公开(公告)号：US2970896A

公开(公告)日：1961-02-07

申请号：US73099758

申请日：1958-04-25

Applicant: TEXAS INSTRUMENTS INC

Inventor： BOYD CORNELISON ,  MACK MILTON K

IPC: C23F1/02 ,  H01L21/00 ,  H01L21/304 ,  H01L29/73

CPC classification number: H01L21/304 ,  C23F1/02 ,  H01L21/00 ,  H01L29/73 ,  Y10S148/085 ,  Y10S438/945 ,  Y10T29/49069 ,  Y10T29/49124

公开(公告)号：US2956913A

公开(公告)日：1960-10-18

申请号：US77516458

申请日：1958-11-20

Applicant: TEXAS INSTRUMENTS INC

Inventor： MACK MILTON K ,  WOLFF JR ELMER A

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/22 ,  H01L21/223 ,  H01L29/00 ,  H01L29/06 ,  H01L29/73

CPC classification number: H01L29/06 ,  H01L21/00 ,  H01L21/22 ,  H01L21/223 ,  H01L29/00 ,  H01L29/73 ,  Y10S438/919