公开(公告)号：TWI653698B

公开(公告)日：2019-03-11

申请号：TW104110213

申请日：2015-03-30

Applicant: 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

Inventor： 博爵 湯瑪士 ,  BERGER, THOMAS ,  林登博克 雷波 ,  LINDENBERG, RALPH

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/3205

公开(公告)号：TWI652361B

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：TW104118849

申请日：2015-06-11

Applicant: 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

Inventor： 勞 賽門 ,  LAU, SIMON ,  林登博克 雷波 ,  LINDENBERG, RALPH ,  哈尼卡 麥卡司 ,  HANIKA, MARKUS

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/06

公开(公告)号：TW201910545A

公开(公告)日：2019-03-16

申请号：TW107113653

申请日：2018-04-23

Applicant: 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

Inventor： 懷特 約翰 ,  WHITE, JOHN M. ,  坎 林恩 ,  CAN, LINH ,  林登博克 雷波 ,  LINDENBERG, RALPH

IPC: C23C14/56 ,  C23C14/50 ,  C23C16/458 ,  C23C16/54 ,  H01L21/677

Abstract: 敘述一種用於處理基板的設備(100)。該設備包含一第一真空處理裝置(101)、一第二真空處理裝置(102)、和一支撐結構(103)，該支撐結構(103)配置在第一真空處理裝置(101)和第二真空處理裝置(102)之間的一大氣空間(108)中。

Abstract in simplified Chinese: 叙述一种用于处理基板的设备(100)。该设备包含一第一真空处理设备(101)、一第二真空处理设备(102)、和一支撑结构(103)，该支撑结构(103)配置在第一真空处理设备(101)和第二真空处理设备(102)之间的一大气空间(108)中。

公开(公告)号：TWI687361B

公开(公告)日：2020-03-11

申请号：TW107138243

申请日：2018-10-29

Applicant: 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

Inventor： 埃曼 克里斯蒂安沃爾夫岡 ,  EHMANN, CHRISTIAN WOLFGANG ,  林登博克 雷波 ,  LINDENBERG, RALPH

IPC: B65G49/07 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677

公开(公告)号：TW201920727A

公开(公告)日：2019-06-01

申请号：TW107125890

申请日：2018-07-26

Applicant: 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

Inventor： 黑蒙 奧利佛 ,  HEIMEL, OLIVER ,  埃曼 克里斯蒂安沃爾夫岡 ,  EHMANN, CHRISTIAN WOLFGANG ,  林登博克 雷波 ,  LINDENBERG, RALPH

IPC: C23C14/50 ,  C23C14/56 ,  H01L21/677 ,  H01L21/687

Abstract: 提供一用於在一真空腔(101)內運輸一載體(10)的設備(100)，設備(100)包含一第一運輸系統(112)裝配以於一運輸方向(T)上沿著一第一運輸路徑(T1)非接觸地運輸載體，及一具有一載體固持部(151)裝配以機械性地接觸載體(10)用以使載體於一路徑切換方向(S)上移動遠離第一運輸路徑(T1)的路徑切換組件(150)。進一步地，描述一包含一路徑切換組件的系統，還有一用於在真空腔內運輸載體的方法。

Abstract in simplified Chinese: 提供一用于在一真空腔(101)内运输一载体(10)的设备(100)，设备(100)包含一第一运输系统(112)装配以于一运输方向(T)上沿着一第一运输路径(T1)非接触地运输载体，及一具有一载体固持部(151)装配以机械性地接触载体(10)用以使载体于一路径切换方向(S)上移动远离第一运输路径(T1)的路径切换组件(150)。进一步地，描述一包含一路径切换组件的系统，还有一用于在真空腔内运输载体的方法。

公开(公告)号：TW201828406A

公开(公告)日：2018-08-01

申请号：TW106141693

申请日：2017-11-29

Applicant: 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

Inventor： 勞 賽門 ,  LAU, SIMON ,  林登博克 雷波 ,  LINDENBERG, RALPH ,  厄爾曼 奧利佛 ,  ULLMANN, OLIVER ,  壬格 克勞斯 ,  ZENGEL, CLAUS ,  梧絲特 海雷德 ,  WURSTER, HARALD

IPC: H01L21/687

Abstract: 一種配置成附接到用於固持基板的載具的固持件。固持件包括配置成面對材料源或遮罩的一前部以及配置成背離材料源的一後部，其中後部包括具有傾斜表面的一斜面部分以及用於接收設置在前部和後部之間的基板的一凹槽。

Abstract in simplified Chinese: 一种配置成附接到用于固持基板的载具的固持件。固持件包括配置成面对材料源或遮罩的一前部以及配置成背离材料源的一后部，其中后部包括具有倾斜表面的一斜面部分以及用于接收设置在前部和后部之间的基板的一凹槽。

公开(公告)号：TW201921586A

公开(公告)日：2019-06-01

申请号：TW107126003

申请日：2018-07-27

Applicant: 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

Inventor： 埃曼 克里斯蒂安沃爾夫岡 ,  EHMANN, CHRISTIAN WOLFGANG ,  黑蒙 奧利佛 ,  HEIMEL, OLIVER ,  林登博克 雷波 ,  LINDENBERG, RALPH ,  舒勒 克勞斯 ,  SCHUHLER, KLAUS

IPC: H01L21/687

Abstract: 一種用以在一真空腔室中升舉或降低一載體(10)之組件(100)係提供。組件(100)包括一載體支撐件(20)，於一向上方向中或一向下方向中為可移動的；以及一支承裝置(30)，裝配以在載體之向上或向下移動期間非接觸支承載體之一上部。再者，一種用於在一真空腔室中之一載體的傳送之設備係說明，此設備包括用以一載體之升舉或下降的一組件。再者，一種用以在一真空腔室中升舉或降低一載體之方法係說明。

Abstract in simplified Chinese: 一种用以在一真空腔室中升举或降低一载体(10)之组件(100)系提供。组件(100)包括一载体支撑件(20)，于一向上方向中或一向下方向中为可移动的；以及一支承设备(30)，装配以在载体之向上或向下移动期间非接触支承载体之一上部。再者，一种用于在一真空腔室中之一载体的发送之设备系说明，此设备包括用以一载体之升举或下降的一组件。再者，一种用以在一真空腔室中升举或降低一载体之方法系说明。

公开(公告)号：TW201841294A

公开(公告)日：2018-11-16

申请号：TW107109330

申请日：2018-03-19

Applicant: 美商應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

Inventor： 懷特 約翰 ,  WHITE, JOHN M. ,  文森特 約瑟夫 ,  VINCENT, JOSEPH ,  林登博克 雷波 ,  LINDENBERG, RALPH

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/203

Abstract: 一種用以於一真空處理系統(100)中裝載一基板之設備(140)係說明。設備(140)包括一第一支承件(142)，用以支承一基板(10)；以及一第二支承件(144)，用以支承基板(10)，第二支承件與第一支承件(142)垂直地堆疊。

Abstract in simplified Chinese: 一种用以于一真空处理系统(100)中装载一基板之设备(140)系说明。设备(140)包括一第一支承件(142)，用以支承一基板(10)；以及一第二支承件(144)，用以支承基板(10)，第二支承件与第一支承件(142)垂直地堆栈。

公开(公告)号：TWI595586B

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：TW102131409

申请日：2013-08-30

Applicant: 應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

Inventor： 林登博克 雷波 ,  LINDENBERG, RALPH

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67748 ,  B65G13/00 ,  B65G47/52 ,  B65G49/063 ,  B65G49/067 ,  B65G2201/02 ,  C23C14/50 ,  C23C14/568 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67751 ,  H01L21/6776

公开(公告)号：TWI531020B

公开(公告)日：2016-04-21

申请号：TW098118820

申请日：2009-06-05

Applicant: 應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

Inventor： 克帕羅爾肯 ,  KOPARAL, ERKAN ,  林登堡羅夫 ,  LINDENBERG, RALPH ,  柏格湯瑪士 ,  BERGER, THOMAS

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07

CPC classification number: C23C14/568