公开(公告)号：TW201417230A

公开(公告)日：2014-05-01

申请号：TW102133798

申请日：2013-09-18

申请人： 台灣積體電路製造股份有限公司 ,  TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.

发明人： 雷弋昜 ,  LEI, YI YANG ,  葉斯彧 ,  YEH, SZU YU ,  陳煜仁 ,  CHEN, YU REN ,  郭宏瑞 ,  KUO, HUNG JUI ,  劉重希 ,  LIU, CHUNG SHI

IPC分类号： H01L23/485

CPC分类号： H01L24/13 ,  H01L23/3128 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/11 ,  H01L24/16 ,  H01L24/32 ,  H01L24/73 ,  H01L24/81 ,  H01L2224/0346 ,  H01L2224/03462 ,  H01L2224/0361 ,  H01L2224/03622 ,  H01L2224/03912 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05568 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/05582 ,  H01L2224/05583 ,  H01L2224/05624 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/05655 ,  H01L2224/05666 ,  H01L2224/05681 ,  H01L2224/1147 ,  H01L2224/11622 ,  H01L2224/13007 ,  H01L2224/13023 ,  H01L2224/13082 ,  H01L2224/13111 ,  H01L2224/13116 ,  H01L2224/13139 ,  H01L2224/13144 ,  H01L2224/13147 ,  H01L2224/13155 ,  H01L2224/13562 ,  H01L2224/13611 ,  H01L2224/13647 ,  H01L2224/13655 ,  H01L2224/13687 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/81805 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/01007 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2224/05552

摘要： 本發明提供一種半導體元件與其製造方法。半導體元件之製造方法包括：形成複數個接觸墊於一基板之上；形成一絕緣材料於該些接觸墊及該基板之上；圖案化該絕緣材料，以形成一開口於每一個該些接觸墊之上；清潔該些接觸墊；以及形成一凸塊下方金屬化(UBM)結構於該些接觸墊及部份的該絕緣材料之上，其中清潔該些接觸墊，以凹陷化每一個該些接觸墊的一頂部表面。

简体摘要： 本发明提供一种半导体组件与其制造方法。半导体组件之制造方法包括：形成复数个接触垫于一基板之上；形成一绝缘材料于该些接触垫及该基板之上；图案化该绝缘材料，以形成一开口于每一个该些接触垫之上；清洁该些接触垫；以及形成一凸块下方金属化(UBM)结构于该些接触垫及部份的该绝缘材料之上，其中清洁该些接触垫，以凹陷化每一个该些接触垫的一顶部表面。

公开(公告)号：TWI524485B

公开(公告)日：2016-03-01

申请号：TW102133798

申请日：2013-09-18

申请人： 台灣積體電路製造股份有限公司 ,  TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.

发明人： 雷弋昜 ,  LEI, YI YANG ,  葉斯彧 ,  YEH, SZU YU ,  陳煜仁 ,  CHEN, YU REN ,  郭宏瑞 ,  KUO, HUNG JUI ,  劉重希 ,  LIU, CHUNG SHI

IPC分类号： H01L23/485

CPC分类号： H01L24/13 ,  H01L23/3128 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/11 ,  H01L24/16 ,  H01L24/32 ,  H01L24/73 ,  H01L24/81 ,  H01L2224/0346 ,  H01L2224/03462 ,  H01L2224/0361 ,  H01L2224/03622 ,  H01L2224/03912 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05568 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/05582 ,  H01L2224/05583 ,  H01L2224/05624 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/05655 ,  H01L2224/05666 ,  H01L2224/05681 ,  H01L2224/1147 ,  H01L2224/11622 ,  H01L2224/13007 ,  H01L2224/13023 ,  H01L2224/13082 ,  H01L2224/13111 ,  H01L2224/13116 ,  H01L2224/13139 ,  H01L2224/13144 ,  H01L2224/13147 ,  H01L2224/13155 ,  H01L2224/13562 ,  H01L2224/13611 ,  H01L2224/13647 ,  H01L2224/13655 ,  H01L2224/13687 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/81805 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/01007 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2224/05552