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公开(公告)号：USD711332S1
公开(公告)日：2014-08-19
申请号：US29416253
申请日：2012-03-20
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公开(公告)号：US20100143588A1
公开(公告)日：2010-06-10
申请号：US12631079
申请日：2009-12-04
申请人： Mikhail Belousov , Bojan Mitrovic , Keng Moy
发明人： Mikhail Belousov , Bojan Mitrovic , Keng Moy
CPC分类号： C30B25/14 , C23C16/45574 , C23C16/45578 , C23C16/4584
摘要： A flow inlet element (22) for a chemical vapor deposition reactor (10) is formed from a plurality of elongated tubular elements (64, 65) extending side-by-side with one another in a plane transverse to the upstream to downstream direction of the reactor. The tubular elements have inlets for ejecting gas in the downstream direction. A wafer carrier (14) rotates around an upstream to downstream axis. The gas distribution elements may provide a pattern of gas distribution which is asymmetrical with respect to a medial plane (108) extending through the axis.
摘要翻译： 用于化学气相沉积反应器（10）的流入口元件（22）由多个细长管状元件（64,65）形成，所述多个细长管状元件（64,65）在横向于上游到下游方向的平面中彼此并排延伸 反应堆。 管状元件具有用于沿下游方向喷射气体的入口。 晶片载体（14）围绕上游到下游轴线旋转。 气体分布元件可以提供相对于延伸穿过轴线的中间平面（108）不对称的气体分布图案。
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公开(公告)号：USD695242S1
公开(公告)日：2013-12-10
申请号：US29416244
申请日：2012-03-20
申请人： Alexander I. Gurary , Keng Moy , Paul Chang
设计人： Alexander I. Gurary , Keng Moy , Paul Chang
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公开(公告)号：US20120325151A1
公开(公告)日：2012-12-27
申请号：US13606130
申请日：2012-09-07
申请人： Mikhail Belousov , Bojan Mitrovic , Keng Moy
发明人： Mikhail Belousov , Bojan Mitrovic , Keng Moy
IPC分类号： C23C16/458 , B05B1/00
CPC分类号： C30B25/14 , C23C16/45574 , C23C16/45578 , C23C16/4584
摘要： A flow inlet element (22) for a chemical vapor deposition reactor (10) is formed from a plurality of elongated tubular elements (64, 65) extending side-by-side with one another in a plane transverse to the upstream to downstream direction of the reactor. The tubular elements have inlets for ejecting gas in the downstream direction. A wafer carrier (14) rotates around an upstream to downstream axis. The gas distribution elements may provide a pattern of gas distribution which is asymmetrical with respect to a medial plane (108) extending through the axis.
摘要翻译： 用于化学气相沉积反应器（10）的流入口元件（22）由多个细长管状元件（64,65）形成，所述多个细长管状元件（64,65）在横向于上游到下游方向的平面中彼此并排延伸 反应堆。 管状元件具有用于沿下游方向喷射气体的入口。 晶片载体（14）围绕上游到下游轴线旋转。 气体分布元件可以提供相对于延伸穿过轴线的中间平面（108）不对称的气体分布图案。
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公开(公告)号：US08303713B2
公开(公告)日：2012-11-06
申请号：US12631079
申请日：2009-12-04
申请人： Mikhail Belousov , Bojan Mitrovic , Keng Moy
发明人： Mikhail Belousov , Bojan Mitrovic , Keng Moy
IPC分类号： C23C16/00 , C23C16/455 , H01L21/306
CPC分类号： C30B25/14 , C23C16/45574 , C23C16/45578 , C23C16/4584
摘要： A flow inlet element (22) for a chemical vapor deposition reactor (10) is formed from a plurality of elongated tubular elements (64, 65) extending side-by-side with one another in a plane transverse to the upstream to downstream direction of the reactor. The tubular elements have inlets for ejecting gas in the downstream direction. A wafer carrier (14) rotates around an upstream to downstream axis. The gas distribution elements may provide a pattern of gas distribution which is asymmetrical with respect to a medial plane (108) extending through the axis.
摘要翻译： 用于化学气相沉积反应器（10）的流入口元件（22）由多个细长管状元件（64,65）形成，所述多个细长管状元件（64,65）在横向于上游到下游方向的平面中彼此并排延伸 反应堆。 管状元件具有用于沿下游方向喷射气体的入口。 晶片载体（14）围绕上游到下游轴线旋转。 气体分布元件可以提供相对于延伸穿过轴线的中间平面（108）不对称的气体分布图案。
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公开(公告)号：US08636847B2
公开(公告)日：2014-01-28
申请号：US13606130
申请日：2012-09-07
申请人： Mikhail Belousov , Bojan Mitrovic , Keng Moy
发明人： Mikhail Belousov , Bojan Mitrovic , Keng Moy
IPC分类号： C23C16/00 , C23C16/455
CPC分类号： C30B25/14 , C23C16/45574 , C23C16/45578 , C23C16/4584
摘要： A flow inlet element (22) for a chemical vapor deposition reactor (10) is formed from a plurality of elongated tubular elements (64, 65) extending side-by-side with one another in a plane transverse to the upstream to downstream direction of the reactor. The tubular elements have inlets for ejecting gas in the downstream direction. A wafer carrier (14) rotates around an upstream to downstream axis. The gas distribution elements may provide a pattern of gas distribution which is asymmetrical with respect to a medial plane (108) extending through the axis.
摘要翻译： 用于化学气相沉积反应器（10）的流入口元件（22）由多个细长管状元件（64,65）形成，所述多个细长管状元件（64,65）在横向于上游到下游方向的平面中彼此并排延伸 反应堆。 管状元件具有用于沿下游方向喷射气体的入口。 晶片载体（14）围绕上游到下游轴线旋转。 气体分布元件可以提供相对于延伸穿过轴线的中间平面（108）不对称的气体分布图案。
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公开(公告)号：USD695241S1
公开(公告)日：2013-12-10
申请号：US29416240
申请日：2012-03-20
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公开(公告)号：USD690671S1
公开(公告)日：2013-10-01
申请号：US29416228
申请日：2012-03-20
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公开(公告)号：USD686582S1
公开(公告)日：2013-07-23
申请号：US29416238
申请日：2012-03-20
申请人： Sandeep Krishnan , Keng Moy
设计人： Sandeep Krishnan , Keng Moy
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公开(公告)号：USD686175S1
公开(公告)日：2013-07-16
申请号：US29416224
申请日：2012-03-20
申请人： Alexander I. Gurary , Keng Moy , Paul Chang
设计人： Alexander I. Gurary , Keng Moy , Paul Chang
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