公开(公告)号：US20120193878A1

公开(公告)日：2012-08-02

申请号：US13202329

申请日：2010-02-19

申请人： Shigemi Suzuki ,  Yoshiharu Ishimi ,  Hidekazu Motoya ,  Kiyoka Suzuki

发明人： Shigemi Suzuki ,  Yoshiharu Ishimi ,  Hidekazu Motoya ,  Kiyoka Suzuki

IPC分类号： B23B31/30 ,  B24C1/00

CPC分类号： H01L21/6838 ,  B65G49/061 ,  B65G2249/045 ,  C04B35/117 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3222 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3234 ,  C04B2235/3241 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3272 ,  C04B2235/3277 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/3481 ,  C04B2235/72 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/94 ,  C04B2235/945 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/963 ,  C04B2235/9661 ,  G03F7/707 ,  G03F7/70941 ,  G03F7/7095 ,  H01L21/6875 ,  Y10T279/11

摘要： In the present invention, a ceramic vacuum chuck 2 having an upper surface for adsorbing a substrate is formed from a colored ceramic sintered body comprising 55-75% by weight alumina (Al2O3), at least 3% by weight Si in terms of oxide (SiO2), at least 0.4% by weight Ca in terms of oxide (CaO), at least 0.4% by weight Mg in terms of oxide (MgO), coloring agent, and 1% or less of impurities. A plurality of pins 4 for supporting the substrate, and a rim 6 are formed on the upper surface by shot blasting using abrasive grains, and the whole of the upper surface is shot peened using spherical particles.

摘要翻译： 在本发明中，具有用于吸附基板的上表面的陶瓷真空吸盘2由着色陶瓷烧结体形成，所述着色陶瓷烧结体包含55-75重量％的氧化铝（Al 2 O 3），至少3重量％的Si（以氧化物计） SiO 2），以氧化物（CaO）计为至少0.4重量％的Ca，以氧化物（MgO）计为至少0.4重量％的Mg，着色剂和1质量％以下的杂质。 用于支撑基板的多个销4和边缘6通过使用磨料颗粒的喷丸形成在上表面上，并且整个上表面使用球形颗粒喷丸硬化。

公开(公告)号：US08899564B2

公开(公告)日：2014-12-02

申请号：US13202329

申请日：2010-02-19

申请人： Yoshiharu Ishimi ,  Hidekazu Motoya ,  Kiyoka Suzuki

发明人： Shigemi Suzuki ,  Yoshiharu Ishimi ,  Hidekazu Motoya

IPC分类号： B25B11/00 ,  H01L21/683 ,  B65G49/06 ,  C04B35/117 ,  G03F7/20 ,  H01L21/687

CPC分类号： H01L21/6838 ,  B65G49/061 ,  B65G2249/045 ,  C04B35/117 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3222 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3234 ,  C04B2235/3241 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3272 ,  C04B2235/3277 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/3481 ,  C04B2235/72 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/94 ,  C04B2235/945 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/963 ,  C04B2235/9661 ,  G03F7/707 ,  G03F7/70941 ,  G03F7/7095 ,  H01L21/6875 ,  Y10T279/11

摘要： In the present invention, a ceramic vacuum chuck 2 having an upper surface for adsorbing a substrate is formed from a colored ceramic sintered body comprising 55-75% by weight alumina (Al2O3), at least 3% by weight Si in terms of oxide (SiO2), at least 0.4% by weight Ca in terms of oxide (CaO), at least 0.4% by weight Mg in terms of oxide (MgO), coloring agent, and 1% or less of impurities. A plurality of pins 4 for supporting the substrate, and a rim 6 are formed on the upper surface by shot blasting using abrasive grains, and the whole of the upper surface is shot peened using spherical particles.

摘要翻译： 在本发明中，具有用于吸附基板的上表面的陶瓷真空吸盘2由着色陶瓷烧结体形成，所述着色陶瓷烧结体包含55-75重量％的氧化铝（Al 2 O 3），至少3重量％的Si（以氧化物计） SiO 2），以氧化物（CaO）计为至少0.4重量％的Ca，以氧化物（MgO）计为至少0.4重量％的Mg，着色剂和1质量％以下的杂质。 用于支撑基板的多个销4和边缘6通过使用磨料颗粒的喷丸形成在上表面上，并且整个上表面使用球形颗粒喷丸硬化。