公开(公告)号：US20110053462A1

公开(公告)日：2011-03-03

申请号：US12866571

申请日：2009-01-16

申请人： Hirotaka Shida ,  Takafumi Shimizu ,  Masatoshi Ikeda ,  Shou Kubouchi ,  Yousuke Shibata ,  Kazuhito Uchikura ,  Akihiro Takemura

发明人： Hirotaka Shida ,  Takafumi Shimizu ,  Masatoshi Ikeda ,  Shou Kubouchi ,  Yousuke Shibata ,  Kazuhito Uchikura ,  Akihiro Takemura

IPC分类号： B24B1/00 ,  C09K13/00 ,  B82Y99/00

CPC分类号： H01L21/3212 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1409 ,  C09K3/1436 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/31053

摘要： A chemical mechanical polishing aqueous dispersion including (A) silica particles, and (B1) an organic acid, the sodium content, the potassium content, and the ammonium ion content of the silica particles (A) determined by ICP atomic emission spectrometry, ICP mass spectrometry, or ammonium ion quantitative analysis using ion chromatography having a relationship in which the sodium content is 5 to 500 ppm and at least one of the potassium content and the ammonium ion content is 100 to 20,000 ppm.

摘要翻译： 包含（A）二氧化硅颗粒和（B1）有机酸的化学机械研磨水分散体，通过ICP原子发射光谱法测定的二氧化硅颗粒（A）的钠含量，钾含量和铵离子含量，ICP质量 使用具有钠含量为5〜500ppm，钾含量和铵离子含量中的至少一种为100〜20000ppm的关系的离子色谱法进行光谱测定或铵离子定量分析。

公开(公告)号：US20110081780A1

公开(公告)日：2011-04-07

申请号：US12918013

申请日：2009-02-13

申请人： Hirotaka Shida ,  Takafumi Shimizu ,  Masatoshi Ikeda ,  Shou Kubouchi ,  Yousuke Shibata ,  Michiaki Andou ,  Kazuhito Uchikura ,  Akihiro Takemura

发明人： Hirotaka Shida ,  Takafumi Shimizu ,  Masatoshi Ikeda ,  Shou Kubouchi ,  Yousuke Shibata ,  Michiaki Andou ,  Kazuhito Uchikura ,  Akihiro Takemura

IPC分类号： H01L21/306 ,  C09K13/00

CPC分类号： H01L21/3212 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1463

摘要： A chemical mechanical polishing aqueous dispersion includes (A) silica particles, and (B1) an organic acid, the number of silanol groups included in the silica particles (A) calculated from a signal area of a 29Si-NMR spectrum being 2.0 to 3.0×1021/g.

摘要翻译： 化学机械研磨用水系分散体包含（A）二氧化硅粒子和（B1）有机酸，由二氧化硅粒子（A）中包含的硅烷醇基的数量由29Si-NMR谱的信号面积计算为2.0〜3.0× 1021 / g。

公开(公告)号：US08506359B2

公开(公告)日：2013-08-13

申请号：US12866571

申请日：2009-01-16

申请人： Hirotaka Shida ,  Takafumi Shimizu ,  Masatoshi Ikeda ,  Shou Kubouchi ,  Yousuke Shibata ,  Kazuhito Uchikura ,  Akihiro Takemura

发明人： Hirotaka Shida ,  Takafumi Shimizu ,  Masatoshi Ikeda ,  Shou Kubouchi ,  Yousuke Shibata ,  Kazuhito Uchikura ,  Akihiro Takemura

IPC分类号： H01L21/302

CPC分类号： H01L21/3212 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1409 ,  C09K3/1436 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/31053

摘要： A chemical mechanical polishing aqueous dispersion including (A) silica particles, and (B1) an organic acid, the sodium content, the potassium content, and the ammonium ion content of the silica particles (A) determined by ICP atomic emission spectrometry, ICP mass spectrometry, or ammonium ion quantitative analysis using ion chromatography having a relationship in which the sodium content is 5 to 500 ppm and at least one of the potassium content and the ammonium ion content is 100 to 20,000 ppm.

摘要翻译： 包含（A）二氧化硅颗粒和（B1）有机酸的化学机械研磨水分散体，通过ICP原子发射光谱法测定的二氧化硅颗粒（A）的钠含量，钾含量和铵离子含量，ICP质量 使用具有钠含量为5〜500ppm，钾含量和铵离子含量中的至少一种为100〜20000ppm的关系的离子色谱法进行光谱法或铵离子定量分析。

公开(公告)号：US08435336B2

公开(公告)日：2013-05-07

申请号：US12996889

申请日：2009-07-06

申请人： Kazuya Kinoshita ,  Yuichi Senoo ,  Yousuke Shibata ,  Isamu Yashima

发明人： Kazuya Kinoshita ,  Yuichi Senoo ,  Yousuke Shibata ,  Isamu Yashima

IPC分类号： B01D59/26 ,  C01B3/00 ,  C01B6/00 ,  C02F1/70 ,  C06B23/00 ,  C06B43/00 ,  C09K3/00 ,  C01F17/00 ,  B32B9/00 ,  B32B19/00 ,  B01J20/00

CPC分类号： A23L3/3436 ,  B01D53/02 ,  B01D53/228 ,  B01D71/024 ,  B01D2253/112 ,  B01D2253/306 ,  B01D2253/308 ,  B01D2255/2065 ,  B01D2257/104 ,  B01D2325/10 ,  B01J20/06 ,  B01J20/22 ,  B01J20/28026 ,  B01J20/28042 ,  B01J20/28052 ,  B01J2220/46 ,  B01J2220/66 ,  C01F17/0043 ,  C01P2002/30 ,  C01P2002/72 ,  C01P2002/90 ,  C01P2004/61 ,  C01P2006/12 ,  C01P2006/16 ,  Y02E60/324

摘要： A deoxidizer includes a porous body of fluorite-type cerium oxide represented by CeOx (where x is a positive number smaller than 2) and having a reversible oxygen deficiency. The deoxidizer has a specific surface area of 0.6 to 1.8 m2/g and a pore median diameter of 1.6 to 5.3 μm. The cerium oxide used for the deoxidizer is produced by: firing a cerium-containing salt in the atmosphere at 500° C. to 1400° C. for 1 to 20 hours, to produce fluorite-type cerium oxide composed of a porous body; and firing the cerium oxide at 700° C. to 1100° C. for 1 to 3 hours in a reducing atmosphere having a hydrogen concentration equal to or above the lower explosive limit, to remove oxygen from the cerium oxide and produce the fluorite-type cerium oxide represented by CeOx and having a reversible oxygen deficiency.

摘要翻译： 脱氧剂包括由CeOx（其中x为小于2的正数）表示的萤石型氧化铈多孔体，具有可逆的氧缺乏。 脱氧剂的比表面积为0.6〜1.8m 2 / g，孔中间径为1.6〜5.3μm。 用于脱氧剂的氧化铈是通过在500℃〜1400℃的气氛中煅烧含铈盐1〜20小时来制造由多孔体构成的萤石型氧化铈; 在700℃〜1100℃下，在氢浓度等于或大于爆炸下限的还原气氛中烧成氧化铈1〜3小时，从氧化铈中除去氧，生成萤石型 由CeOx表示的氧化铈，具有可逆的氧缺乏。

公开(公告)号：US20110086757A1

公开(公告)日：2011-04-14

申请号：US12996889

申请日：2009-07-06

申请人： Kazuya Kinoshita ,  Yuichi Senoo ,  Yousuke Shibata ,  Isamu Yashima

发明人： Kazuya Kinoshita ,  Yuichi Senoo ,  Yousuke Shibata ,  Isamu Yashima

IPC分类号： B01J20/02 ,  B01J20/26

CPC分类号： A23L3/3436 ,  B01D53/02 ,  B01D53/228 ,  B01D71/024 ,  B01D2253/112 ,  B01D2253/306 ,  B01D2253/308 ,  B01D2255/2065 ,  B01D2257/104 ,  B01D2325/10 ,  B01J20/06 ,  B01J20/22 ,  B01J20/28026 ,  B01J20/28042 ,  B01J20/28052 ,  B01J2220/46 ,  B01J2220/66 ,  C01F17/0043 ,  C01P2002/30 ,  C01P2002/72 ,  C01P2002/90 ,  C01P2004/61 ,  C01P2006/12 ,  C01P2006/16 ,  Y02E60/324

摘要： A deoxidizer includes a porous body of fluorite-type cerium oxide represented by CeOx (where x is a positive number smaller than 2) and having a reversible oxygen deficiency. The deoxidizer has a specific surface area of 0.6 to 1.8 m2/g and a pore median diameter of 1.6 to 5.3 μm. The cerium oxide used for the deoxidizer is produced by: firing a cerium-containing salt in the atmosphere at 500° C. to 1400° C. for 1 to 20 hours, to produce fluorite-type cerium oxide composed of a porous body; and firing the cerium oxide at 700° C. to 1100° C. for 1 to 3 hours in a reducing atmosphere having a hydrogen concentration equal to or above the lower explosive limit, to remove oxygen from the cerium oxide and produce the fluorite-type cerium oxide represented by CeOx and having a reversible oxygen deficiency.

摘要翻译： 脱氧剂包括由CeOx（其中x为小于2的正数）表示的萤石型氧化铈多孔体，具有可逆的氧缺乏。 脱氧剂的比表面积为0.6〜1.8m 2 / g，孔中间径为1.6〜5.3μm。 用于脱氧剂的氧化铈是通过在500℃〜1400℃的气氛中煅烧含铈盐1〜20小时来制造由多孔体构成的萤石型氧化铈; 在700℃〜1100℃下，在氢浓度等于或大于爆炸下限的还原气氛中烧成氧化铈1〜3小时，从氧化铈中除去氧，生成萤石型 由CeOx表示的氧化铈，具有可逆的氧缺乏。