公开(公告)号：US08533937B1

公开(公告)日：2013-09-17

申请号：US13275926

申请日：2011-10-18

申请人： Jinwen Wang ,  Weimin Si ,  Jianxin Fang ,  Ying Hong ,  Hongzhou Jiang ,  Ching-Huang Lu ,  Yan Chen ,  Donghong Li ,  Lien-Chang Wang ,  Lieping Zhong ,  Tao Pan

发明人： Jinwen Wang ,  Weimin Si ,  Jianxin Fang ,  Ying Hong ,  Hongzhou Jiang ,  Ching-Huang Lu ,  Yan Chen ,  Donghong Li ,  Lien-Chang Wang ,  Lieping Zhong ,  Tao Pan

IPC分类号： G11B5/127 ,  H04R31/00

CPC分类号： G11B5/112 ,  G11B5/1276 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/315 ,  G11B5/3153 ,  G11B5/3163 ,  H04R31/00 ,  Y10T29/49039 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49044 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052

摘要： A method or forming a wrapped-around shielded perpendicular magnetic recording writer pole is disclosed. A structure comprising a leading shield layer and an intermediate layer disposed over the leading shield layer is provided, the intermediate layer comprising a pole material and a dielectric material. A trench is formed in the dielectric material. A non-magnetic layer in the trench is removed via an ion beam etching process. A seed layer is deposited in the trench and over the pole material. A magnetic material comprising a side shield layer is deposited on at least a portion of the seed layer.

摘要翻译： 公开了一种方法或形成缠绕的屏蔽垂直磁记录写入极。 提供了包括引导屏蔽层和设置在引导屏蔽层之上的中间层的结构，所述中间层包括极材料和电介质材料。 在电介质材料中形成沟槽。 通过离子束蚀刻工艺去除沟槽中的非磁性层。 种子层沉积在沟槽中并在极材料上方。 包含侧屏蔽层的磁性材料沉积在籽晶层的至少一部分上。

公开(公告)号：US09349392B1

公开(公告)日：2016-05-24

申请号：US13480278

申请日：2012-05-24

申请人： Wanxue Zeng ,  Weimin Si ,  Ying Hong ,  Lieping Zhong

发明人： Wanxue Zeng ,  Weimin Si ,  Ying Hong ,  Lieping Zhong

IPC分类号： G11B5/187 ,  G11B5/31

CPC分类号： G11B5/1272 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/187 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/3163

摘要： Various embodiments described herein provide for substrate structures including uniform plating seed layers, and that provide favorable adhesion on dielectric substrate layers. According to some embodiments, a methods for forming a magnetic recording pole is provided comprising: forming an insulator layer; forming a trench in the insulator layer; forming an amorphous seed layer over the insulator layer; forming an adhesion layer over the amorphous seed layer, the adhesion layer comprising a physical vapor deposited (PVD) noble metal; forming a plating seed layer over the adhesion layer, the plating seed layer comprising chemical vapor deposited (CVD) Ru; and forming a magnetic material layer over the plating seed layer.

摘要翻译： 本文描述的各种实施例提供了包括均匀电镀种子层的衬底结构，并且在电介质衬底层上提供有利的粘附。 根据一些实施例，提供了一种用于形成磁记录极的方法，包括：形成绝缘体层; 在绝缘体层中形成沟槽; 在所述绝缘体层上形成无定形晶种层; 在所述无定形种子层上形成粘合层，所述粘合层包括物理气相沉积（PVD）贵金属; 在粘附层上形成电镀种子层，包括化学气相沉积（CVD）Ru的电镀种子层; 以及在所述电镀种子层上形成磁性材料层。

公开(公告)号：US08670213B1

公开(公告)日：2014-03-11

申请号：US13422997

申请日：2012-03-16

申请人： Wanxue Zeng ,  Weimin Si ,  Ying Hong ,  Zhigang Bai

发明人： Wanxue Zeng ,  Weimin Si ,  Ying Hong ,  Zhigang Bai

IPC分类号： G11B5/23 ,  B44C1/22

CPC分类号： G11B5/232 ,  G11B5/235 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/3163

摘要： A writer main pole for a perpendicular magnetic recording system is provided. The writer pole has a tunable bottom gap to side gap ratio, and may be formed using deposition of a first seed layer through an ion beam deposition process, deposition of a second seed layer through a physical vapor deposition process, and deposition of a non-magnetic gap layer through a chemical vapor deposition process.

摘要翻译： 提供了一种用于垂直磁记录系统的写入器主极。 写入器极具有可调节的底部间隙与侧面间隙比，并且可以通过通过离子束沉积工艺沉积第一种子层，通过物理气相沉积工艺沉积第二籽晶层， 磁隙层通过化学气相沉积工艺。

公开(公告)号：US20110279926A1

公开(公告)日：2011-11-17

申请号：US12777609

申请日：2010-05-11

申请人： Weimin Si ,  Yun-Fei Li ,  Ying Hong

发明人： Weimin Si ,  Yun-Fei Li ,  Ying Hong

IPC分类号： G11B5/187

CPC分类号： G11B5/1272 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/1878 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/315 ,  G11B5/3163 ,  Y10T29/49041 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49052

摘要： A method and system for fabricating magnetic transducer are described. The method and system include providing a main pole having a bottom and a top wider than the bottom. The method and system further include performing a high energy ion mill at an angle from a normal to the top of the main pole and at a first energy. The high energy ion mill removes a portion of the top of the main pole and exposes a top bevel surface for the main pole. The method and system also include performing a low energy ion mill at second energy and a glancing angle from the top bevel surface. The glancing angle is not more than fifteen degrees. The second energy is less than the first energy. The method and system also include depositing a nonmagnetic gap.

摘要翻译： 描述了用于制造磁换能器的方法和系统。 该方法和系统包括提供具有底部和顶部比底部更宽的主极。 所述方法和系统还包括以与主极顶部法线和第一能量成一角度地执行高能离子磨。 高能离子磨机去除主极顶部的一部分并暴露主极的顶部斜面。 该方法和系统还包括在第二能量下执行低能量离子磨，并从顶部斜面观察到扫掠角。 扫视角度不超过十五度。 第二能量小于第一能量。 该方法和系统还包括沉积非磁性间隙。

公开(公告)号：US08628672B1

公开(公告)日：2014-01-14

申请号：US13535091

申请日：2012-06-27

申请人： Weimin Si ,  Ying Hong ,  Zhigang Bai ,  Yunhe Huang ,  Fenglin Liu ,  Hong Zhang ,  Jikou Zhou ,  Xiaoyu Yang ,  Yuan Yao ,  Iulica Zana ,  Feng Liu ,  Ling Wang

发明人： Weimin Si ,  Ying Hong ,  Zhigang Bai ,  Yunhe Huang ,  Fenglin Liu ,  Hong Zhang ,  Jikou Zhou ,  Xiaoyu Yang ,  Yuan Yao ,  Iulica Zana ,  Feng Liu ,  Ling Wang

IPC分类号： B44C1/22

CPC分类号： G11B5/315 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/3163

摘要： A method for fabricating a magnetic recording transducer having a magnetic writer pole with a short effective throat height is provided. In an embodiment, a writer structure comprising a magnetic writer pole having a trailing bevel and a nonmagnetic stack on the top surface of the writer pole is provided. A dielectric write gap layer comprising alumina is deposited over the trailing bevel section and the nonmagnetic stack; and at least one etch stop layer is deposited over the dielectric write gap layer. A layer of nonmagnetic fill material is deposited over the etch stop layer and to form a nonmagnetic bevel by performing a dry etch process. The etch stop layer(s) are removed from the short throat section; and a trailing shield is deposited over the short throat section, nonmagnetic bevel, and nonmagnetic stack top surface.

摘要翻译： 提供一种制造具有具有短的有效喉部高度的磁性写入极的磁记录换能器的方法。 在一个实施例中，提供了一种写入器结构，其包括在写入器极的顶表面上具有后斜面和非磁性堆叠的磁性写入极。 包含氧化铝的电介质写入间隙层沉积在后斜面部分和非磁性层上; 并且至少一个蚀刻停止层沉积在电介质写间隙层上。 一层非磁性填充材料沉积在蚀刻停止层上并通过执行干法蚀刻工艺形成非磁性斜面。 蚀刻停止层从短喉部分移除; 并且尾部屏蔽层沉积在短喉部分，非磁性斜面和非磁性堆叠顶表面上。

公开(公告)号：US08458892B2

公开(公告)日：2013-06-11

申请号：US12777609

申请日：2010-05-11

申请人： Weimin Si ,  Yun-Fei Li ,  Ying Hong

发明人： Weimin Si ,  Yun-Fei Li ,  Ying Hong

IPC分类号： G11B5/187

CPC分类号： G11B5/1272 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/1878 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/315 ,  G11B5/3163 ,  Y10T29/49041 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49052

摘要： A method for fabricating magnetic transducer is described. The method includes providing a main pole having a bottom and a top wider than the bottom. The method further includes performing a high energy ion mill at an angle from a normal to the to of the main pole and at a first energy. The high energy ion mill removes a portion of the top of the main pole and exposes a top bevel surface for the main pole. The method also includes performing a low energy ion mill at second energy and a glancing angle from the top bevel surface. The glancing angle is not more than fifteen degrees. The second energy is less than the first energy. The method and system also include depositing a nonmagnetic gap.

摘要翻译： 描述了制造磁换能器的方法。 该方法包括提供具有底部和顶部比底部更宽的主极。 该方法进一步包括以与主极的法线相对的角度以第一能量的角度执行高能离子磨。 高能离子磨机去除主极顶部的一部分并暴露主极的顶部斜面。 该方法还包括在第二能量下执行低能量离子磨，并从顶部斜面观察到扫掠角。 扫视角度不超过十五度。 第二能量小于第一能量。 该方法和系统还包括沉积非磁性间隙。

公开(公告)号：US08341826B1

公开(公告)日：2013-01-01

申请号：US12758469

申请日：2010-04-12

申请人： Hai Jiang ,  Yunhe Huang ,  Jinwen Wang ,  Yun-Fei Li ,  Ying Hong

发明人： Hai Jiang ,  Yunhe Huang ,  Jinwen Wang ,  Yun-Fei Li ,  Ying Hong

IPC分类号： G11B5/127 ,  H04R31/00

CPC分类号： G11B5/3169 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/3163

摘要： A method and system for fabricating magnetic transducer are described.The method and system include providing a main pole having a bottom, a top wider than the bottom, and a top bevel. A nonmagnetic gap covering the main pole is provided. A portion of the nonmagnetic gap resides on the top of the main pole. A first seed layer is provided. At least a portion of the first seed layer covers the portion of the nonmagnetic gap on top of the main pole. A portion of the nonmagnetic gap on the magnetic recording transducer is removed after the first seed layer is provided. A second seed layer is provided after the portion of the nonmagnetic gap is removed. The second seed layer covers at least the portion of the first seed layer. A wrap-around shield layer is provided on the second seed layer.

摘要翻译： 描述了用于制造磁换能器的方法和系统。 该方法和系统包括提供具有底部，比底部宽的顶部和顶部斜面的主极。 提供覆盖主极的非磁性间隙。 非磁性间隙的一部分位于主极的顶部。 提供第一种子层。 第一种子层的至少一部分覆盖主极顶部的非磁性间隙的部分。 在提供第一种子层之后，去除磁记录传感器上的非磁性间隙的一部分。 在去除非磁性间隙的部分之后提供第二种子层。 第二种子层覆盖至少第一种子层的部分。 在第二籽晶层上设置环绕屏蔽层。

公开(公告)号：US08520337B1

公开(公告)日：2013-08-27

申请号：US13436712

申请日：2012-03-30

申请人： Feng Liu ,  Zhigang Bai ,  Yugang Wang ,  Jinqiu Zhang ,  Ying Hong ,  Tao Pan

发明人： Feng Liu ,  Zhigang Bai ,  Yugang Wang ,  Jinqiu Zhang ,  Ying Hong ,  Tao Pan

IPC分类号： G11B5/127

CPC分类号： G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/315

摘要： A perpendicular magnetic recording transducer with leading and trailing bevel side wall angles at air bearing surface for use in a data storage device is provided. The transducer includes a magnetic writer pole having a pole tip facing an air bearing surface (ABS). The pole tip includes a pole tip face having a leading edge, a trailing edge, a first side wall, and a second side wall. The first side wall includes a first side wall section adjoining the leading edge and a second side wall section adjoining the trailing edge. The first side wall section is at a first angle measured from a perpendicular center line dividing the trailing edge. The second side wall section is at a second angle measured from a perpendicular center line dividing the trailing edge. The second angle is greater than three degrees. The first angle is greater than the second angle.

摘要翻译： 提供了一种用于数据存储装置的在空气轴承表面具有前后倾斜侧壁角度的垂直磁记录传感器。 换能器包括具有面向空气轴承表面（ABS）的极尖的磁性写入极。 极尖包括具有前缘，后缘，第一侧壁和第二侧壁的极尖端面。 第一侧壁包括邻接前缘的第一侧壁部分和与后缘相邻的第二侧壁部分。 第一侧壁部分是从分割后缘的垂直中心线测量的第一角度。 第二侧壁部分是从分割后缘的垂直中心线测量的第二角度。 第二个角度大于三度。 第一角度大于第二角度。

公开(公告)号：US08705205B1

公开(公告)日：2014-04-22

申请号：US13169685

申请日：2011-06-27

申请人： Yunfei Li ,  Lijie Guan ,  Ying Hong ,  Zhigang Bai ,  Jinqiu Zhang ,  Yugang Wang ,  Feng Liu ,  Tao Pan

发明人： Yunfei Li ,  Lijie Guan ,  Ying Hong ,  Zhigang Bai ,  Jinqiu Zhang ,  Yugang Wang ,  Feng Liu ,  Tao Pan

IPC分类号： G11B5/127

CPC分类号： G11B5/3163 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/315

摘要： A magnetic transducer having an air-bearing surface (ABS) is described. The magnetic transducer includes a pole and at least one coil for energizing the pole. The pole has a pole tip proximate to the ABS, a yoke distal from the ABS, and a bottom surface including a bottom bevel. At least the yoke includes at least one sidewall having a first angle and a second angle. The first angle is between the bottom surface and the at least one sidewall. The second angle is a constant distance along the at least one sidewall from the first angle.

摘要翻译： 描述了具有空气轴承表面（ABS）的磁换能器。 磁换能器包括极和用于激励极的至少一个线圈。 杆具有靠近ABS的极尖端，远离ABS的轭，以及包括底部斜面的底表面。 至少轭包括具有第一角度和第二角度的至少一个侧壁。 第一角度在底表面和至少一个侧壁之间。 第二角度是从第一角度沿着至少一个侧壁的恒定距离。

公开(公告)号：US08582241B1

公开(公告)日：2013-11-12

申请号：US13479095

申请日：2012-05-23

申请人： Chengtao R. Yu ,  Dehua Han ,  Ying Hong ,  Feng Liu ,  Bo Zhang ,  Tao Pan

发明人： Chengtao R. Yu ,  Dehua Han ,  Ying Hong ,  Feng Liu ,  Bo Zhang ,  Tao Pan

IPC分类号： G11B5/147

CPC分类号： G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/315

摘要： A method and system for providing a magnetic read transducer is described. The magnetic recording transducer includes a write pole, a nonmagnetic gap, a magnetic seed layer, a trailing shield and coil(s) that energize the write pole. The write pole is configured to write to a media. The nonmagnetic gap is between the write pole and the magnetic seed layer. The magnetic seed layer includes a high moment layer and a magnetic buffer layer. The high moment layer is between the nonmagnetic gap and the magnetic buffer layer. The high moment layer has a saturation magnetization greater than 2.3 T and a first corrosion potential. The magnetic buffer layer has a second corrosion potential less than the first corrosion potential. The magnetic seed layer is between the trailing shield and the nonmagnetic gap layer. The magnetic buffer layer is between the trailing shield and the high moment layer.

摘要翻译： 描述了一种用于提供磁读取换能器的方法和系统。 磁记录换能器包括对写磁极通电的写磁极，非磁性间隙，磁性种子层，后屏蔽和线圈。 写极被配置为写入介质。 非磁性间隙位于写极和磁性种子层之间。 磁性种子层包括高力矩层和磁性缓冲层。 高磁矩层位于非磁性间隙和磁性缓冲层之间。 高力矩层具有大于2.3T的饱和磁化强度和第一腐蚀电位。 磁缓冲层具有小于第一腐蚀电位的第二腐蚀电位。 磁性种子层位于尾部屏蔽和非磁性间隙层之间。 磁缓冲层位于后盾和高力矩层之间。