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公开(公告)号：TWI701085B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：TW105110914
申请日：2016-04-07
Applicant: 德商蘇士微科技印刷術股份有限公司 , SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH
Inventor： 費雪 凱琴 , FISCHER, KATRIN , 帕利 弗洛里安 , PALITSCHKA, FLORIAN , 索思沃斯 達倫 , SOUTHWORTH, DARREN ROBERT , 惠特尼 威廉 , WHITNEY, WILLIAM
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公开(公告)号：TW201707802A
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：TW105110914
申请日：2016-04-07
Applicant: 蘇士微科技印刷術股份有限公司 , SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH
Inventor： 費雪 凱琴 , FISCHER, KATRIN , 帕利 弗洛里安 , PALITSCHKA, FLORIAN , 索思沃斯 達倫 , SOUTHWORTH, DARREN ROBERT , 惠特尼 威廉 , WHITNEY, WILLIAM
CPC classification number: H01L21/76831 , H01L21/02118 , H01L21/02282 , H01L21/02307 , H01L21/02315 , H01L21/6715 , H01L21/76898
Abstract: 本發明關於塗佈設有通路的基板。在本文中，問題發生，從而塗料劑包圍通路中的空氣。這對於表面的平面性(planarity)而言為不利的。為了解決此問題，本發明提供了一種用於塗佈設有通路的基板的方法，其中，以下的步驟被執行：調節基板；以及以電絕緣材料塗佈基板，使得通路被完全地填滿。
Abstract in simplified Chinese: 本发明关于涂布设有通路的基板。在本文中，问题发生，从而涂料剂包围通路中的空气。这对于表面的平面性(planarity)而言为不利的。为了解决此问题，本发明提供了一种用于涂布设有通路的基板的方法，其中，以下的步骤被运行：调节基板；以及以电绝缘材料涂布基板，使得通路被完全地填满。
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公开(公告)号：TW201626436A
公开(公告)日：2016-07-16
申请号：TW104130969
申请日：2015-09-18
Applicant: 蘇士微科技印刷術股份有限公司 , SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH
Inventor： 費雪 凱琴 , FISCHER, KATRIN , 帕利 弗洛里安 , PALITSCHKA, FLORIAN , 普雷頓 喬韓斯 , PLATEN, JOHANNES , 金子賢 , KANEKO, KENTO
IPC: H01L21/027 , H01L21/67
CPC classification number: B05D3/0453 , B05D3/0486 , G03F7/16
Abstract: 本發明關於一種用於以塗漆塗佈基板(26)的方法，其包含下列的步驟：- 將塗漆均勻地施加到基板(26)，- 降低被施加到基板(26)的塗漆(30)的溶劑比例，- 使被塗佈的基板(26)暴露在溶劑氣氛。 本發明亦關於用於使塗漆層平坦化的裝置。
Abstract in simplified Chinese: 本发明关于一种用于以涂漆涂布基板(26)的方法，其包含下列的步骤：- 将涂漆均匀地施加到基板(26)，- 降低被施加到基板(26)的涂漆(30)的溶剂比例，- 使被涂布的基板(26)暴露在溶剂气氛。 本发明亦关于用于使涂漆层平坦化的设备。
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公开(公告)号：TW201622823A
公开(公告)日：2016-07-01
申请号：TW104130970
申请日：2015-09-18
Applicant: 蘇士微科技印刷術股份有限公司 , SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH
Inventor： 費雪 凱琴 , FISCHER, KATRIN , 帕利 弗洛里安 , PALITSCHKA, FLORIAN , 普雷頓 喬韓斯 , PLATEN, JOHANNES , 金子賢 , KANEKO, KENTO
Abstract: 本發明關於一種用於以塗漆塗佈基板(16)的方法，其包含下列的步驟：- 將塗漆噴塗到基板(16)上，- 接著，以溶劑噴塗被施加到基板(16)上的塗漆。 本發明亦關於用於將基板塗漆的塗佈裝置。
Abstract in simplified Chinese: 本发明关于一种用于以涂漆涂布基板(16)的方法，其包含下列的步骤：- 将涂漆喷涂到基板(16)上，- 接着，以溶剂喷涂被施加到基板(16)上的涂漆。 本发明亦关于用于将基板涂漆的涂布设备。
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