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    Polymer microcavity and microchannel device and array fabrication method
    11.
    发明授权
    Polymer microcavity and microchannel device and array fabrication method 有权
    聚合物微腔和微通道器件及阵列制造方法

    公开(公告)号：US08864542B2

    公开(公告)日：2014-10-21

    申请号：US13861625

    申请日：2013-04-12

    申请人： The Board of Trustees of the University of Illinois

    发明人： J. Gary Eden ,  Sung-Jin Park ,  Meng Lu ,  Brian Cunningham

    IPC分类号： H01J9/26

    CPC分类号： B29C35/02 ,  B29C65/70 ,  H01J9/245 ,  H01J11/18 ,  H01J65/046 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/2412

    摘要： A method of forming a microplasma device places a curable polymer material between a mold having a negative volume impression of microcavities and/or microchannels and a substrate. The polymer is cured and then the mold is separated from the solid polymer. The method can form a microplasma device that includes a substrate and either or both of a microchannel or microcavity defined in a polymer layer supported by the substrate. Electrodes arranged with respect to the polymer material can excite plasma in a discharge medium contained in the microchannel or the microcavity or both. A flexible mold is preferably used to fabricate transparent polymer microcavities onto rigid substrates. A rigid mold is preferably used to fabricate transparent polymer microcavities onto flexible substrates. Having one of the mold and the substrate flexible and the other rigid aids in the separation of the mold from the cured polymer.

    摘要翻译： 形成微等离子体装置的方法将可固化的聚合物材料放置在具有负的体积的微腔和/或微通道的印模和基底之间。 聚合物固化，然后将模具与固体聚合物分离。 该方法可以形成包括衬底以及在由衬底支撑的聚合物层中限定的微通道或微腔中的任一个或两者的微等离子体器件。 相对于聚合物材料布置的电极可以在包含在微通道或微腔中的放电介质或二者中激发等离子体。 优选使用柔性模具来将透明聚合物微腔制造到刚性基底上。 优选使用刚性模具来将柔性基底上的透明聚合物微腔制造。 模具中的一个和基底柔性和其他刚性有助于将模具与固化的聚合物分离。

    GAS REACTOR DEVICES WITH MICROPLASMA ARRAYS ENCAPSULATED IN DEFECT FREE OXIDE
    13.
    发明申请
    GAS REACTOR DEVICES WITH MICROPLASMA ARRAYS ENCAPSULATED IN DEFECT FREE OXIDE 有权
    气体反应器装置与无损氧化物包裹的微阵列阵列

    公开(公告)号：US20150125357A1

    公开(公告)日：2015-05-07

    申请号：US14591242

    申请日：2015-01-07

    申请人： The Board of Trustees of the University of Illinois

    发明人： J. Gary Eden ,  Sung-Jin Park ,  Jin Hoon Cho ,  Seung Hoon Sung ,  Min Hwan Kim

    IPC分类号： B01J19/00 ,  C01B13/11

    CPC分类号： B01J19/0093 ,  B01J2219/00783 ,  B01J2219/00842 ,  B01J2219/00853 ,  B01J2219/00891 ,  C01B13/115 ,  C25D11/02 ,  C25D11/022 ,  C25D11/026 ,  C25D11/12 ,  C25D11/18 ,  C25D11/26 ,  H01J11/18 ,  H01J11/22 ,  H01J11/34 ,  H01J17/066 ,  H01J17/16 ,  H01J37/32055 ,  H05H2001/2412 ,  H05H2001/2418

    摘要： A gas reactor device includes a plurality of microcavities or microchannels defined at least partially within a thick metal oxide layer consisting essentially of defect free oxide. Electrodes are arranged with respect to the microcavities or microchannels to stimulate plasma generation therein upon application of suitable voltage. One or more or all of the electrodes are encapsulated within the thick metal oxide layer. A gas inlet is configured to receive feedstock gas into the plurality of microcavities or microchannels. An outlet is configured to outlet reactor product from the plurality of microcavities or microchannels. In an example preferred device, the feedstock gas is air or O2 and is converted by the plasma into ozone (O3). In another preferred device, the feedstock gas is an unwanted gas to be decomposed into a desired form. Gas reactor devices of the invention can, for example, decompose gases such as CO2, CH4, or NOR.

    摘要翻译： 气体反应器装置包括至少部分地限定在基本上由无缺陷氧化物组成的厚金属氧化物层内的多个微通道或微通道。 电极相对于微腔或微通道布置，以在施加合适的电压时刺激其中的等离子体产生。 一个或多个或所有电极被包封在厚的金属氧化物层内。 气体入口构造成将原料气体接收到多个微腔或微通道中。 出口构造成从多个微腔或微通道出口反应器产物。 在一个示例性的优选装置中，原料气体是空气或O 2，并被等离子体转化为臭氧（O 3）。 在另一个优选的装置中，原料气是一种不想要的气体，被分解成所需的形式。 本发明的气体反应器装置可以例如分解诸如CO 2，CH 4或NOR的气体。