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    工件的選擇性區域植入
    1.
    发明专利
    工件的選擇性區域植入 审中-公开
    工件的选择性区域植入

    公开(公告)号：TW201724207A

    公开(公告)日：2017-07-01

    申请号：TW105136697

    申请日：2016-11-10

    申请人： 瓦里安半導體設備公司 ,  VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.

    发明人： 泰伊 喬丹B. ,  TYE, JORDAN B. ,  亞瑪多 馬克 R. ,  AMATO, MARK R.

    IPC分类号： H01L21/265 ,  H01J37/317

    CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J2237/31703 ,  H01L21/26506 ,  H01L21/68764

    摘要： 一種對工件的外側部分進行選擇性植入的裝置及方法。遮罩安置於離子束與工件之間，遮罩具有供離子束穿過的開孔。開孔可具有凹的第一邊緣，凹的第一邊緣是使用與工件的外側部分的內徑半徑相等的半徑形成。此外，遮罩固定至多軸機械手臂，使得平臺在裝載/卸載位置與工作位置之間自由旋轉而不會使遮罩移動。在某些實施例中，遮罩固定至多軸機械手臂的基座且具有第一部分及第二部分，第一部分從基座垂直地向上延伸並具有開孔，第二部分被造型成不干涉平臺的旋轉。在其他實施例中，遮罩可固定至多軸機械手臂的手臂。

    简体摘要： 一种对工件的外侧部分进行选择性植入的设备及方法。遮罩安置于离子束与工件之间，遮罩具有供离子束穿过的开孔。开孔可具有凹的第一边缘，凹的第一边缘是使用与工件的外侧部分的内径半径相等的半径形成。此外，遮罩固定至多轴机械手臂，使得平台在装载/卸载位置与工作位置之间自由旋转而不会使遮罩移动。在某些实施例中，遮罩固定至多轴机械手臂的基座且具有第一部分及第二部分，第一部分从基座垂直地向上延伸并具有开孔，第二部分被造型成不干涉平台的旋转。在其他实施例中，遮罩可固定至多轴机械手臂的手臂。

    具有內嵌流體導管的半導體製造裝置及形成所述導管的方法
    2.
    发明专利
    具有內嵌流體導管的半導體製造裝置及形成所述導管的方法 审中-公开
    具有内嵌流体导管的半导体制造设备及形成所述导管的方法

    公开(公告)号：TW201707818A

    公开(公告)日：2017-03-01

    申请号：TW105110678

    申请日：2016-04-06

    申请人： 瓦里安半導體設備公司 ,  VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.

    发明人： 阿比沙斯 約書亞 M. ,  ABESHAUS, JOSHUA M. ,  泰伊 喬丹 B. ,  TYE, JORDAN B.

    IPC分类号： B22F3/105 ,  B29C67/00 ,  H01J37/317

    CPC分类号： B22F3/1055 ,  B22F2005/005 ,  B29C64/00 ,  B33Y10/00 ,  B33Y80/00 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/0041 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/2001 ,  Y02P10/295

    摘要： 本發明提供使用增材製造製程（例如，3D列印）形成內嵌於半導體製造裝置（例如，離子植入機）的元件內的導管的方式，其中所述導管被配置成將流體遞送至整個元件以對其提供加熱、冷卻及氣體分配。在一種方式中，導管包括形成於所述導管的內表面上的一組凸起表面特徵，以改變導管內的流體流動特性。在另一方式中，導管可以螺旋構形形成。在另一方式中，導管形成有多邊形橫截面。在另一方式中，離子植入機的組件包括以下中的至少一者：離子源、淹沒式電漿槍、冷卻板、台板及/或弧室基座。

    简体摘要： 本发明提供使用增材制造制程（例如，3D打印）形成内嵌于半导体制造设备（例如，离子植入机）的组件内的导管的方式，其中所述导管被配置成将流体递送至整个组件以对其提供加热、冷却及气体分配。在一种方式中，导管包括形成于所述导管的内表面上的一组凸起表面特征，以改变导管内的流体流动特性。在另一方式中，导管可以螺旋构形形成。在另一方式中，导管形成有多边形横截面。在另一方式中，离子植入机的组件包括以下中的至少一者：离子源、淹没式等离子枪、冷却板、台板及/或弧室基座。