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公开(公告)号:TWI690623B
公开(公告)日:2020-04-11
申请号:TW106114277
申请日:2017-04-28
发明人: 內海雅之 , UTSUMI, MASAYUKI , 山本久光 , YAMAMOTO, HISAMITSU , 星俊作 , HOSHI, SYUNSAKU , 水本純司 , MIZUMOTO, JUNJI
IPC分类号: C25D17/08 , H01L21/677
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公开(公告)号:TW202010880A
公开(公告)日:2020-03-16
申请号:TW108121464
申请日:2019-06-20
申请人: 日商法西利迪股份有限公司
发明人: 岸一之 , KISHI, KAZUYUKI , 三井秀雄 , MITSUI, HIDEO
摘要: 本發明係目的在於提供一種板狀工件夾合構件,該板狀工件夾合構件係可確實地懸吊固持板狀工件,且在從處理液拉上該板狀工件時,可有效地抑制該處理液在板狀工件形成滴下污染的不良。為了達成該目的,係懸吊固持浸漬於處理液之板狀工件的板狀工件,其採用以下的構成,包括:一對夾合片,係夾合該板狀工件;及液滴導引爪,係配設於該各夾合片的該板狀工件側;該液滴導引爪係具備折彎成U字形之2支以上的線條構件而成。
简体摘要: 本发明系目的在于提供一种板状工件夹合构件,该板状工件夹合构件系可确实地悬吊固持板状工件,且在从处理液拉上该板状工件时,可有效地抑制该处理液在板状工件形成滴下污染的不良。为了达成该目的,系悬吊固持浸渍于处理液之板状工件的板状工件,其采用以下的构成,包括:一对夹合片,系夹合该板状工件;及液滴导引爪,系配设于该各夹合片的该板状工件侧;该液滴导引爪系具备折弯成U字形之2支以上的线条构件而成。
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公开(公告)号:TW201814089A
公开(公告)日:2018-04-16
申请号:TW106114277
申请日:2017-04-28
申请人: 上村工業股份有限公司 , C. UYEMURA & CO., LTD.
发明人: 內海雅之 , UTSUMI, MASAYUKI , 山本久光 , YAMAMOTO, HISAMITSU , 星俊作 , HOSHI, SYUNSAKU , 水本純司 , MIZUMOTO, JUNJI
IPC分类号: C25D17/08 , H01L21/677
摘要: 本發明提供表面處理裝置,能夠恰到好處地進行直到基板上部的表面處理。通過吊架的夾緊件夾住基板的上端部而進行保持。在吊架所保持的基板的兩側設置有作為處理液放出部的管。在該管上以朝向斜上方放出處理液的方式設置有孔。所放出的處理液流過基板的表面而到達下部,通過泵來進行循環而再次從管放出。
简体摘要: 本发明提供表面处理设备,能够恰到好处地进行直到基板上部的表面处理。通过吊架的夹紧件夹住基板的上端部而进行保持。在吊架所保持的基板的两侧设置有作为处理液放出部的管。在该管上以朝向斜上方放出处理液的方式设置有孔。所放出的处理液流过基板的表面而到达下部,通过泵来进行循环而再次从管放出。
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公开(公告)号:TW201804030A
公开(公告)日:2018-02-01
申请号:TW105122709
申请日:2016-07-19
申请人: 蔡涵雲 , TSAI, HAN-YUN
发明人: 蔡涵雲 , TSAI, HAN-YUN
IPC分类号: C25D17/08
摘要: 本發明係提供一種線桿壓持式電鍍用掛架,其特點主要包括:一主架體以及組設於主架體至少一側的工件裝設架部;至少一嵌槽設於工件裝設架部至少一處,該嵌槽具朝上開口用以供電鍍工件所設凸柱插入;至少一壓持線桿,包括壓持端、定位端及彈性桿身,定位端定位於主架體,壓持端凸伸至工件裝設架部所在位置,壓持端使用上包括準備位置及壓制位置,所述準備位置位在嵌槽外部且低於嵌槽,該壓持端欲位移至壓制位置時,係將壓持端上抬並自開口處壓入嵌槽中,復利用彈性桿身之彈力將插入嵌槽中的電鍍工件所設凸柱加以壓制定位。
简体摘要: 本发明系提供一种线杆压持式电镀用挂架,其特点主要包括:一主架体以及组设于主架体至少一侧的工件装设架部;至少一嵌槽设于工件装设架部至少一处,该嵌槽具朝上开口用以供电镀工件所设凸柱插入;至少一压持线杆,包括压持端、定位端及弹性杆身,定位端定位于主架体,压持端凸伸至工件装设架部所在位置,压持端使用上包括准备位置及压制位置,所述准备位置位在嵌槽外部且低于嵌槽,该压持端欲位移至压制位置时,系将压持端上抬并自开口处压入嵌槽中,复利用弹性杆身之弹力将插入嵌槽中的电镀工件所设凸柱加以压制定位。
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公开(公告)号:TWI605158B
公开(公告)日:2017-11-11
申请号:TW105131816
申请日:2016-09-30
申请人: 德國艾托特克公司 , ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH
发明人: 溫諾 菲德納 , WIENER, FERDINAND , 摩爾連 菲利克斯 , MORLEIN, FELIX
CPC分类号: C25D17/008 , C25D5/08 , C25D7/00 , C25D17/00 , C25D17/005 , H05K3/241
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公开(公告)号:TW201728788A
公开(公告)日:2017-08-16
申请号:TW105139888
申请日:2016-12-02
申请人: 德國艾托特克公司 , ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH
发明人: 維恩豪 瑞 , WEINHOLD, RAY , 克貝基 維 , KIRBACH, UWE
IPC分类号: C25D5/00 , C25D5/08 , C25D7/12 , C25D17/00 , C25D17/08 , C25D17/12 , H01L21/288 , H01L21/3205
CPC分类号: C25D5/08 , C25D17/001 , C25D17/06
摘要: 本發明係關於一種使用陽極及電解質用於基板之電流金屬沉積的方法,其中將局部受限電解質流自複數個電解質噴嘴中之每一者引向待處理之基板表面的一部分,其中在沉積期間,在該基板與該電解質流之間進行相對移動,其特徵在於沿第一路徑進行第一移動,其中至少沿該第一路徑之一部分,沿第二路徑進行第二移動,其中該第一移動及該第二移動各自為該電解質流與該基板之間的相對移動。此外,本發明係關於一種基板固持器接收設備及電化學處理設備。
简体摘要: 本发明系关于一种使用阳极及电解质用于基板之电流金属沉积的方法,其中将局部受限电解质流自复数个电解质喷嘴中之每一者引向待处理之基板表面的一部分,其中在沉积期间,在该基板与该电解质流之间进行相对移动,其特征在于沿第一路径进行第一移动,其中至少沿该第一路径之一部分,沿第二路径进行第二移动,其中该第一移动及该第二移动各自为该电解质流与该基板之间的相对移动。此外,本发明系关于一种基板固持器接收设备及电化学处理设备。
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公开(公告)号:TWI586772B
公开(公告)日:2017-06-11
申请号:TW104123359
申请日:2015-07-20
发明人: 皮爾遜 特雷弗 , PEARSON, TREVOR , 赫德曼 羅德里克D , HERDMAN, RODERICK D. , 查帕內里 羅山V , CHAPANERI, ROSHAN V. , 西斯洛普 艾莉森 , HYSLOP, ALISON
CPC分类号: C25D17/08 , C09D181/00 , C23C18/1653 , C23C18/2086 , C23C18/22 , C23C18/30 , C25D5/34
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公开(公告)号:TW201713800A
公开(公告)日:2017-04-16
申请号:TW104132385
申请日:2015-10-01
IPC分类号: C25D17/08
摘要: 本發明係揭露一種電鍍用掛架,其包括透過精密加工機於金屬板件上,一體形成之一架體與複數夾持部,且各夾持部係匹配電鍍工件上之各插置片。其中,該架體係匹配電鍍工件延伸。該夾持部係自架體朝外延伸,具有一體形成之一連接段、兩夾臂、一插置槽與一剖槽。藉由插置槽提供電鍍工件之插置片插設定位,除適時矯正電鍍工件回復預設樣態外,並可預防電鍍過程中的熱變形,且併除習知夾具夾持的結構,避免夾具作用力扭曲電鍍工件等缺失。
简体摘要: 本发明系揭露一种电镀用挂架,其包括透过精密加工机于金属板件上,一体形成之一架体与复数夹持部,且各夹持部系匹配电镀工件上之各插置片。其中,该架体系匹配电镀工件延伸。该夹持部系自架体朝外延伸,具有一体形成之一连接段、两夹臂、一插置槽与一剖槽。借由插置槽提供电镀工件之插置片插设置位,除适时矫正电镀工件回复默认样态外,并可预防电镀过程中的热变形,且并除习知夹具夹持的结构,避免夹具作用力扭曲电镀工件等缺失。
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