公开(公告)号：US3496359A

公开(公告)日：1970-02-17

申请号：US3496359D

申请日：1966-02-09

Applicant: UNIT PROCESS ASSEMBLIES

Inventor： WEINSTOCK JACQUES J ,  WADE DONALD E ,  LIEBER SIDNEY U ,  HAY WILLIAM D

IPC: G01N23/203 ,  G01T1/16 ,  H01J39/00

CPC classification number: G01N23/203

公开(公告)号：US3271572A

公开(公告)日：1966-09-06

申请号：US21932262

申请日：1962-08-24

Applicant: UNIT PROCESS ASSEMBLIES

Inventor： LIEBER SIDNEY U ,  JEROME LEINER

IPC: G01N23/203 ,  G01R23/09 ,  G01R23/10

CPC classification number: G01R23/09 ,  G01N23/203 ,  G01R23/10