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公开(公告)号：TWI643286B
公开(公告)日：2018-12-01
申请号：TW104124225
申请日：2015-07-27
申请人： 日商愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人： 藤長徹志 , FUJINAGA, TETSUSHI , 井堀敦仁 , IHORI, ATSUHITO , 松本昌弘 , MATSUMOTO, MASAHIRO , 谷典明 , TANI, NORIAKI , 岩井治憲 , IWAI, HARUNORI
IPC分类号： H01L21/677 , C23C16/34
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公开(公告)号：TW201617467A
公开(公告)日：2016-05-16
申请号：TW104124223
申请日：2015-07-27
申请人： 愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人： 藤長徹志 , FUJINAGA, TETSUSHI , 井堀敦仁 , IHORI, ATSUHITO , 松本昌弘 , MATSUMOTO, MASAHIRO , 谷典明 , TANI, NORIAKI , 岩井治憲 , IWAI, HARUNORI
CPC分类号： C23C14/34 , C23C14/35 , C23C14/50 , C23C14/541 , H01J37/3244 , H01J37/32724 , H01J37/3411
摘要： 本發明之基板處理裝置(10)具備：電漿生成部，其係在配置基板(1)之電漿生成空間中生成處理氣體的電漿；冷卻部(20)，其係對基板經由冷卻空間(55)而相對，且具有在冷卻空間供給處理氣體之供給口(26)；處理氣體供給部(30)，其係對冷卻部(20)供給處理氣體；及連通部(56)，其係連通冷卻空間(55)與電漿生成空間，而用於將供給至冷卻空間之處理氣體供給至電漿生成空間。
简体摘要： 本发明之基板处理设备(10)具备：等离子生成部，其系在配置基板(1)之等离子生成空间中生成处理气体的等离子；冷却部(20)，其系对基板经由冷却空间(55)而相对，且具有在冷却空间供给处理气体之供给口(26)；处理气体供给部(30)，其系对冷却部(20)供给处理气体；及连通部(56)，其系连通冷却空间(55)与等离子生成空间，而用于将供给至冷却空间之处理气体供给至等离子生成空间。
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公开(公告)号：TWI394856B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：TW094118780
申请日：2005-06-07
申请人： 愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人： 太田淳 , OTA, ATSUSHI , 田口信一郎 , TAGUCHI, SHINICHIRO , 杉浦功 , SUGIURA, ISAO , 谷典明 , TANI, NORIAKI , 新井真 , ARAI, MAKOTO , 清田淳也 , KIYOTA, JUNYA
IPC分类号： C23C14/35
CPC分类号： H01J37/3408 , C23C14/352
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公开(公告)号：TWI417768B
公开(公告)日：2013-12-01
申请号：TW097148529
申请日：2008-12-12
申请人： 愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人： 高橋明久 , TAKAHASHI, HIROHISA , 石橋曉 , ISHIBASHI, SATORU , 谷典明 , TANI, NORIAKI , 浮島禎之 , UKISHIMA, SADAYUKI , 高澤悟 , TAKASAWA, SATORU , 中村久三 , NAKAMURA, KYUZO , 山本治彥 , YAMAMOTO, HARUHIKO
IPC分类号： G06F3/041
CPC分类号： G06F3/045
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公开(公告)号：TWI647599B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：TW104113765
申请日：2015-04-29
申请人： 日商愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人： 原田学 , HARADA, MANABU , 柳坪秀典 , YANAGITSUBO, HIDENORI , 井堀敦仁 , IHORI, ATSUHITO , 鈴木寿弘 , SUZUKI, TOSHIHIRO , 松本昌弘 , MATSUMOTO, MASAHIRO , 谷典明 , TANI, NORIAKI , 久保昌司 , KUBO, MASASHI
IPC分类号： G06F3/041
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公开(公告)号：TWI485507B
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：TW099130318
申请日：2010-09-08
申请人： 愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人： 谷典明 , TANI, NORIAKI , 中村久三 , NAKAMURA, KYUZO , 清田淳也 , KIYOTA, JUNYA , 鈴木壽弘 , SUZUKI, TOSHIHIRO , 三村壽文 , MIMURA, TOSHIFUMI
IPC分类号： G03F1/26 , H01L21/027
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公开(公告)号：TWI430396B
公开(公告)日：2014-03-11
申请号：TW096150895
申请日：2007-12-28
申请人： 愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人： 高澤悟 , TAKASAWA, SATORU , 武井應樹 , TAKEI, MASAKI , 高橋明久 , TAKAHASHI, HIROHISA , 片桐弘明 , KATAGIRI, HIROAKI , 浮島禎之 , UKISHIMA, SADAYUKI , 谷典明 , TANI, NORIAKI , 石橋曉 , ISHIBASHI, SATORU , 增田忠 , MASUDA, TADASHI
IPC分类号： H01L21/768 , H01L21/3205
CPC分类号： H01L23/53238 , H01L21/2855 , H01L23/53233 , H01L27/124 , H01L2924/0002 , H05K1/0306 , H05K3/16 , H05K3/388 , H01L2924/00
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公开(公告)号：TWI390059B
公开(公告)日：2013-03-21
申请号：TW096129731
申请日：2007-08-10
申请人： 愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人： 高澤悟 , TAKASAWA, SATORU , 武井應樹 , TAKEI, MASAKI , 高橋明久 , TAKAHASHI, HIROHISA , 片桐弘明 , KATAGIRI, HIROAKI , 浮島禎之 , UKISHIMA, SADAYUKI , 谷典明 , TANI, NORIAKI , 石橋曉 , ISHIBASHI, SATORU , 增田忠 , MASUDA, TADASHI
IPC分类号： C23C14/16 , H01L21/3205 , H01L29/786
CPC分类号： H01L29/41733 , C23C14/185 , C23C14/3407 , C23C14/5806 , H01L21/2855 , H01L21/76843 , H01L21/76877 , H01L23/53238 , H01L27/124 , H01L29/42384 , H01L29/458 , H01L29/4908 , H01L2924/0002 , H01L2924/12044 , H01L2924/00
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公开(公告)号：TWI384086B
公开(公告)日：2013-02-01
申请号：TW094107911
申请日：2005-03-15
申请人： 愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人： 鈴木壽弘 , SUZUKI, TOSHIHIRO , 森中泰三 , MORINAKA, TAIZO , 松本昌弘 , MATSUMOTO, MASAHIRO , 谷典明 , TANI, NORIAKI
IPC分类号： C23C14/34 , C23C14/24 , C23C16/511
CPC分类号： H01J37/32458 , C23C14/0078 , C23C14/505
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公开(公告)号：TWI619826B
公开(公告)日：2018-04-01
申请号：TW104124223
申请日：2015-07-27
申请人： 愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人： 藤長徹志 , FUJINAGA, TETSUSHI , 井堀敦仁 , IHORI, ATSUHITO , 松本昌弘 , MATSUMOTO, MASAHIRO , 谷典明 , TANI, NORIAKI , 岩井治憲 , IWAI, HARUNORI
CPC分类号： C23C14/34 , C23C14/35 , C23C14/50 , C23C14/541 , H01J37/3244 , H01J37/32724 , H01J37/3411
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