公开(公告)号：TWI404835B

公开(公告)日：2013-08-11

申请号：TW098108444

申请日：2009-03-16

申请人： 松田產業股份有限公司 ,  MATSUDA SANGYO CO., LTD.

发明人： 高柳守 ,  TAKAYANAGI, MAMORU ,  小田和弘 ,  ODA, KAZUHIRO ,  道野貴由 ,  MICHINO, TAKAYOSHI ,  鈴木岳彥 ,  SUZUKI, TAKEHIKO

IPC分类号： C25D5/12 ,  H01L23/488

CPC分类号： H01L23/4924 ,  C25D3/48 ,  C25D3/50 ,  C25D3/562 ,  C25D5/12 ,  C25D7/00 ,  H01L23/49582 ,  H01L24/48 ,  H01L2224/48245 ,  H01L2224/48247 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01322 ,  H05K3/244 ,  H01L2224/45099 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2924/207