公开(公告)号：US08970030B2

公开(公告)日：2015-03-03

申请号：US13878369

申请日：2011-09-23

Applicant: Matthias Keil

Inventor： Matthias Keil

IPC: H01L23/34 ,  H05K7/20 ,  H01L21/56 ,  H01L23/495 ,  H05K13/04 ,  H01L23/00

CPC classification number: H05K7/20409 ,  H01L21/565 ,  H01L23/49537 ,  H01L23/49551 ,  H01L23/49575 ,  H01L24/48 ,  H01L2224/48247 ,  H01L2224/48472 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/19107 ,  H05K13/04 ,  Y10T29/49126 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2224/45099 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2924/207

Abstract: The invention relates to an electronic module and to a method for producing same, comprising a mold body (2), a first circuit carrier (3; 13) having a first inner face (3a; 13a), on which electronic components (5) are arranged, and a first outer face (3b; 13b), a second circuit carrier (4; 14) having a second inner face (4a; 14a), on which electronic components (5) are arranged, and a second outer face (4b; 14b), and at least one spring device (6, 7; 16) which connects the inner faces (3a, 14a; 13a, 14a), or surfaces of electronic components (5) arranged thereon, of the first and second circuit carriers (3, 4; 13, 14), wherein the first and second outer faces (3a, 4a; 13a, 14a) are exposed towards the outside of the electronic module in order to emit heat directly to the outside, and wherein the first and second outer faces (3a, 4a; 13a, 14a) are parallel to each other.

Abstract translation: 本发明涉及一种电子模块及其制造方法，包括模体（2），具有第一内表面（3a; 13a）的第一电路载体（3; 13），电子部件（5） 和第一外表面（3b; 13b），具有第二内表面（4a; 14a）的第二电路载体（4; 14），电子元件（5）布置在其上，第二外表面 4b，14b）和连接第一和第二电路的内表面（3a，14a; 13a，14a）或其上布置的电子元件（5）的表面的至少一个弹簧装置（6,7; 16） 载体（3,4; 13,14），其中所述第一和第二外表面（3a，4a; 13a，14a）朝向所述电子模块的外部暴露，以便将热量直接发射到外部，并且其中所述第一 和第二外表面（3a，4a; 13a，14a）彼此平行。

公开(公告)号：US07854873B2

公开(公告)日：2010-12-21

申请号：US11450377

申请日：2006-06-12

Applicant: Babak Heidari ,  Marc Beck ,  Matthias Keil

Inventor： Babak Heidari ,  Marc Beck ,  Matthias Keil

IPC: B29C59/02

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G11B7/263 ,  Y10T428/24355 ,  Y10T428/31504

Abstract: A method is provided for transferring a pattern from a template (1) to an object (12) in an imprint process, using a two-step process. The first step includes contacting a pattern of the template surface with a polymer material comprising one or more Cyclic Olefin Copolymers (COCs), to produce a flexible polymer replica having a structured surface with an inverse of the pattern of the template surface. In a second step, after releasing the flexible polymer replica from the template, the inverse pattern of the flexible polymer replica is pressed into a resist layer on a substrate, to imprint a replica of the pattern of the template surface in therein.

Abstract translation: 提供了一种用于使用两步法在压印过程中将图案从模板（1）传送到对象（12）的方法。 第一步包括将模板表面的图案与包含一种或多种环烯烃共聚物（COC）的聚合物材料接触，以产生具有与模板表面图案相反的结构化表面的柔性聚合物复制品。 在第二步骤中，在从模板中释放柔性聚合物复制品之后，将柔性聚合物复制品的反向图案压入基板上的抗蚀剂层中，以在其中印刷模板表面的图案的副本。

公开(公告)号：US07717693B2

公开(公告)日：2010-05-18

申请号：US11597570

申请日：2005-05-27

Applicant: Matthias Keil ,  Göran Frennesson ,  Marc Beck ,  Babak Heidari

Inventor： Matthias Keil ,  Göran Frennesson ,  Marc Beck ,  Babak Heidari

IPC: B29C59/00 ,  B29C33/56 ,  B28B7/38

CPC classification number: B05D1/60 ,  B05D1/185 ,  B29C33/56 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0017 ,  Y10T428/31678

Abstract: The invention relates to a novel metal mold having anti-adhesive properties comprising a base metal mold and an anti-adhesive layer comprising a fluorinated alkyl phosphoric acid derivative or a fluorinated alkyl poly-phosphoric acid derivative, including a phosphorous atom and an alkyl chain. The anti-adhesive layer is bonded directly onto a surface of the base metal mold. The base metal mold may be e.g. Nickel, and said fluorinated alkyl phosphoric acid derivative or said fluorinated alkyl poly-phosphoric acid derivative may be selected from the group consisting of phosphonic acids, phosphonic acids, phosphonates and phosphonate salts, phosphonates and phosphonate salts, or their respective oligomers, such that the phosphorous atom is coupled directly to the alkyl chain, such that the phosphorous atom is coupled directly to the alkyl chain.

Abstract translation: 本发明涉及一种具有抗粘性的新型金属模具，其特征在于包括贱金属模和包含磷原子和烷基链的氟化烷基磷酸衍生物或氟化烷基聚磷酸衍生物的防粘层。 抗粘剂层直接粘结在母模金属模的表面上。 贱金属模可以是例如。 镍和所述氟代烷基磷酸衍生物或所述氟化烷基聚磷酸衍生物可以选自膦酸，膦酸，膦酸盐和膦酸盐，膦酸盐和膦酸盐或它们各自的低聚物，使得 磷原子直接与烷基链结合，使得磷原子直接与烷基链结合。

公开(公告)号：US07687007B2

公开(公告)日：2010-03-30

申请号：US10518475

申请日：2003-06-16

Applicant: Torbjörn Ling ,  Lars Montelius ,  Matthias Keil ,  Marc Beck

Inventor： Torbjörn Ling ,  Lars Montelius ,  Matthias Keil ,  Marc Beck

IPC: B29C33/56

CPC classification number: B29C33/56 ,  B29C33/424 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0017 ,  G11B5/855

Abstract: Method for manufacturing a mold tool (1), devised for forming a structured nanoscale pattern on an object (24) and having a layer (16) which is anti-adhesive with regard to the object (24). A stamp blank (2) is provided with a structured pattern (4) on a surface (8). The patterned surface (8) is coated with a layer (6) of a metal, which has a stable oxidation number and can form a mechanically stable oxide film. The metal layer (6) is oxidized for forming of an oxide film (10). The oxide film (10) is exposed to a reagent comprising molecule chains (18), each of which has a linkage group (20) which bonds to the oxide film (10) by chemical bonding, wherein the molecule chains (18) either at the outset comprise at least a group (22) comprising fluorine, or in a subsequent step is provided with at least one such group (22).

Abstract translation: 一种用于制造模具（1）的方法，其用于在物体（24）上形成结构化的纳米级图案，并且具有关于所述物体（24）是防粘合的层（16）。 印模坯料（2）在表面（8）上设置有结构图案（4）。 图案化表面（8）涂覆有金属层（6），其具有稳定的氧化数，并且可以形成机械稳定的氧化物膜。 金属层（6）被氧化以形成氧化膜（10）。 氧化膜（10）暴露于包含分子链（18）的试剂，每个分子链具有通过化学键合与氧化膜（10）键合的连接基团（20），其中分子链（18） 一开始包括至少一个包含氟的基团（22），或者在随后的步骤中设置有至少一个这样的基团（22）。

公开(公告)号：US20070212522A1

公开(公告)日：2007-09-13

申请号：US11450377

申请日：2006-06-12

Applicant: Babak Heidari ,  Marc Beck ,  Matthias Keil

Inventor： Babak Heidari ,  Marc Beck ,  Matthias Keil

IPC: G11B5/64 ,  B32B9/04

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G11B7/263 ,  Y10T428/24355 ,  Y10T428/31504

Abstract: A method is provided for transferring a pattern from a template (1) to an object (12) in an imprint process, using a two-step process. The first step includes contacting a pattern of the template surface with a polymer material comprising one or more Cyclic Olefin Copolymers (COCs), to produce a flexible polymer replica having a structured surface with an inverse of the pattern of the template surface. In a second step, after releasing the flexible polymer replica from the template, the inverse pattern of the flexible polymer replica is pressed into a resist layer on a substrate, to imprint a replica of the pattern of the template surface in therein.

Abstract translation: 提供了一种用于使用两步法在压印过程中将图案从模板（1）传送到对象（12）的方法。 第一步包括将模板表面的图案与包含一种或多种环烯烃共聚物（COC）的聚合物材料接触，以产生具有与模板表面图案相反的结构化表面的柔性聚合物复制品。 在第二步骤中，在从模板中释放柔性聚合物复制品之后，将柔性聚合物复制品的反向图案压入基板上的抗蚀剂层中，以在其中印刷模板表面的图案的副本。