公开(公告)号：TWI435770B

公开(公告)日：2014-05-01

申请号：TW097113599

申请日：2008-04-15

申请人： 蘭姆研究公司 ,  LAM RESEARCH CORPORATION

发明人： 威廉 尤 ,  THIE, WILLIAM ,  約翰M. 柏依 ,  BOYD, JOHN M. ,  佛禮茲C. 瑞德克 ,  REDEKER, FRITZ C. ,  葉斯帝 多迪 ,  DORDI, YEZDI ,  約翰 帕克斯 ,  PARKS, JOHN ,  第瑞區若巴里 阿瑞那吉拉 ,  ARUNAGIRI, TIRUCHIRAPALLI ,  亞力山得 歐薩斯 ,  OWCZARZ, ALEKSANDER ,  陶得 巴里斯基 ,  BALISKY, TODD ,  克林特 湯瑪斯 ,  THOMAS, CLINT ,  傑可伯 威利 ,  WYLIE, JACOB ,  亞倫M. 休普 ,  SCHOEPP, ALAN M.

IPC分类号： B05D1/18 ,  B05C13/00

CPC分类号： H01L21/02104 ,  C23C18/1619 ,  H01L21/67005 ,  H01L21/6715

公开(公告)号：TWI457171B

公开(公告)日：2014-10-21

申请号：TW097113603

申请日：2008-04-15

申请人： 蘭姆研究公司 ,  LAM RESEARCH CORPORATION

发明人： 威廉 尤 ,  THIE, WILLIAM ,  約翰M. 柏依 ,  BOYD, JOHN M. ,  佛禮茲C. 瑞德克 ,  REDEKER, FRITZ C. ,  葉斯帝 多迪 ,  DORDI, YEZDI ,  約翰 帕克斯 ,  PARKS, JOHN ,  第瑞區若巴里 阿瑞那吉拉 ,  ARUNAGIRI, TIRUCHIRAPALLI ,  亞力山得 歐薩斯 ,  OWCZARZ, ALEKSANDER ,  陶得 巴里斯基 ,  BALISKY, TODD ,  克林特 湯瑪斯 ,  THOMAS, CLINT ,  傑可伯 威利 ,  WYLIE, JACOB ,  亞倫M. 休普 ,  SCHOEPP, ALAN M.

IPC分类号： B01F5/00 ,  H01L21/3205

CPC分类号： C23C18/1628 ,  Y10T137/87652

公开(公告)号：TWI445848B

公开(公告)日：2014-07-21

申请号：TW097115555

申请日：2008-04-28

申请人： 蘭姆研究公司 ,  LAM RESEARCH CORPORATION

发明人： 艾瑞克M 弗利爾 ,  FREER, ERIK M. ,  約翰M 德賴瑞厄斯 ,  DE LARIOS, JOHN M. ,  麥可 瑞夫肯 ,  RAVKIN, MICHAEL ,  密克海爾 克羅立克 ,  KOROLIK, MIKHAIL ,  佛禮茲C 瑞德克 ,  REDEKER, FRITZ C.

IPC分类号： C25F3/30 ,  B08B3/00 ,  B08B3/10 ,  H01L21/30

CPC分类号： H01L21/02057 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/67034 ,  H01L21/67057 ,  H01L21/67751

公开(公告)号：TWI462178B

公开(公告)日：2014-11-21

申请号：TW096131991

申请日：2007-08-29

申请人： 蘭姆研究公司 ,  LAM RESEARCH CORPORATION

发明人： 普文 那拉 ,  NALLA, PRAVEEN ,  威廉 尤 ,  THIE, WILLIAM ,  約翰 柏依 ,  BOYD, JOHN ,  第瑞區若巴里 阿瑞那吉拉 ,  ARUNAGIRI, TIRUCHIRAPALLI ,  楊格蘇克 亞歷山得 優 ,  YOON, HYUNGSUK ALEXANDER ,  佛禮茲C 瑞德克 ,  REDEKER, FRITZ C. ,  葉斯帝 多迪 ,  DORDI, YEZDI

IPC分类号： H01L21/312 ,  H01L21/3205

CPC分类号： C23C16/45525 ,  C23C16/18 ,  H01L21/288 ,  H01L21/76843 ,  H01L21/76855 ,  H01L21/76856 ,  H01L21/76861

公开(公告)号：TWI453822B

公开(公告)日：2014-09-21

申请号：TW101121357

申请日：2007-08-29

申请人： 蘭姆研究公司 ,  LAM RESEARCH CORPORATION

发明人： 那拉 普文 ,  NALLA, PRAVEEN ,  尤 威廉 ,  THIE, WILLIAM ,  柏依 約翰 ,  BOYD, JOHN ,  阿瑞那吉拉 第瑞區若巴里 ,  ARUNAGIRI, TIRUCHIRAPALLI ,  優 楊格蘇克 亞歷山得 ,  YOON, HYUNGSUK ALEXANDER ,  瑞德克 佛禮茲C ,  REDEKER, FRITZ C. ,  多迪 葉斯帝 ,  DORDI, YEZDI

IPC分类号： H01L21/312 ,  H01L21/3205

CPC分类号： C23C16/45525 ,  C23C16/18 ,  H01L21/288 ,  H01L21/76843 ,  H01L21/76855 ,  H01L21/76856 ,  H01L21/76861

公开(公告)号：TWI393186B

公开(公告)日：2013-04-11

申请号：TW096131990

申请日：2007-08-29

申请人： 蘭姆研究公司 ,  LAM RESEARCH CORPORATION

发明人： 葉斯帝 多迪 ,  DORDI, YEZDI ,  佛禮茲C 瑞德克 ,  REDEKER, FRITZ C. ,  約翰 柏依 ,  BOYD, JOHN ,  威廉 尤 ,  THIE, WILLIAM ,  第瑞區若巴里 阿瑞那吉拉 ,  ARUNAGIRI, TIRUCHIRAPALLI ,  亞瑟M 豪瓦德 ,  HOWALD, ARTHUR M. ,  楊格蘇克 亞歷山得 優 ,  YOON, HYUNGSUK ALEXANDER ,  喬漢 維湯曼 ,  VERTOMMEN, JOHAN

IPC分类号： H01L21/3205 ,  H01L21/67 ,  B65G49/07

公开(公告)号：TWI584356B

公开(公告)日：2017-05-21

申请号：TW097113592

申请日：2008-04-15

申请人： 蘭姆研究公司 ,  LAM RESEARCH CORPORATION

发明人： 威廉 尤 ,  THIE, WILLIAM ,  約翰M. 柏依 ,  BOYD, JOHN M. ,  佛禮茲C. 瑞德克 ,  REDEKER, FRITZ C. ,  葉斯帝 多迪 ,  DORDI, YEZDI ,  約翰 帕克斯 ,  PARKS, JOHN ,  第瑞區若巴里 阿瑞那吉拉 ,  ARUNAGIRI, TIRUCHIRAPALLI ,  亞力山得 歐薩斯 ,  OWCZARZ, ALEKSANDER ,  陶得 巴里斯基 ,  BALISKY, TODD ,  克林特 湯瑪斯 ,  THOMAS, CLINT ,  傑可伯 威利 ,  WYLIE, JACOB ,  亞倫M. 休普 ,  SCHOEPP, ALAN M.

IPC分类号： H01L21/28 ,  B05C11/11 ,  B05C13/00

CPC分类号： H01L21/288 ,  C23C18/1619 ,  C23C18/1632 ,  H01L21/76873

公开(公告)号：TWI447831B

公开(公告)日：2014-08-01

申请号：TW096131993

申请日：2007-08-29

申请人： 蘭姆研究公司 ,  LAM RESEARCH CORPORATION

发明人： 約翰 柏依 ,  BOYD, JOHN ,  葉斯帝 多迪 ,  DORDI, YEZDI ,  第瑞區若巴里 阿瑞那吉拉 ,  ARUNAGIRI, TIRUCHIRAPALLI ,  班傑明W 穆林 ,  MOORING, BENJAMIN W. ,  約翰 帕克斯 ,  PARKS, JOHN ,  威廉 尤 ,  THIE, WILLIAM ,  佛禮茲C 瑞德克 ,  REDEKER, FRITZ C. ,  亞瑟M 豪瓦德 ,  HOWALD, ARTHUR M. ,  亞倫 休普 ,  SCHOEPP, ALAN ,  大衛 韓克爾 ,  HEMKER, DAVID ,  卡爾 伍茲 ,  WOODS, CARL ,  尹央錫 ,  YOON, HYUNGSUK ALEXANDER ,  亞力山得 歐薩斯 ,  OWCZARZ, ALEKSANDER

IPC分类号： H01L21/67 ,  B65G49/07

CPC分类号： H01L21/67184 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67207 ,  H01L21/67745

公开(公告)号：TWI385276B

公开(公告)日：2013-02-11

申请号：TW096136256

申请日：2007-09-28

申请人： 蘭姆研究公司 ,  LAM RESEARCH CORPORATION

发明人： 威廉 尤 ,  THIE, WILLIAM ,  約翰M 柏依 ,  BOYD, JOHN M. ,  葉斯帝 多迪 ,  DORDI, YEZDI ,  佛禮茲C 瑞德克 ,  REDEKER, FRITZ C.

IPC分类号： C23C18/34 ,  C25D7/12

CPC分类号： C23C18/1617 ,  C23C18/163 ,  C23C18/1678 ,  H01L21/67092

公开(公告)号：TWI478281B

公开(公告)日：2015-03-21

申请号：TW096148103

申请日：2007-12-14

申请人： 藍姆研究公司 ,  LAM RESEARCH CORPORATION

发明人： 葉茲迪 多迪 ,  DORDI, YEZDI ,  約翰M 鮑伊德 ,  BOYD, JOHN M. ,  佛利茲C 瑞德克 ,  REDEKER, FRITZ C. ,  威廉 泰 ,  THIE, WILLIAM ,  堤魯奇拉帕利 阿魯那吉利 ,  ARUNAGIRI, TIRUCHIRAPALLI ,  亨錫 亞歷山大 尹 ,  YOON, HYUNGSUK ALEXANDER

IPC分类号： H01L21/768

CPC分类号： H01L23/53238 ,  H01L21/28562 ,  H01L21/76846 ,  H01L21/76856 ,  H01L21/76862 ,  H01L21/76873 ,  H01L21/76874 ,  H01L2221/1089 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00