利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册

搜索结果

14 条记录 (耗时 0.021 秒)

    Scanning electron microscope
    11.
    发明授权
    Scanning electron microscope 有权
    扫描电子显微镜

    公开(公告)号：US07705302B2

    公开(公告)日：2010-04-27

    申请号：US12021810

    申请日：2008-01-29

    申请人： Yasuko Aoki ,  Tetsuya Sawahata ,  Mine Araki ,  Atsushi Muto ,  Shuichi Takeuchi

    发明人： Yasuko Aoki ,  Tetsuya Sawahata ,  Mine Araki ,  Atsushi Muto ,  Shuichi Takeuchi

    IPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/26 ,  G01N23/00

    CPC分类号： G01N23/203 ,  G01N23/225 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/24495

    摘要： An object of the present invention is to provide a scanning electron microscope including decelerating-electric-field forming means for decreasing the energy of a beam of electrons reaching a sample, and being capable of selectively detecting BSEs with high efficiency. To this end, the scanning electron microscope including the decelerating-electric-field forming means has a detector for detecting electrons. The detector includes a part for receiving the electrons at a position which is positioned outside trajectories of SEs accelerated by the decelerating-electric-field forming means, and which is further away from the optical axis of the beam of electrons than the trajectories of the SEs.

    摘要翻译： 本发明的目的是提供一种扫描电子显微镜，其包括用于降低到达样品的电子束的能量的减速电场形成装置，并且能够以高效率选择性地检测BSE。 为此，包括减速电场形成装置的扫描电子显微镜具有用于检测电子的检测器。 检测器包括用于在位于由减速电场形成装置加速的SE的轨迹外的位置处接收电子的部分，并且远离SE的轨迹远离电子束的光轴 。

    Non-destructive inspection apparatus and inspection system using it
    12.
    发明授权
    Non-destructive inspection apparatus and inspection system using it 失效
    无损检测仪器及使用它的检验系统

    公开(公告)号：US06333962B1

    公开(公告)日：2001-12-25

    申请号：US09326598

    申请日：1999-06-07

    申请人： Hiroshi Kitaguchi ,  Shigeru Izumi ,  Hiroshi Miyai ,  Katsutoshi Sato ,  Yasuko Aoki ,  Yukiya Hattori

    发明人： Hiroshi Kitaguchi ,  Shigeru Izumi ,  Hiroshi Miyai ,  Katsutoshi Sato ,  Yasuko Aoki ,  Yukiya Hattori

    IPC分类号： G01T100

    CPC分类号： G01N23/046 ,  G01N23/043 ,  G01N2223/419

    摘要： A non-destructive inspection apparatus has a radiation source, a radiation detector, a radiation source diver, a detector driver, a drive controller, a delay circuit, a radiation signal processing circuit, a memory, a computer, a display device, and an input device. The radiation detector consists of one-dimensional or two-dimensional array of detectors having a long collimator whose pores are in parallel with the radiation angle of the radiation emitted in an angular pattern from the radiation source, whereby a transmission image of a large size structure can be obtained at high speed and with a high resolution. Furthermore, the detect position in an inspection object can be specified by analyzing a plurality of specified transmission images using the inspection apparatus.

    摘要翻译： 非破坏性检查装置具有辐射源，辐射检测器，辐射源潜水员，检测器驱动器，驱动控制器，延迟电路，辐射信号处理电路，存储器，计算机，显示设备和 输入设备。 放射线检测器由具有长准直器的一维或二维检测器阵列组成，其具有与辐射源以角度图案发射的辐射的辐射角平行的孔，由此具有大尺寸结构的透射图像 可以高速，高分辨率地获得。 此外，可以通过使用检查装置分析多个指定的发送图像来指定检查对象中的检测位置。

    Non-destructive inspection apparatus and inspection system using it
    13.
    发明授权
    Non-destructive inspection apparatus and inspection system using it 失效
    无损检测仪器及使用它的检验系统

    公开(公告)号：US6049586A

    公开(公告)日：2000-04-11

    申请号：US326593

    申请日：1999-06-07

    申请人： Hiroshi Kitaguchi ,  Shigeru Izumi ,  Hiroshi Miyai ,  Katsutoshi Sato ,  Yasuko Aoki ,  Yukiya Hattori

    发明人： Hiroshi Kitaguchi ,  Shigeru Izumi ,  Hiroshi Miyai ,  Katsutoshi Sato ,  Yasuko Aoki ,  Yukiya Hattori

    IPC分类号： G01N23/04

    CPC分类号： G01N23/046 ,  G01N23/043 ,  G01N2223/419

    摘要： A non-destructive inspection apparatus has a radiation source, a radiation detector, a radiation source diver, a detector driver, a drive controller, a delay circuit, a radiation signal processing circuit, a memory, a computer, a display device, and an input device. The radiation detector consists of one-dimensional or two-dimensional array of detectors having a long collimator whose pores are in parallel with the radiation angle of the radiation emitted in an angular pattern from the radiation source, whereby a transmission image of a large size structure can be obtained at high speed and with a high resolution. Furthermore, the detect position in an inspection object can be specified by analyzing a plurality of specified transmission images using the inspection apparatus.

    摘要翻译： 非破坏性检查装置具有辐射源，辐射检测器，辐射源潜水员，检测器驱动器，驱动控制器，延迟电路，辐射信号处理电路，存储器，计算机，显示设备和 输入设备。 辐射检测器由具有长准直器的一维或二维检测器阵列组成，其长孔与辐射源以角度图案发射的辐射的辐射角平行，从而形成大尺寸结构的透射图像 可以高速，高分辨率地获得。 此外，可以通过使用检查装置分析多个指定的发送图像来指定检查对象中的检测位置。