01L21/8238 ,  H01L27/04

CPC classification number: H01L27/0629